专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种层状电磁薄膜材料鼓包样品的制备方法-CN201310749786.2有效
  • 毛卫国;肖敏;戴翠英;丁佳;谢敏;周望;邓水凤;裴永茂;方岱宁 - 湘潭大学
  • 2013-12-31 - 2014-04-30 - H01L43/12
  • 本发明公开了一种用于制备层状电磁薄膜材料鼓包样品的填充材料及其制备方法,以及采用上述填充材料制备层状电磁薄膜材料鼓包样品的方法。该方法首先采精密微机械加工法,在二氧化硅基底上加工出一个通孔。再用特制的混合材料填充通孔,并进行金相抛光处理。然后利用离子溅射方法在基底表面镀上一个环形底电极,再使用溶胶凝胶法依次沉积铁电薄膜和铁磁薄膜,进行退火处理,清洗干燥后在薄膜表面沉积一个环形顶电极。然后用丙酮分析纯和氢氧化钠溶液腐蚀,去除通孔中的填充材料,形成一个独立支撑的薄膜窗口,得到适宜于鼓包测试的电磁性薄膜鼓包样品。此方法操作简便,制备效率高,为鼓包测试提供了一种合适的电磁功能薄膜材料鼓包样品制备方法。
  • 一种层状电磁薄膜材料鼓包样品制备方法

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