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- [实用新型]减小颗粒污染的机械手-CN201020119662.8无效
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周维文;颜明辉
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上海宏力半导体制造有限公司
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2010-02-23
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2010-10-27
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B25J15/00
- 减小颗粒污染的机械手,包含手爪,所述手爪具有与晶圆相接触的第一表面和与第一表面相对的第二表面,以及位于第一表面和第二表面之间的侧面,所述第一表面位于所述第二表面和侧面在所述第一表面所在平面的投影范围内。本实用新型所述的手爪包含上部和下部,所述上部具有与晶圆接触的第一表面和与第一表面相对的第二表面,以及位于第一表面和第二表面之间的第一侧面,所述下部具有与上部第二表面至少部分接触的第三表面和与第三表面相对的第四表面,以及位于第三表面和第四表面之间的第二侧面,所述第一表面和第一侧面位于所述第三表面和第二侧面在所述第一表面所在平面的投影范围内。所述机械手减小了来自晶圆背面的污染。
- 减小颗粒污染机械手
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