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[发明专利]沉积装置-CN202080023713.3有效
发明人：文炳竣;金宣基;崔虔熏;曹永秀 -专利权人： LG电子株式会社
申请日： 2020-01-21 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明的目的是提供一种沉积装置，其能够最小化用于加热坩埚的热量到达衬底的情况，并且还能够有效地缓解堵塞。该沉积装置包括：坩埚；布置在坩埚外部以加热坩埚的加热器部分；用于将从沉积原料蒸发的沉积材料供应到沉积进行制品的多个喷嘴；以及布置在加热器部分外部的冷却部分，并且该沉积装置还可以包括屏蔽部分、热电模块和喷嘴块中的至少一者。
沉积装置

[发明专利]沉积装置-CN202180054813.7在审
发明人：文炳竣;金宣基;曹永秀;李镕焕 -专利权人： LG电子株式会社
申请日： 2021-06-03 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：沉积装置包括：坩埚，容纳金属物质；反射器，包围坩埚的外周；加热器托架，设置于反射器；加热丝，固定于加热器托架；以及加热丝盖，配置于加热丝和坩埚之间并是绝缘体，在导电性气体泄露时，可以利用加热丝盖的简单的结构防止导电性气体沉积于加热丝。另外，在加热丝盖的外周面可以形成有供加热丝插入并容纳的沟槽。
沉积装置

[发明专利]蒸镀用坩埚及包括它的蒸镀装置-CN202080096848.2在审
发明人：李镕焕;金宣基;金仁奎;文炳竣 -专利权人： LG电子株式会社
申请日： 2020-01-16 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实施例的蒸镀用坩埚包括：圆筒容器形状的坩埚主体，其用于盛装蒸镀原料；及圆筒盖形状的坩埚帽，其形成于上述坩埚主体的上侧，在上表面具备喷射蒸镀物质的至少一个以上的喷嘴，上述坩埚主体包括形成在上部内周面的内螺纹，上述坩埚帽包括以与上述坩埚主体的内螺纹啮合的方式形成于外周面的外螺纹。
蒸镀用坩埚包括装置

[发明专利]抗反射玻璃基底及其制造方法-CN201580004980.5有效
发明人：南真守;金宣基;吴正根;李守衍;安明镇;李在镐 -专利权人：康宁精密素材株式会社
申请日： 2015-01-05 - 公布日： 2019-05-28 - 主分类号： G02B1/11 文献下载
摘要：提供了一种包括具有距表面预定深度的抗反射层的抗反射玻璃基底，所述抗反射玻璃基底的特征在于：抗反射层具有相继从表面开始的深度方向设置的第一层和第二层的至少两层，第一层和第二层中的每个具有多个气孔，第一层的孔隙率小于第二层的孔隙率。此外，提供了一种制造抗反射玻璃基底的方法，所述方法顺序包括利用第一蚀刻液体蚀刻玻璃基底的步骤和利用第二蚀刻液体蚀刻玻璃基底的步骤，所述方法的特征在于：第一蚀刻液体的多价金属离子的摩尔浓度大于第二蚀刻液体的多价金属离子的摩尔浓度。提供了一种制造抗反射玻璃基底的方法，所述方法顺序包括利用第一蚀刻液体蚀刻玻璃基底的步骤和利用第二蚀刻液体蚀刻玻璃基底的步骤，所述方法的特征在于：第一蚀刻液体的氢氧化物和氟化物的摩尔浓度小于第二蚀刻液体的氢氧化物和氟化物的摩尔浓度。
反射玻璃基底及其制造方法

[实用新型]用于嵌入设置的盒子的盖-CN201720677103.0有效
发明人：金光洙 -专利权人： 金宣基
申请日： 2017-06-12 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： E04F19/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种盒子的盖，所述盒子的盖用于在新建建筑物时抹灰施工途中防止水泥流入至盒子内部，所述盒子嵌入设置于建筑物壁面。其的构成的特征在于，包括：插入块，其插入于盒子的内部空间，所述盒子嵌入设置于建筑物的壁面；抓握部，其连接于所述插入块，在作业人员用手抓住的状态下可将所述插入块插入于所述盒子，或者将其拔出。
用于嵌入设置盒子

[发明专利]衬底处理设备-CN200910206692.4有效
发明人：崔圭镇;罗圣闵;李义揆;全容汉;杨彻勋;李太浣;黄旭;金宣基 -专利权人：周星工程股份有限公司
申请日： 2009-10-29 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种衬底处理设备，其经设计以防止旋转的旋转轴的摆动。所述衬底包含旋转轴及连接部件。单元安置于所述旋转轴与所述连接部件之间以使所述旋转轴与所述连接部件彼此密切接触或单元安置于所述旋转轴下方以防止所述旋转轴的所述摆动。
衬底处理设备