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[发明专利]晶圆图像校正方法、装置、计算机设备和存储介质-CN202310706005.5在审
发明人：韩亚辉;曾兵兵;张彩红;陈思乡 -专利权人： 长川科技（苏州）有限公司
申请日： 2023-06-14 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G06T5/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆图像校正方法、装置、计算机设备和存储介质。所述方法包括：获取待校正图像，并基于所述待校正图像以及模板图像确定第一互功率谱图像；获取所述第一互功率谱图像中的多个极大值点，并确定每两个所述极大值点之间距离中的最大距离以及最小距离；基于所述最大距离以及所述最小距离确定加权滤波器，并基于所述加权滤波器对所述第一互功率谱图像进行滤波，得到第二互功率谱图像；基于所述第二互功率谱图像确定校正参数，并基于所述校正参数对所述待校正图像进行校正。本申请能够有效避免计算结果陷入局部最优解，通过互功率谱极大值点之间的距离确定加权滤波器并进行滤波，能够有效提高滤波效果，进而提高图像校正的精度。
图像校正方法装置计算机设备存储介质

[实用新型]位移平台及光学测量设备-CN202320675392.6有效
发明人：夏勇;何梓铭;王华 -专利权人： 长川科技（苏州）有限公司
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种位移平台及光学测量设备，位移平台包括基板、导轨、滑块及压电陶瓷。导轨固定于所述基板并沿第一方向延伸，滑块可滑动地安装于导轨；压电陶瓷固定于基板并与所述滑块固定连接。导轨能够对滑块实现限位及引导，从而将滑块的滑动方向限定在第一方向上。对压电陶瓷加载电信号后，压电陶瓷便可膨胀或收缩从而驱动滑块沿导轨滑动，从而将电信号转化成滑块在第一方向上的动作。由于导轨与滑块配合能够将滑动方向限制于第一方向，故即使压电陶瓷在安装过程中出现较小的偏移，也能够保证滑块精确沿第一方向移动。因此，上述位移平台及光学测量设备具有较高的位移精度。
位移平台光学测量设备

[实用新型]复合型成像系统-CN202321020991.0有效
发明人：缪文良;林卫;李海生;郑洪宝 -专利权人： 长川科技（苏州）有限公司
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H04N23/55 文献下载
摘要：本申请涉及一种复合型成像系统，包括：沿光轴方向设置的相机、分光元件和成像镜头，成像镜头用于收集来自样品表面的反射光或散射光至相机成像；第一光源，能够发出同轴光经分光元件入射到样品表面形成反射光；第二光源，能够在多个角度下发射入射光至样品表面形成散射光。通过第一光源发出同轴光经分光元件入射到样品表面形成反射光，以及通过第二光源在多个角度下发射入射光至样品表面形成散射光。采用复合型光学结构替换单一光源拍照结构，以解决单一光源拍照结构无法将缺陷特征呈现的问题，提高了检测可靠性。
复合型成像系统

[实用新型]承载装置及晶圆检测设备-CN202320675420.4有效
发明人：陈思乡;雷传;吴灿;杜振东;孟恒 -专利权人： 长川科技（苏州）有限公司
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种承载装置及晶圆检测设备，承载装置包括底座、载片台及顶升机构。将晶圆转移至载片台时，驱动组件先驱动多个顶杆伸出于承载面，再由搬运机器人将晶圆放置于顶杆的顶端，故晶圆将由多个顶杆共同支撑并保持与承载面平行。接着，多个顶杆在驱动组件的驱动下回缩至承载面的下方，将晶圆便转移至承载面并由承载面吸附。待晶圆检测完后，承载面切换至正压，驱动组件再次驱动多个顶杆伸出于承载面以将晶圆顶起，从而方便搬运机器人将晶圆取走。在晶圆由多个顶杆支撑时，每个顶杆的顶端可通过形成负压而吸附住晶圆。如此，在顶升机构带动晶圆升降的过程中晶圆在不易相对于顶杆滑动，从而提升晶圆接送的稳定性。
承载装置检测设备

[实用新型]干涉轮廓测量设备-CN202320675405.X有效
发明人：夏勇;何梓铭;王华 -专利权人： 长川科技（苏州）有限公司
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种干涉轮廓测量设备，包括底座、位移平台、光学干涉模块及相机。位移平台包括压电陶瓷及与导向机构，导向机构与压电陶瓷配合，能够将电信号转化成导向机构的移动端在第一方向上的动作。光学干涉模块的干涉物镜能够在位移平台的带动下沿第一方向移动以获得不同光程差或相位差的干涉光束，从而实现干涉测量。由于位移平台及光学干涉模块可单独装配和调试后再组装，无需将压电陶瓷集成于光学干涉模块，且压电陶瓷与干涉物镜的光轴非同轴设置，故光学干涉模块内部的结构得到简化，且压电陶瓷的运动不会对光学干涉模块的干涉光路造成的影响。因此，上述干涉轮廓测量设备具有较高的测量精度及稳定性。
干涉轮廓测量设备

[发明专利]一种晶圆裂痕检测方法、装置、电子设备及存储介质-CN202310468593.3在审
发明人：王洁;曾兵兵;张彩红;陈思乡 -专利权人： 长川科技（苏州）有限公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶圆裂痕检测方法、装置、电子设备及存储介质，属于裂痕检测技术领域，其中，晶圆裂痕检测方法包括：通过对比分析待测晶圆图像与标准晶圆图像得到差别图像；基于动态规划方法在差别图像中构建多个子图像；对每个子图像进行路径查找得到子路径；将子路径合并得第一裂痕路径；基于第一裂痕路径获取裂痕。该方法通过对比分析待测晶圆图像与标准晶圆图像得到差别图像，再采用动态规划方法将差别图像的裂痕检测拆分为多个子图像的裂痕检测，从而降低了裂痕检测的难度，提高了裂痕检测的精度。
一种裂痕检测方法装置电子设备存储介质

[发明专利]图像匹配的定位核区域自动提取方法、装置、设备和介质-CN202310572055.9在审
发明人：王承峰;戴昌志;钱勇 -专利权人： 长川科技（苏州）有限公司
申请日： 2023-05-19 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G06V10/25 文献下载
摘要：本申请涉及一种图像匹配的定位核区域自动提取方法、装置、设备和介质。该方法包括：获取设置的参考图像和图像匹配数据；根据图像匹配数据确定参考图像的备选区域；在备选区域中提取定位核区域，包括：对备选区域进行特征提取，生成特征点的集合；根据特征点的集合确定多个最小外接正矩形，得到多个矩形区域；对矩形区域进行唯一性检测，选取通过唯一性检测的矩形区域；对通过唯一性检测的矩形区域进行定位精度检测，选取通过定位精度检测的矩形区域作为从备选区域提取的定位核区域。采用本申请，可以对参考图像自动提取定位核区域，定位核区域的提取效果好。
图像匹配定位区域自动提取方法装置设备介质

[发明专利]缺陷检测方法、装置、电子设备及存储介质-CN202310165538.7在审
发明人：缪文良;林卫;李海生;郑洪宝 -专利权人： 长川科技（苏州）有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种缺陷检测方法、装置、电子设备及存储介质，属于视觉检测技术领域，其中，缺陷检测方法，包括：获取待检测多高度面中每个高度面的基准屈光度值；对于每个高度面，均以该高度面对应的基准屈光度值确定目标屈光度值；基于每个高度面的目标屈光度值拍摄对应的高度面，得到每个高度面对应的目标图像；基于所述目标图像进行对应高度面的缺陷检测。该方法通过利用每个高度面的基准屈光度值确定该高度面的目标屈光度值，然后基于该目标屈光度值获取该高度面的图像，最后进行全部高度面的缺陷检测，方便快捷，可以快速获取待检测高度面的清晰图片，进而进行缺陷检测，节省时间，适用于工业生产。
缺陷检测方法装置电子设备存储介质

[实用新型]整平装置及测量载具-CN202223255209.1有效
发明人：徐焕;杜振东;刘治震;雷传;孟恒 -专利权人： 长川科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： B65G47/248 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种整平装置及测量载具，测量载具包括承载台及设于承载台边缘的整平装置。整平装置包括升降机构、翻转机构及转动板。转动板可先在翻转机构带动下切换至第二状态，并在升降机构的带动下下降至承载台的承载面下方，以空出承载台上方的空间。待板材放置于承载台的承载面后，升降机构先带动转动板上升，翻转机构带动转动板由第二状态切换至第一状态，再由升降机构带动转动板下降，直至转动板的压接面与承载台上的板材抵接，便可将板材压平。板材在转动板下降的过程中被逐渐压平，能够避免转动板从侧面挤压板材的翘曲边而将板材压褶。因此，上述整平装置及测量载具能够将板材有效地整平。
平装测量

[发明专利]图像处理方法、装置及图像处理系统-CN202211641592.6在审
发明人：夏勇;孙焱群 -专利权人： 长川科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种图像处理方法、装置及图像处理系统。其中，该方法包括：获取目标样品对应的干涉图像，其中，干涉图像由参考光束和由目标样品表面反射的测量光束干涉形成；对干涉图像进行三维形貌重构，得到目标样品的三维轮廓图像；对干涉图像进行数字图像处理，得到目标样品的二维特征信息；将二维特征信息与三维轮廓图像融合，得到包含目标样品的特征信息的三维形貌图像。通过本申请，解决了干涉仪在3D轮廓中无法体现二维(2D)图像中特征信息的问题。比如表面有多种材料而高度上没有明显区分的样品，在伪彩色3D形貌数据上无边界信息，而2D数据因反射率和/或颜色上有明显差异很容易识别出边界信号。
图像处理方法装置系统

[发明专利]晶粒图像的拼接方法，装置，电子设备-CN202211648944.0在审
发明人：刘军;张彩红;陈思乡;曾兵兵;潘剑凯 -专利权人： 长川科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G06T3/40 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶粒图像的拼接方法，装置，电子设备。其中，该方法包括：获取晶粒图像的各个待拼接子图像；确定各个待拼接子图像的分布情况，并根据分布情况确定初始锚区；获取各层外围闭环图像，各层外围闭环图像为以初始锚区为中心依次由内向外辐射分布的待拼接子图像拼接得到；将初始锚区与各层外围闭环图像拼接后形成目标晶粒图像，其中，初始锚区与相邻的外围闭环图像拼接融合后，再与邻近外围闭环图像拼接融合，依次拼接直至与最外层外围闭环图像拼接形成目标晶粒图像。本申请解决了由于相关技术中一般基于待拼接图像的最高频率响应对应的位置作为拼接偏移位置进行拼接造成的拼接图像容易出现错位的技术问题。
晶粒图像拼接方法装置电子设备

[发明专利]干涉轮廓设备振动状态的确定方法、装置及测量系统-CN202211675965.1在审
发明人：孙焱群;夏勇 -专利权人： 长川科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种干涉轮廓设备振动状态的确定方法、装置及测量系统。其中，该方法包括：响应于采集指令，控制干涉轮廓设备中的信号采集模块采集多帧干涉信号；获取多帧干涉信号中相邻信号间的信号强度差值，并比较各个信号强度差值的大小；依据比较结果确定振动系数，并确定干涉信号的采集频率；基于振动系数和采集频率确定干涉轮廓设备的振动状态。该方法通过利用干涉轮廓设备自身的信号采集设备采集干涉信号进行测量的方式，无需额外添加设备降低成本同时解决无法实时准确地监测振动数据，根据振动数据确定振动状态的技术问题。
干涉轮廓设备振动状态确定方法装置测量系统

[实用新型]真空吸附手指及晶圆搬运设备-CN202222901967.X有效
发明人：陈思乡;杜振东;雷传;徐焕;孟恒 -专利权人： 长川科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-11-01 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： B25J15/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种真空吸附手指及晶圆搬运设备，涉及物料搬运技术领域，本实用新型提供的真空吸附手指用于搬运物料，其中物料包括物料本体及用于固定物料本体的固定支撑件，本实用新型提供的真空吸附手指包括承载本体，用于承载物料；和安装于承载本体上的吸附组件，吸附组件包括多个吸气端面，用于吸附所述固定支撑件的外周面。本实用新型提供的真空吸附手指结构简单，具有能够对物料中固定支撑件的外周面进行吸附的多个吸气端面，可在吸取过程中完成对物料的定位，且能够吸附不同内径的固定支撑件，具有较好的兼容性。
真空吸附手指搬运设备

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