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[发明专利]一种步进式高精度光刻机-CN202010858776.2有效
发明人：李俊毅;姚恒裕;陈舜钦 -专利权人：福建安芯半导体科技有限公司
申请日： 2020-08-24 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明属于光刻机技术领域，特别涉及一种步进式高精度光刻机，包括有工作台、激光器、光束矫正器、能量控制器、能量探测器、光束形状设置等；激光器、光束矫正器、能量控制器、控制台设于封闭框架外；封闭框架底部设有减振器；能量探测器、遮光器、光束形状设置、能量控制器、光束矫正器位于同一水平线上，且从左至右依次设置等；本发明通过温控装置及时调整物镜、掩模版、掩模台之间之间的温度差；通过调谐器对封闭框架内的信号做出变频；通过调整器对物镜下对抱死或者松开，使得物镜能够做出调整，以此防止在激光束照射下，物镜发生膨胀或者收缩的情况，从而使得蚀刻的图案能够达到精准，如此，达到种能够快速变频、能够刻蚀精准的效果。
一种步进高精度光刻

[实用新型]一种光刻机生产用硅半导体的硅晶片腐化池-CN202021502878.2有效
发明人：李俊毅;陈舜钦;姚恒裕;林雅芳 -专利权人：北京新毅东科技有限公司
申请日： 2020-07-27 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及光刻机领域，尤其涉及一种光刻机生产用硅半导体的硅晶片腐化池。本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够加快晶圆腐蚀速度提高生成电路进程的光刻机生产用硅半导体的硅晶片腐化池。一种光刻机生产用硅半导体的硅晶片腐化池，包括有安装筒、腐化剂池、十字放置架、卡接片、驱动组件、出液管和阀门；腐化剂池固接于安装筒顶部；出液管固接于腐化剂池侧壁，且与腐化剂池内连通；阀门固接于出液管；驱动组件固接于安装筒内壁，且输出端贯穿腐化剂池向腐化剂池内延伸。本实用新型达到了加快晶圆腐蚀速度提高生成电路进程的效果。
一种光刻生产半导体晶片腐化

[发明专利]清洁腔室的方法、干式清洁系统及非暂态电脑可读取媒体-CN201811107929.9有效
发明人：赖诚忠;陈舜钦;陈世芳 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2018-09-21 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本文公开一种干式清洁沉积反应腔室的方法、干式清洁系统以及非暂态电脑可读取媒体。在一些实施例中，清洁沉积反应腔室的方法包括：进行等离子体辅助清洁工艺，以清洁在沉积反应腔室的内表面所形成的管道沉积物，其中等离子体辅助清洁工艺包括：将第一反应气体提供到远端等离子体源以产生等离子体，其中等离子体包括含氟自由基；将等离子体从远端等离子体源提供到沉积反应腔室，以清洁管道沉积物；以及在进行等离子体辅助清洁工艺后，通过将第二反应气体提供到沉积反应腔室，以进行化学清洁工艺。
清洁方法系统非暂态电脑读取媒体

[实用新型]一种具有水平校准的半导体-CN202021371104.0有效
发明人：李俊毅;陈舜钦;姚恒裕 -专利权人：福建安芯半导体科技有限公司
申请日： 2020-07-13 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有水平校准的半导体，其结构包括半导体主体、水平调节装置、半导体格和切割槽，本实用新型具有以下有益效果，通过在半导体中部设有可手动旋转调节的水平调节装置，使半导体在放置过程中出现水平微差影响加工使用时，用户可以通过旋转水平装置装置的校准控制板，使半圆环状的水平校准顶板会逐步顶出进行支撑的水平调节，使半导体能够进行自身的水平调节，便于使用，通过在平衡装配头和半导体主体接触面设有单向的单向卡板，且卡板连接装配有可通过解锁顶压杆顶压解锁的顶压连板，水平调节装置能够进行便捷快速的拆卸，避免半导体在加工后水平调节装置随边料等成废弃装置，便于使用。
一种具有水平校准半导体

[实用新型]一种具有定量供水的防回水光刻机-CN202021689214.1有效
发明人：李俊毅;陈舜钦;姚恒裕;林雅芳;李雅瑜 -专利权人：福建安芯半导体科技有限公司
申请日： 2020-08-14 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有定量供水的防回水光刻机，其结构包括光刻机和供水装置，光刻机左端镶嵌设有供水装置，供水装置与光刻机电连接，本实用新型具有以下有益效果，通过在水箱装配座内部设有供水顶压头搭配具有供水活动板的便捷水箱，在放置时供水活动板会被供水顶压头顶起实现水箱供水的开启，而在水箱提起时，供水活动板会自动闭合关闭水箱，使水箱能够通过直接放置装配使用时，便于水箱的装配，使水箱便于更换维修，通过在水箱装配座上设有升降用电机的通电联动装置，并将通电联动装置与阀门的密闭盖板相连，使设备在阀门开启时设备会对升降电机断电，反之则通电，使设备能够防止供水时水箱的升降移动，保证供水的正常运行。
一种具有定量供水回水光刻

[实用新型]一种带自动安全锁操作台的光刻机-CN202021259862.3有效
发明人：李俊毅;陈舜钦;姚恒裕;林雅芳;李雅瑜 -专利权人：福建安芯半导体科技有限公司
申请日： 2020-07-01 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带自动安全锁操作台的光刻机，其结构包括光刻机台、警示器、操作收纳仓和操作台，本实用新型具有以下有益效果，通过设有可滑动的控制器，并将控制器设于操作台座内部，配合操作台设有的防护挡板和活动卡板，使设备需要开启活动卡板并将控制器拖出后才能进行控制使用，在不使用控制器时，防护挡板会自动顶压控制器回缩并在回位后被活动卡板自动锁定，使设备在不使用时会自动对控制器进行防护锁定，更好避免误触的不便和避免外物使控制器损坏，通过在控制台处设有可移动收纳的坐垫、坐垫底座及坐垫支撑杆，使设备在使用时，能够拖动取出座椅，使设备更便于工作人员操作使用，减少另寻座椅和避免站立操作的不便。
一种自动安全操作台光刻

[实用新型]一种激光光能回收型光刻机-CN202021462204.4有效
发明人：李俊毅;陈舜钦;姚恒裕;李雅瑜;林雅芳 -专利权人：福建安芯半导体科技有限公司
申请日： 2020-07-22 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种激光光能回收型光刻机，其结构包括下机体、底座、凹槽、蓄电池、充电控制器、操作器、电源线、上机体、可视窗、第一净化装置、流通装置、运作组件、掩模台、物镜、曝光台、微调机构和第二净化装置，所述下机体底端与底座焊接，所述下机体左端设置有凹槽，本实用新型具有以下有益效果，通过在运作组件处的第一壳管、第二壳管和第三壳管内壁分别设置金属片层，而金属片层内壁设置太阳能薄膜电池层，达到了通过加设散射光转电部件以减少电量损耗的有益效果；并且通过在上机体顶端分别设置第一净化装置和第二净化装置，达到了加设多重处理部件以提高抽取空气洁净度的有益效果。
一种激光光能回收光刻

[实用新型]一种可分离组装掩模台的光刻机-CN202021462768.8有效
发明人：李俊毅;姚恒裕;陈舜钦 -专利权人：福建安芯半导体科技有限公司
申请日： 2020-07-22 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可分离组装掩模台的光刻机，其结构包括机座、晶圆装配座、光刻机体、机架、显示器、控制器和掩模台，本实用新型具有以下有益效果，通过设有装配侧板和装配卡杆及第一压缩弹簧，使掩模台能够通过滑动控制头解除装配连接，且掩模台解锁时装配侧板会受第一压缩弹簧的力升起，在装配侧板升起后用户可以抽出掩模板装配台进行维护清洁和更换，通过在装配侧板上设有活动顶板和活动垫板及顶压杆，并在装配卡杆与机座连接处设有外扩板，使装配侧板在进行装配时，外扩板因为可外扩性能够更好的适应不同的装配孔，而顶压杆会因为装配侧板降至底部顶压活动顶板和顶压垫板上升而顶压掩模板装配台，使不同的掩模板装配台也能够稳定装配。
一种可分离组装掩模台光刻

[实用新型]一种防脱型半导体-CN202021461984.0有效
发明人：李俊毅;姚恒裕;陈舜钦;林雅芳;李雅瑜 -专利权人：福建安芯半导体科技有限公司
申请日： 2020-07-22 - 公布日： 2020-12-15 - 主分类号： H01L23/36 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防脱型半导体，其结构包括基板、定位槽、绝缘框体、定位座、卡位装置、半导体芯片和散热装置，所述基板顶端设置有定位槽，所述定位槽内壁下部与定位座粘接，所述定位座顶端设置有绝缘框体，并且定位座与绝缘框体一体成型，所述绝缘框体左右两端对称固接有卡位装置，所述基板通过卡位装置与绝缘框体活动连接，本实用新型具有以下有益效果，通过在绝缘框体内外侧设置散热装置，与绝缘框体内部形成的内腔空间，达到了通过加设散热与空间间隔部件以提高电、热击穿发生预防度的有益效果；并且通过在绝缘框体左右两端下部与定位槽之间设置卡位装置，达到了加设卡位部件以提高安装稳固性能的有益效果。
一种防脱型半导体

[实用新型]一种防焊点相连的电路板-CN202021259826.7有效
发明人：李俊毅;陈舜钦;姚恒裕;林雅芳 -专利权人：福建安芯半导体科技有限公司
申请日： 2020-07-01 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： H05K1/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防焊点相连的电路板，其结构包括电路基板、电子元件、焊脚、防护装置和定位装置，所述电路基板顶端固接有电子元件，所述电子元件前后两端下部对称固接有焊脚，所述焊脚设置有多组且其由左至右均匀分布于电子元件下部，所述电路基板顶端设置有防护装置，本实用新型具有以下有益效果，通过在电路基板顶端设置防护装置，达到了通过加设焊点分隔阻挡部件以大大防止焊点相连可能性和提高效率的有益效果；并且在防护装置底端四部角落和电路基板顶底两端四部角落之间分别设置定位装置，达到了加设定位部件以便于焊点分隔部件位置确定的有益效果。
一种防焊点相连电路板

[实用新型]一种高精度光刻机内载片结构-CN202021259790.2有效
发明人：李俊毅;姚恒裕;陈舜钦;林雅芳;李雅瑜 -专利权人：福建安芯半导体科技有限公司
申请日： 2020-07-01 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高精度光刻机内载片结构，其结构包括框架、护缘、载片台、吸孔、撑架、真空接管、底筒、电机、密封机构和量角机构，本实用新型具有以下有益效果，通过在底筒上设置了密封机构，再通过筒体与真空接管连接后，使橡胶环和橡胶垫圈对底筒进行贴合转动，并使嵌槽与底筒转动接触，使筒体内部密封，达到提高承载台内部密封性，减少真空接管安装浪费和节省安装空间的效果，通过在底撑内设置了测角机构，再通过角度传感器与底筒连接后，使角度传感器与底筒同步转动后通过端口将数据传输至处理器内，使处理器借助端口与外部单元交流，达到有效的将硅片转动数据与匀胶单元进行交流，提高操作精确性的效果。
一种高精度光刻机内载片结构

[实用新型]一种光刻机自润滑履带结构-CN202021262395.X有效
发明人：李俊毅;姚恒裕;陈舜钦;李雅瑜 -专利权人：福建安芯半导体科技有限公司
申请日： 2020-07-01 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光刻机自润滑履带结构，其结构包括箱体、光刻机、集成电路、履带、主动轮、负重轮、工作台和激光机；箱体的顶端一侧内固定安装有光刻机，箱体内设有集成电路，光刻机顶端设有激光机，箱体一侧固定安装主动轮和负重轮，履带一端与主动轮连接，一端与负重轮连接，履带由若干链节组成，链节表面设有链板形成环形带状，链节内部穿插销轴，销轴两端设有滚轮，托辊内设有自润滑轴承座，自润滑轴承座一端设有端座，端座设有转轴贯穿于托辊内部，转轴设有有外密封圈与自润滑轴承座间隙配合，转轴设有自润滑轴承与外密封圈间隙配合并与内密封圈间隙配合，本实用新型具有对光刻机履带进行自润滑的有益效果。
一种光刻润滑履带结构

[发明专利]晶圆舟、退火工具和退火方法-CN201610645781.9在审
发明人：赵和诚;陈舜钦;汪绍华;陈世芳 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2016-08-09 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：晶圆舟包括基底、多个支撑杆和多个悬臂。该支撑杆由基底承载。该支撑杆设置在基底之上的间隔周围。该悬臂由支撑杆承载。由至少一个支撑杆承载的至少两个悬臂垂直间隔开以限定用于晶圆的至少一个狭槽。本发明的实施例还涉及退火工具和退火方法。
晶圆舟退火工具方法

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