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[发明专利]一种光刻胶剥离试验一体机及光刻胶剥离方法-CN201910764271.7有效
发明人： 顾玲燕;朱龙;李翔;任奕宇;承明忠 -专利权人：江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2019-08-19 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻胶剥离试验一体机，包括柜体、设置在柜体内腔底部的基板承载组件、处理液喷射组件、底出液口、与处理液喷射组件和底出液口连通的处理液储槽或处理液源；柜体的侧壁上设置有敞口的出液槽，出液槽的顶端铰接设置有翻转导流板，出液槽的底端通过柜体侧壁的侧出液口与处理液储槽相通；翻转导流板与柜体之间还设置有翻转调节机构；翻转导流板与基板承载组件之间的柜体相对侧壁上分别固定设置有倾斜向下的第一导液板和第二导液板，第一导液板和第二导液板的自由侧边用于密封搭接或者密封叠合设置在翻转导流板的侧边上方，第一导液板的自由侧边位于出液槽的正上方。上述结构可减少置换液中的剥离液带出量，增加置换液回用次数。
一种光刻剥离试验一体机方法

[发明专利]一种改进的环保水系光刻胶剥离液-CN201910764972.0有效
发明人：徐杨;陈林;邵勇;朱龙;周勰;赵飞;顾玲燕 -专利权人：江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2019-08-19 - 公布日： 2023-02-24 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种改进的环保水系光刻胶剥离液，其主要组分为：有机胺、水溶性有机溶剂、水以及水溶性有机磷酸，水溶性有机磷酸的分子结构中具有氨基；按重量百分比计，水溶性有机磷酸的含量为0.01～3％。该改进的环保水系光刻胶剥离液以具有氨基的水溶性有机磷酸作为铜缓蚀剂，利用有机磷酸中的氨基和磷酸基团作为配位基团与铜发生反应，与现有技术中的苯并三唑类缓蚀剂相比，配位能力较弱，削弱缓蚀体系对于铜配线的保护能力，实现铜配线的选择性蚀刻；水溶性有机磷酸可调节剥离体系的pH值，在链烷醇胺进攻光阻的同时，附着于铜钼表面的有机磷酸调节铜钼界面的电势差，防止底切现象。
一种改进环保水系光刻剥离

[发明专利]一种电子级混酸体系的组分浓度检测方法-CN202111592007.3在审
发明人：王磊;承明忠;王迎;任奕宇;顾玲燕 -专利权人：江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2021-12-23 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： G01N31/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种电子级混酸体系的组分浓度检测方法，混酸体系为包含氢氟酸的已知酸组分的3‑5元强弱混酸体系，其中强酸为选自硫酸和硝酸中的至少一种，包括以下步骤：S1：用氢氧化钠滴定剂酸碱滴定混酸稀释液，通过监测电位变化获得等当点和到达等当点消耗的滴定剂用量，计算滴定剂中和的氢离子浓度；S2：对S1体系依次进行氟离子和硫酸根滴定剂滴定，获得滴定剂用量，计算混酸体系中氢氟酸和硫酸的浓度；S3：结合S1所得氢离子浓度和酸组分pka值分布，计算混酸组分含量参数；或者基于混酸组分含量参数，以S2所得氢氟酸和硫酸的浓度为准，修正氢氟酸和硫酸浓度，计算酸组分的浓度。本发明对电子级混酸检测效率及准确度均较高。
一种电子级混酸体系组分浓度检测方法

[发明专利]一种栅极钛铝钛层叠金属膜用蚀刻液-CN201910764288.2有效
发明人：徐杨;邵勇;陈林;朱龙;何家苗;赵丹;顾玲燕 -专利权人：江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2019-08-19 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： C23F1/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种栅极钛铝钛层叠金属膜用蚀刻液，其主要组分包括氧化性酸、氟化物和水，按重量百分比计，栅极钛铝钛层叠金属膜用蚀刻液中氧化性酸的含量为：硝酸2.5～8％、高氯酸0～1％；氟化物的主要组成为氟化铵和氟化氢。该栅极钛铝钛层叠金属膜用蚀刻液增加硝酸含量并相应的降低高氯酸的含量，降低高氯酸生产运输过程中的爆炸风险，同时有助于降低钛铝钛金属膜用蚀刻液的生产成本；基于氧化性酸组分的改变，在原有氟化铵的基础上添加氟化氢形成缓冲溶液体系，降低底层钛的蚀刻速度，使钛铝钛层叠金属膜刻透时间的控制更趋精确和稳定。
一种栅极钛铝钛层叠金属膜蚀刻

[发明专利]一种正性光刻胶去胶清洗组合物及其应用-CN201811298251.7有效
发明人：李森虎;承明忠;朱龙;邵勇;顾玲燕;陈林;殷福华;赵文虎;姚玮 -专利权人：江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种正性光刻胶去胶清洗组合物，主要组分包括季铵类氢氧化物、水溶性链烷醇胺、水溶性有机极性溶剂和具有环己基的酯类化合物。正性光刻胶去胶清洗组合物中含有具有环己基的酯类化合物，该酯类化合物在碱性有机相中性能稳定，季铵类氢氧化物在水洗液中电离生成氢氧根离子，水洗液呈碱性，具有环己基的酯类化合物碱性条件下水解生成酸和醇并保持反应平衡，酸能快速中和碱液中的氢氧根离子，改善水洗工序对于晶圆表面金属层的腐蚀程度。本发明还公开了正性光刻胶去胶清洗组合物在基板光刻胶剥离工艺中的应用。
一种光刻胶去胶清洗组合及其应用

[发明专利]一种通用型光刻胶剥离液及其应用-CN201811298249.X有效
发明人：李森虎;朱龙;承明忠;邵勇;陈林;顾玲燕;殷福华;赵文虎;姚玮 -专利权人：江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种通用型光刻胶剥离液，主要组成为季铵类氢氧化物、醇醚类化合物、水溶性链烷醇胺、水溶性有机极性溶剂、金属缓蚀剂，通用型光刻胶剥离液中还含有C3～C6的氨基酯。小分子的氨基酯加速光刻胶的溶胀，剥离后水洗溶液中小分子的氨基酯发生水解产生于氢氧根中和的酸，改善水洗过程中的铜铝布线腐蚀现象。本发明还公开了通用型光刻胶剥离液在基板光刻胶剥离工艺中的应用。
一种通用型光刻剥离及其应用

[实用新型]一种空心轻质ABS染色塑胶粒加工设备-CN202023094902.6有效
发明人：张晓艳;陈永;顾玲燕;张国彬 -专利权人：昆山欧利化电子材料有限公司
申请日： 2020-12-21 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： B29B13/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种空心轻质ABS染色塑胶粒加工设备，包括主体、分料结构、打捞机构和螺旋输送机；所述主体内部的一侧旋转安装有分料结构，所述分料结构一侧主体的内部旋转安装有打捞机构。本实用新型通过在装置设置打捞机构，空心塑胶粒进入装置内部的水槽，带有气泡结构的塑胶粒会浮起，打捞机构在电机带动下进行旋转，打捞机构旋转时通过网兜固定座会带动金属网将水槽内部漂浮的带有气泡的塑胶粒打捞，金属网旋转到最高处被打捞的塑胶粒会滑落到落料锥台的斜坡表面，然后在塑胶粒在自重下滑向一侧的次品出口，而底部没有气泡的塑胶粒会经过带式输送机和螺旋输送机传输到装置外部，方便使用人员去除带有气泡的塑胶粒。
一种空心 abs 染色塑胶加工设备

[实用新型]一种注塑机用原材料混合反应罐-CN202023099354.6有效
发明人：张晓艳;陈永;顾玲燕;张国彬 -专利权人：昆山欧利化电子材料有限公司
申请日： 2020-12-21 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： B29C45/17 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种注塑机用原材料混合反应罐，包括支撑腿，所述支撑腿的顶端安装有罐体，所述罐体的右侧安装有热风机，所述罐体的左侧设有防尘网，所述罐体的左侧安装有第一锁紧装置，所述罐体的底端内部设有出料管，所述出料管的内部安装有过滤网，所述出料管的表面安装有环形块，所述环形块的底端安装有第一固定块，所述罐体的底端安装有第二锁紧装置，所述罐体的顶端设有盖板，所述盖板的顶端安装有电机。本实用新型通过热风机将热风由导气管导进罐体内，然后罐体内的热气从出气孔由防尘网导出，即有效的对罐体内的原材料进行加热，从而使得罐体内的搅拌机构搅拌混合原材料的效率得到了提升。
一种注塑原材料混合反应

[实用新型]一种注塑机用注塑管道快速连接组件-CN202023103627.X有效
发明人：张晓艳;陈永;顾玲燕;张国彬 -专利权人：昆山欧利化电子材料有限公司
申请日： 2020-12-21 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： F16L37/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种注塑机用注塑管道快速连接组件，包括连接箱，所述连接箱的内部转动连接有L型卡块，所述L型卡块的顶部安装有转把，所述转把的内部螺纹连接有螺栓，所述连接箱的内壁安装有轴承，且L型卡块的表面与轴承的内壁安装，所述L型卡块的底部卡接有卡头，所述卡头的底部安装有橡胶垫。本实用新型通过设置卡箍，配合橡胶垫，将连接管道与橡胶垫固定住的同时，通过橡胶垫可以避免连接管道挤压变形，从而延长连接管道的使用寿命，通过设置连接箱，将连接管道连同橡胶垫移动至连接箱内后，将L型卡块与橡胶垫上的卡头卡接，再通过螺栓将L型卡块固定，从而将连接管固定在连接箱内，达到快速连接的效果。
一种注塑管道快速连接组件

[发明专利]一种吨桶清洗设备-CN202010444633.7有效
发明人：朱永刚;丁磊;顾玲燕 -专利权人：江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2020-05-23 - 公布日： 2021-08-17 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种吨桶清洗设备，应用于化学品吨桶的清洗，包括：机架、传送组件和清洗组件；机架包括位于机架端部的传送区和位于机架中部的清洗区；传送组件设置在传送区，用于将吨桶运输至清洗区清洗，并将清洗完成的吨桶运出；清洗组件设置在清洗区，用于对吨桶进行清洗；其中，清洗组件包括内部清洗组件和外部清洗组件；内部清洗组件位于清洗区的端部；内部清洗组件包括清洗液喷洒管道和暖风输送管道；清洗液喷洒管道和暖风输送管道均具有至少一条螺旋形流道，清洗液喷洒管道和暖风输送管道的管壁具有多个与螺旋形流道连通的通孔，清洗液喷洒管道和暖风输送管道与伸缩件连接，伸缩件驱动清洗液喷洒管道和暖风输送管道伸入吨桶内部。
一种清洗设备

[发明专利]一种正性光刻胶用显影液及其应用-CN201710825460.1有效
发明人：李森虎;殷福华;徐辉;赵文虎;顾玲燕 -专利权人：江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2017-09-14 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： G03F7/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种正性光刻胶用显影液，主要组分包含碱源、润湿分散剂、金属保护剂、水和显影增强剂，显影增强剂为选自硼酸、C2～C4的羟基酸中的一种或两种的组合，碱源与显影增强剂的摩尔比为1：（0.05～0.2）。本发明正性光刻胶用显影液通过加入显影增强剂，形成碱性的缓冲溶液，调节显影液中氢氧根的初始浓度，随着氢氧根的持续消耗，推动了缓冲溶液物质水合反应的进行生成氢氧根，显影速度适中。本发明还公开了正性光刻胶用显影液的制备方法及应用。
一种光刻显影液及其应用

[发明专利]一种具有活动盖板的湿蚀刻设备及湿蚀刻方法-CN201910764932.6有效
发明人： 顾玲燕;朱龙;任奕宇;李翔;承明忠 -专利权人：江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2019-08-19 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有活动盖板的湿蚀刻设备，包括蚀刻箱体，蚀刻箱体的内腔中由下至上依次设置有工件传送组件、喷淋组件，喷淋组件与蚀刻箱体顶面之间设置有活动盖板组件，活动盖板组件包括两平行的输送辊、张紧设置在输送辊外的输送带、位于蚀刻箱体外且与输送辊连接的辊旋转驱动件、阵列分布于输送带上的若干个通孔和位于输送带下方且沿输送带带宽方向设置的扁平状吹风喷嘴，扁平状吹风喷嘴的出风方向与输送带的输送方向夹角为95～120°；输送辊的两端具有高度差，和/或位于输送辊顶端和底端的输送带层之间设置有扁平风刀，扁平风刀的出风口倾斜向下并朝向输送带。通过输送带和扁平状吹风喷嘴，改善滴落和喷射至工件蚀刻面的蚀刻液浓度差导致的蚀刻不均问题。
一种具有活动盖板蚀刻设备方法

[发明专利]一种硫酸滤芯润湿工艺-CN201811533494.4有效
发明人：浦陈龙;朱永刚;顾玲燕;丁磊;周锡军;坎勇 -专利权人：江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2018-12-14 - 公布日： 2021-03-02 - 主分类号： B01D67/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种硫酸滤芯润湿工艺，包括清除残水、安装滤芯、配置滤芯润湿溶液、滤芯润湿、冲洗、后处理、取样检测、小试工序。本发明提供的硫酸滤芯润湿工艺，在滤芯润湿工序中对残留润湿溶液进行检测后再进行纯水冲洗，保证滤芯内无润湿溶液残留，避免残留润湿溶液对硫酸产品的污染；将滤芯内的纯水排空，然后采用氮气吹扫滤芯至肉眼观察无液滴流出，减少后续对滤芯内残留纯水处理的压力，后续再通过梯度浓度的硫酸溶液对滤芯进行循环浸泡、冲洗处理，使滤芯内残存纯水先与低浓度硫酸溶液进行反应再与高浓度硫酸溶液进行反应，降低反应的剧烈程度，避免一次反应产生巨大的热量，导致滤膜形变孔径增大，从而降低滤芯拦截小颗粒的过滤能力。
一种硫酸润湿工艺

[发明专利]一种电子级盐酸生产方法-CN201811600704.7有效
发明人：坎勇;朱永刚;顾玲燕;丁磊;周锡军;浦陈龙 -专利权人：江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2018-12-26 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： C01B7/07 文献下载
摘要：本发明公开了一种电子级盐酸生产方法，包括以下步骤：以工业级盐酸为原料，通过再沸器加热形成的盐酸蒸汽进入精馏塔内，精馏塔的塔釜采用高硼硅玻璃材质，塔体通体采用PVDF材质，在精馏塔内形成盐酸恒沸物之前，反复精馏得到气相轻组分，气相轻组分从精馏塔的塔体顶部溢出、经通体PVDF材质的管道进入通体采用PVDF材质的吸收塔中，同时用超纯水吸收气相轻组分形成高纯盐酸溶液,高纯盐酸溶液从吸收塔塔底流出，依次经过吸收罐、循环泵回流到吸收塔内，反复吸收直至吸收罐内的高纯盐酸溶液浓度达37％以上，得到高纯的电子级盐酸成品。本发明生产方法不会对盐酸成品产生二次污染，纯度高，系统稳定性高，盐酸成品浓度控制简单。
一种电子盐酸生产方法

[实用新型]一种混床离子交换设备-CN202020879657.0有效
发明人：朱永刚;丁磊;顾玲燕 -专利权人：江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2020-05-23 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： B01J47/022 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种混床离子交换设备，用于对异丙醇的杂质离子进行处理，包括：罐体、离子交换树脂；所述罐体的顶部设置有进料口、所述罐体的底部设置有出料口；所述离子交换树脂位于所述罐体内部，并设置在所述进料口和所述出料口之间，所述离子交换树脂用于对异丙醇进行除杂质离子；所述罐体的内部设置有布料组件，所述布料组件与所述进料口连通；所述布料组件包括：固定件和与所述固定件转动连接的转动件；所述固定件与所述进料口固定连接，所述转动件上沿所述罐体径向设置有多个布料管。
一种离子交换设备

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