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- [实用新型]一种真空焊接炉的内部自清洁装置-CN202321325421.2有效
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颜廷福
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青岛福润德微电子设备有限公司
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2023-05-29
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2023-09-19
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B08B9/36
- 本实用新型公开了一种真空焊接炉的内部自清洁装置，包括底座和支撑杆，所述底座的顶端设置有左右两个支撑杆，且支撑杆的内部设有丝杆，所述丝杆的顶端与伺服电机a相连接，所述丝杆与滑块的两端相连接，且滑块的顶端设置有伺服电机b，所述伺服电机b的底端与旋转杆相连接，且旋转杆上设置有调节块，所述调节块与调节杆相连接，所述调节杆与连接杆相连接，所述底座的一侧设有水箱。该真空焊接炉的内部自清洁装置，在对真空炉清洁时，通过上下滑动位移调节块，能够控制清洁模块的展开幅度，以此来适应不同大小的真空炉，使得装置的泛用性得以提高，提高了对真空炉的清洁效率。
- 一种真空焊接内部清洁装置
- [实用新型]一种焊接炉的自动冷却装置-CN202321331959.4有效
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颜廷福
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青岛福润德微电子设备有限公司
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2023-05-29
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2023-09-19
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B23K1/008
- 本实用新型公开了一种焊接炉的自动冷却装置，包括炉体框架，所述炉体框架的内部居中部位垂直设置有固定架，固定架的两侧设置有焊接装置，焊接装置的正上方垂直设置有吸热装置，炉体框架的正上方水平设置有冷却循环装置，该焊接炉的自动冷却装置的冷却方式通过翅片将热量传递给铜板，然后通过散热管道内的冷却液对铜板进行有效的冷却工作，此方式通过冷却液的不停的流动来对内部进行吸热散热，该焊接炉的自动冷却装置的上方的存放冷却液的箱体通过正上方的风扇来对吸热之后的冷却液进行散热工作，使得冷却液在进行冷却的时候一直以一个良好的温度进行对吸热铜板进行散热。
- 一种焊接自动冷却装置
- [实用新型]一种高效率反应的真空猝火炉-CN202221755089.9有效
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颜廷福
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青岛福润德微电子设备有限公司
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2022-07-09
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2023-01-10
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C21D1/773
- 本实用新型公开了一种高效率反应的真空猝火炉，包括淬火炉和凸块，所述淬火炉的包括有炉门和加温炉，且加温炉内部内壁设置有气缸，并且加温炉设置有支撑架，所述支撑架的内部设置有凹槽，且凹槽的内部设置有复位弹簧，并且复位弹簧的上方设置有滚珠，所述加温炉的内壁设置有固定杆，且固定杆的一端设置有活动轴，所述活动轴的一端设置有连接杆，且连接杆的表面设置有弹簧，所述的一端设置有夹持块，且夹持块的内部设置有通孔，使得适用于不同尺寸的钢材夹持，并且有一定的减震效果，通过活动轴使得夹持块可以调节角度，通过活动轴内部的橡胶凸块，达到卡合固定的效果，非常方便操作，省时省力。
- 一种高效率反应真空火炉
- [实用新型]一种银粉喷涂设备-CN202121330157.2有效
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颜廷福
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青岛福润德微电子设备有限公司
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2021-06-16
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2022-02-11
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B05B13/02
- 本实用新型公开了一种银粉喷涂设备，其技术方案要点是包括喷涂箱，其上下贯穿设置；链式传送带，其用于带动板材从喷涂箱中穿过；喷枪，其设置喷涂箱顶部并且用于对穿过喷涂箱的板材喷涂银粉；收集斗，其固定在喷涂箱底部用于收集银粉；抽风管，固定在收集斗底部用于抽取收集斗内的银粉；抽风机，其用于通过抽风管抽取银粉；竖管，其与抽风机出风端连通；滤网，其设置在竖管顶部用于将空气中的银粉过滤出；以及收集管，其设置在竖管底部，用于收集滤网过滤出的银粉；通过控制链式传送带的输送速度，能够保证板材喷涂的均匀性，抽风机将收集斗收集的银粉送入竖管内，经过滤网过滤后通过收集管对银粉进行收集，减少了对银粉的浪费。
- 一种银粉喷涂设备
- [实用新型]一种多温区管式炉-CN202121477493.X有效
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颜廷福
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青岛福润德微电子设备有限公司
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2021-06-30
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2022-02-11
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F27B17/00
- 本实用新型公开了一种多温区管式炉，其技术方案要点包括水平设置的物料管、多个用于加热物料管的加热炉和与多个加热炉一一对应的控温装置；多个加热炉水平排布的连接在一起，每个加热炉上均通过其对应的控温装置调控温度，物料管同时插入多个加热炉中。本实用新型通过将管式炉的加热部分分为由多个控温装置控制温度的多个加热炉，通过控制不同的控温装置，将不同控温装置对应的加热炉设置成不同的温度，以实现对物料管的多温区加热，使得管式炉一次可进行多个温度环境下烧结实验，提高烧结实验效率。
- 一种多温区管式炉
- [实用新型]一种回转式加热炉-CN202121333274.4有效
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颜廷福
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青岛福润德微电子设备有限公司
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2021-06-16
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2022-01-18
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F27B9/24
- 本实用新型公开了一种回转式加热炉，其技术方案要点是包括架体，其支撑在地面上；炉体，其设置有两个且在架体上并排设置，两炉体分别为第一炉体和第二炉体，第一炉体的出料端与第二炉体的进料端对齐；链式输送带，其设置有两个，且分别用于带动物料穿过两炉体；以及转移机构，其用于将第一炉体出料端送出的工件转移至第二炉体的进料端；转移机构包括滑动板，其能够在第一炉体的出料端和第二炉体的进料端之间滑动；以及夹持爪，其用于对工件进行夹紧；在工件经过第一炉体加热后通过转移机构送至第二炉体进料端，再次经过第二炉体加热，从而第二炉体中送出时工件满足加热要求，减少了单一炉体的长度，从而减少了加热炉架设对场地长度的要求。
- 一种回转加热炉
- [实用新型]一种退火工作台-CN202121476273.5有效
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颜廷福
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青岛福润德微电子设备有限公司
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2021-06-30
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2022-01-18
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H01L21/324
- 本实用新型公开了一种退火工作台，涉及半导体退火领域，其技术方案要点包括机壳、设置在机壳中的炉膛、多条用于输送保护气体的气路管道、设置在机壳中由多块陶瓷纤维板拼接组成的保温室和设置在保温室内的加热装置；炉膛穿过保温室和机壳，炉膛外侧壁与保温室内侧壁之间存在缝隙，炉膛两端露出机壳并支撑在机壳上；每条气路管道的两端分别位于炉膛内侧和机壳外侧。本实用新型通过在炉膛外侧罩设陶瓷纤维板制成的保温室，减少陶瓷纤维因粘合剂挥发而散掉的可能性；同时由于保温室与炉膛之间夹存空气，而气体的导热性能较差，因此保温室的设置相对于将陶瓷纤维毡直接包覆在炉膛外侧保温效果更好也更稳定。
- 一种退火工作台
- [实用新型]一种平行扩散炉-CN202121477495.9有效
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颜廷福
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青岛福润德微电子设备有限公司
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2021-06-30
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2022-01-18
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C30B31/06
- 本实用新型公开了一种平行扩散炉，涉及半导体扩散领域，其技术方案要点包括炉架和水平设置在炉架内的石英炉体、硅片架、悬杆、用于驱动悬杆沿石英炉体轴线滑动的直线驱动装置和炉盖，所有硅片架支撑在多个悬杆上；炉盖与所有悬杆固定连接，炉盖堵住石英炉体进料口时，所有硅片架均位于石英炉体内；硅片架包括两块竖直设置且相互平行的架板、多个用于托住硅片的托杆，多个悬杆支撑在两块架板底部，所有托杆均水平设置且相互平行，每个托杆的两端分别与两块架板固定连接。本实用新型通过托杆托住硅片，减少了硅片架对石英炉体热能的阻挡，使得硅片能均匀受热，从而使得杂质元素能在硅片中均匀扩散，提高硅片质量。
- 一种平行扩散
- [实用新型]一种真空炉加料装置-CN201922463589.X有效
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颜廷福
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青岛福润德微电子设备有限公司
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2019-12-31
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2020-09-22
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F27B5/12
- 本实用新型公开了一种真空炉加料装置，包括箱体与炉门，所述箱体的顶部开设有进料口，所述进料口的外围设置有环形固定板，所述环形固定板与箱体的顶壁固定连接，所述环形固定板内部开设有凹槽，所述环形固定板的上表面设置有密封盖，所述密封盖的底壁固定连接有环形衔接板，所述环形衔接板与环形固定板内部的凹槽嵌合，所述密封盖的内部呈中空设置。本实用新型通过通过真空泵保证加料装置内部的真空性，通过自动投料装置自动投料提高了投料的效率，并保证了装置的密封性，通过搅拌装置来搅动放入加料装置内的物料，防止物料之间空隙里的空气不能被完全抽离，更加保证了加料装置的真空性，和与真空炉之间的密封性，具有一定的实用性。
- 一种真空炉加料装置
- [实用新型]一种均匀加热的退火炉-CN201922453200.3有效
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颜廷福
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青岛福润德微电子设备有限公司
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2020-08-19
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2020-09-22
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C21D1/26
- 本实用新型公开了一种均匀加热的退火炉，包括炉体，所述炉体的顶部两侧分别开设有两个进料口与两个出料口，所述炉体的顶端靠近进料口与出料口的位置分别固定连接有第一固定架与第二固定架。本实用新型中，空心齿轮在加工件移动的同时通过第一防滑纹的摩擦作用带动加工件完成转动，从而使加工件被第二传递轮从进料口移至炉体内部进行加热的部分可以受热均匀，并且加工件经过加热的部分从出料口移出炉体后，会通过第三传递轮移至另一个空心齿轮内，从而保证加工件在炉体内进行加热的部分转动的顺畅，整个过程不仅使加工件得以充分进行了退火处理，还免去了人工翻面的步骤，从而提升了工作效率。
- 一种均匀加热退火炉
- [实用新型]一种扩散炉用出料装置-CN201922453226.8有效
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颜廷福
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青岛福润德微电子设备有限公司
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2019-12-31
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2020-09-18
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H01L21/677
- 本实用新型公开了一种扩散炉用出料装置，包括炉体，所述炉体的顶部两端均固定连接有第一电机，所述第一电机的输出轴固定连接有第一螺纹杆，两个所述第一螺纹杆的外表面共同螺纹连接有升降架，所述升降架的两侧均固定连接有滑块，所述炉体的内壁对应滑块的位置设置有滑槽，且滑块与滑槽滑动连接，所述升降架的顶部一侧的位置固定连接有第三电机。本实用新型中，旋转杆能够带动半齿轮转动，半齿轮能够带动齿轮转动，齿轮能够带动固定杆转动，固定杆能够带动石英舟转动，从而可以将石英舟内部的物件自动移出炉体的内部，结构简单，成本低，便于炉体能够自动出料，方便人们使用，同时可以使增加扩散的效率。
- 一种扩散炉用出料装置
- [实用新型]一种链式快速烧结炉-CN201920164657.X有效
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颜廷福
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青岛福润德微电子设备有限公司
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2019-01-30
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2020-06-26
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F27B9/12
- 本实用新型公开一种链式快速烧结炉，其包括机架、设置于机架上的不锈钢网链输送带、罩设于不锈钢网链输送带上的炉膛、沿不锈钢网链输送带输送方向依次设置在炉膛外周的加热箱和冷却水套，所述加热箱内设置若干环绕炉膛的加热板，所述加热箱内预留加热板安装位，若干加热板沿炉膛并排设置于对应安装位上，所述冷却水套内设置水路，冷却水套连接外部水源实现水路内冷却水循环。本实用新型链式快速烧结炉，采用不锈钢网链输送带使待烧结产品依次经过高温烧结和低温冷却段，实现产品的连续生产，大大提升了烧结效率，且该烧结炉能够根据待烧结产品的烧结工艺进行灵活调整，从而提升了烧结炉的适用范围，使其能够满足多种器件或材料的加工要求。
- 一种链式快速烧结炉
- [实用新型]一种硅片退火炉-CN201920239110.1有效
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颜廷福
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青岛福润德微电子设备有限公司
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2019-02-21
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2020-05-19
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H01L21/67
- 本实用新型公开一种硅片退火炉，其包括机架、反应室、设置反应室内的退火炉体和气源柜，退火炉体设置为两个，加热和供气均为单独控制，反应室正上方罩设有排风罩，退火炉体的中部为核心区段，两端为预热区段，各区段加热均为单独控制，退火炉体进气端设置有均风板，另一端设置吸风盘，吸风盘设置有排风孔，吸风盘内设置风道连通排风孔，风道出口端朝向排风罩设置，吸风盘外侧盘面上设置有多条通风槽，每条通风槽与反应室壁上设置的通风孔对应。该退火炉为双炉体单独控温设置，且能够实现保护气体的均匀分布，炉体分区控温进一步提升退火温度的稳定性，提升了硅片的退火品质，另外该退火炉可及时排出多余保护气体，防止散失到环境中污染环境。
- 一种硅片退火炉
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