“闵伟”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果242个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种采用过渡承接装置的光刻机硅片台双台交换系统-CN200710303712.0有效
发明人：朱煜;张鸣;汪劲松;徐登峰;尹文生;胡金春;杨开明;李广;闵伟;段广洪 -专利权人：清华大学
申请日： 2007-12-21 - 公布日： 2008-07-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种采用过渡承接装置的光刻机硅片台双台交换系统，属于半导体制造装备技术领域。本发明含有运行于预处理工位的硅片台和运行于曝光工位的硅片台；在预处理工位和曝光工位上分别设有一个H型驱动单元，所述的H型驱动单元由双侧X向直线电机以及Y向直线电机组成，用于驱动硅片台在预处理工位和曝光工位上作X方向和Y方向运动。本发明的技术要点是在基台中间设置有两个过渡承接装置，过渡承接装置上安装有摩擦轮，当H型驱动单元与其精确对准时，靠摩擦轮的摩擦力，实现硅片台从预处理工位过渡到曝光工位。有效避免了导轨精密对接的问题，降低了系统结构的复杂性。
一种采用过渡承接装置光刻硅片台双台交换系统

[发明专利]一种采用十字导轨的光刻机硅片台双台交换系统-CN200710303713.5有效
发明人：朱煜;张鸣;汪劲松;徐登峰;尹文生;胡金春;杨开明;李广;闵伟;段广洪 -专利权人：清华大学
申请日： 2007-12-21 - 公布日： 2008-07-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种采用十字导轨的光刻机硅片台双台交换系统，该系统主要应用于半导体光刻机中。本发明含有运行于预处理工位的硅片台、运行于曝光工位的硅片台和两个十字导轨驱动单元，每个十字导轨驱动单元包含X向直线电机、Y向直线电机和用以推动硅片台运动的推杆；十字导轨驱动单元与硅片台之间通过真空轴承吸住，带动硅片台作大范围X、Y方向运动。本发明采用两个双自由度驱动单元，使系统结构大大得以简化，有效降低了同步控制的要求。
一种采用十字导轨光刻硅片台双台交换系统

[发明专利]动圈式大范围移动磁浮六自由度工作台-CN200710304519.9有效
发明人：朱煜;汪劲松;张鸣;闵伟;胡金春;尹文生;徐登峰;杨开明;段广洪 -专利权人：清华大学
申请日： 2007-12-28 - 公布日： 2008-07-09 - 主分类号： B23Q1/44 文献下载
摘要：动圈式大范围移动磁浮六自由度工作台，主要应用于制造设备与机器人领域。该工作台包括基台和移动台，所述基台顶部设置有平面永磁阵列，所述移动台由平台和设置于平台底部的移动电磁结构组成，所述移动电磁结构由四个以上线圈阵列组成，所述每个线圈阵列由多个矩形无铁芯线圈线性排列而成，线圈排列方向与永磁阵列排列方向成45°角布置，各相邻线圈阵列方向互成90°角布置。由于所述移动台的移动范围不受移动台尺寸的限制，使得移动台可以在平面尺寸远大于移动台平面尺寸的基台上移动，从而大大增加了移动台的相对行程(远大于1)，实现移动台的大范围平移，同时各通电线圈在磁场中只受到X，Z或Y，Z方向的作用力。
动圈式大范围移动磁浮六自由度工作台

[发明专利]一种采用传送带结构的光刻机硅片台双台交换系统-CN200710303648.6无效
发明人：朱煜;张鸣;汪劲松;徐登峰;尹文生;胡金春;杨开明;李广;闵伟;段广洪 -专利权人：清华大学
申请日： 2007-12-21 - 公布日： 2008-06-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种采用传送带结构的光刻机硅片台双台交换系统，属于半导体制造装备技术领域。本发明含有运行于预处理工位的硅片台和运行于曝光工位的硅片台；在预处理工位和曝光工位上分别设有一个H型驱动单元，所述的H型驱动单元由双侧X向直线电机以及Y向直线电机组成，用于驱动硅片台在预处理工位和曝光工位上作X方向和Y方向运动；该系统在基台两侧分别安装有传送带，在传送带的侧面固定联结有对接滑块，通过传送带和对接滑块，将硅片台1由预处理工位过渡到曝光工位。本发明由于采用传送带结构，有效避免了专利ZL03156436.4双台交换系统导轨精密对接的问题，具有操作维护简单，外形尺寸较小等特点。
一种采用传送带结构光刻硅片台双台交换系统

[发明专利]一种雨伞-CN200610125291.2无效
发明人：闵伟 -专利权人：闵伟
申请日： 2006-11-30 - 公布日： 2008-06-04 - 主分类号： A45B25/00 文献下载
摘要：本发明提供一种雨伞，在雨伞的上方扇型支撑架上围腰布装有封闭的布兜，并在布兜设有一个可拉开口的拉链，该布兜内可在使用雨伞时装入所带的物品或文件，可为下雨携带物品提供方便。
一种雨伞

[发明专利]集电轨供电品质的检测方法-CN200710133304.5无效
发明人：金墉;闵伟 -专利权人：友达光电（苏州）有限公司
申请日： 2007-09-28 - 公布日： 2008-03-12 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：本发明的集电轨供电品质的检测方法主要是针对目前的靠目测和利用直尺逐段检查，明显存在检查速度慢，检修时间长，难以确保质量等不足之处，遂提供一种利用精密电子仪器，模拟老化测试的实际工作状况对老化测试集电轨的供电品质进行带电检测，具有真实性强、准确率高、检测速度快等优点，是一种广泛适合对电子产品进行老化的集电轨的供电质量进行检测的好方法。
集电轨供电品质检测方法

[发明专利]一种空气轴承-CN200710098789.9无效
发明人：朱煜;徐登峰;张鸣;闵伟 -专利权人：清华大学
申请日： 2007-04-27 - 公布日： 2007-09-26 - 主分类号： F16C29/02 文献下载
摘要：一种空气轴承，主要用于超精密气浮运动系统和三坐标测量机中运动部件的设计，属于超精密设备及测量技术领域。本发明的主要技术特征是在空气轴承的中部区域设计了一个由上腔室和下腔室及阻尼孔组成的类似空气弹簧双腔室的结构，从而提升了空气轴承的阻尼能力，克服了空气轴承对振动或冲击衰减时间过长，系统难以稳定的缺点，提供了一种高稳定性空气轴承，降低了外加振动和冲击及空气轴承本身固有的微振动对整个运动系统的静态和动态性能的危害。
一种空气轴承

[发明专利]大范围移动磁浮平面工作台-CN200710064152.8有效
发明人：朱煜;曹家勇;张鸣;尹文生;汪劲松;段广洪;李广;闵伟 -专利权人：清华大学
申请日： 2007-03-02 - 公布日： 2007-08-22 - 主分类号： G12B5/00 文献下载
摘要：大范围移动磁浮平面工作台，涉及一种磁浮平面工作台，特别是一种大范围移动磁浮平面工作台，主要应用于制造设备与机器人领域。该工作台包括基台和移动台，所述移动台由平台和设置于平台底部的移动电磁结构组成，在基台顶部设置有平面永磁阵列，移动电磁结构由3个以上电枢单元组成，每个电枢单元包括电枢铁心、X相绕组和Y相绕组，X相绕组和Y相绕组在电枢单元底面的竖直方向上相互重叠，且X相绕组的任一有效边与Y相绕组的任一有效边之间相互垂直。由于所述移动台的移动范围不受移动台尺寸的限制，使得移动台可以在平面尺寸远大于移动台平面尺寸的基台上移动，从而大大增加了移动台的相对行程，实现移动台的大范围平移。
范围移动平面工作台

[实用新型]防触电伸缩三相插头-CN200520098950.9无效
发明人：闵伟 -专利权人：闵伟
申请日： 2005-11-23 - 公布日： 2007-01-24 - 主分类号： H01R13/44 文献下载
摘要：本实用新型提供一种防触电伸缩三相插头，插头的前端内装有可伸缩插片，插头的上面设有推拉按钮，使用时，将收缩的插片插入插座，用拇指推动上面的推拉按钮，即可将插片从插头内插入插孔，避免了人手不小心触及电源的危险，可有效解决插片露在外面的不安全问题。
触电伸缩三相插头

[实用新型]轻触双线路开关-CN200520098583.2无效
发明人：闵伟 -专利权人：闵伟
申请日： 2005-10-31 - 公布日： 2006-12-20 - 主分类号： H01H19/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种轻触双线路开关，开关底座的两侧是相对进入的双线路，中间是共用的轻触按钮线路，本实用新型对数字电路中特殊需要接通双线路提供很大的方便，即一个开关可以同时接通两条线路，结构简单、成本低廉。
轻触双线开关

[外观设计]包装瓶(酱油)2-CN98302492.8无效
发明人：闵伟;胡汉生 -专利权人：菱花集团公司
申请日： 1998-05-21 - 公布日： 1999-04-21 - 主分类号： 09-01-B0375 文献下载
摘要：本外观设计后视图与左视图相同，故省略后视图。
包装酱油

[外观设计]包装瓶(酱油3)-CN98302493.6无效
发明人：闵伟;胡汉生 -专利权人：菱花集团公司
申请日： 1998-05-21 - 公布日： 1999-03-31 - 主分类号： 09-01-B0375 文献下载
摘要：右视图与左视图对称,省略右视图。
包装酱油

[外观设计]包装瓶(酱油)1-CN98302491.X无效
发明人：闵伟;胡汉生 -专利权人：菱花集团公司
申请日： 1998-05-21 - 公布日： 1999-03-31 - 主分类号： 09-01-B0375 文献下载
摘要：本外观设计左视图、右视图、主视图、后视图相同，故省略左视图、右视图、后视图。
包装酱油

[实用新型]组合推拉式两用灯头-CN97207782.0无效
发明人：闵伟 -专利权人：闵伟
申请日： 1997-03-18 - 公布日： 1998-10-28 - 主分类号： H01R33/90 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种组合推拉式两用灯头,它由螺口灯头主体、插口灯头主体、灯头盖组成,在螺口灯头主体上固定有两片接触片,一片接触片与通过插口灯头主体中心孔的探头固定连接,另一片接触片与金属螺纹口连接,螺口灯头主体套在插口灯头主体上并可在其上滑动。本实用新型不仅具有既可用于插口灯泡又可用于螺口灯泡的优点,而且还具有结构简单、制作容易、成本低廉、使用安全方便等优点。
组合推拉两用灯头

[实用新型]板框式压滤机的电气自动控制装置-CN92226845.2无效
发明人：闵伟;李树梓;张宏伟;周焕海;杜平 -专利权人：八一煤矿洗选厂
申请日： 1992-07-10 - 公布日： 1993-09-08 - 主分类号： G05B19/18 文献下载
摘要：一种广泛应用于冶金、化工、制药、洗煤等工业部门的固体分离设备板框式压滤机的电气自动控制装置，它以小型可编程序控制器为控制中心，再配有十二个中间继电器和自动循环计数器就可完成压滤机从机头松开到压紧全过程许多逻辑关系，实现了自动控制。由于整个系统以软件为主，减少了大量继电器，因而安装简单，易于维护，整体性能齐全，利于生产及现场管理。
板框式压滤电气自动控制装置