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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种铌酸锂晶片/钽酸锂晶片局域快速黑化方法-CN202210716285.3有效
发明人：周伟家;辛笛;孙德辉;张运武;刘晓燕;赵莉莉;王东周;刘宏 -专利权人：济南大学
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： C30B33/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种铌酸锂晶片/钽酸锂晶片局域快速黑化方法，包括以下步骤：(1)将抛光后的铌酸锂晶片或钽酸锂晶片置于密闭装置中，然后充满还原性气体；(2)按照设定好的图形，激光欠焦照射铌酸锂晶片或钽酸锂晶片，通入惰性气体排出还原性气体，得到局域黑化的晶片。所述激光欠焦的参数为：激光波长为1064nm，激光功率为4～10W，欠焦距离为0.50～2.50cm，扫速为100～600mm/s。本发明在还原性气体氛围内，采用激光照射铌酸锂晶片或钽酸锂晶片，能够快速实现晶片黑化，同时还可以对黑化的区域进行选择，达到局域化黑化的目的。
一种铌酸锂晶片钽酸锂局域快速方法

[实用新型]保护装置-CN202122812592.5有效
发明人：辛笛 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2021-11-16 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及保护装置，提供了一种设置于等离子体切割设备内的保护装置，等离子体切割设备用于切割晶圆，晶圆通过粘合层粘合于载体上形成晶圆组件，晶圆组件放置于切割设备内，所述保护装置包括：屏蔽部与支撑部，屏蔽部呈环形结构，所述屏蔽部在内环边缘处与所述晶圆的边缘相接触，并覆盖所述晶圆的边缘以及所述载体的边缘，所述屏蔽部在外环边缘处与所述支撑部相连接，当晶圆组件放置于所述等离子体切割设备内进行等离子体轰击时，屏蔽部能够保护所述载体免受等离子体轰击的伤害，从而降低生产成本并提高生产效率；同时，由于屏蔽部覆盖晶圆的边缘，还能够避免在切割过程中晶圆边缘的翘起，并使得晶圆的刻蚀切割更加精确，提高了切割精度。
保护装置

[实用新型]一种安装工具-CN201721403243.5有效
发明人：何进;辛笛 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2017-10-27 - 公布日： 2018-06-15 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种安装工具，适用于半导体工艺的干法刻蚀设备中上下电极之间绝缘盘的安装过程中，包括环形架，环形架提供以承托面用以承托绝缘盘；支撑结构，设置于环形架背向承托面的一面上，用以支撑环形架；第一定位结构，均布于承托面的周向，用以定位绝缘盘；第二定位结构，均布于承托面边缘的周向，用以定位固定绝缘盘的螺栓；对准结构，设置于承托面，用以对准绝缘盘。其有益效果在于：可以准确地对应绝缘盘与固定螺栓的位置，并使绝缘盘与固定螺栓处于同心圆的位置，减少不必要的零件损坏和提高最大跑货时间。 1
绝缘盘环形架承托面承托安装工具定位结构固定螺栓均布干法刻蚀设备同心圆半导体工艺本实用新型螺栓安装过程定位固定对准结构零件损坏上下电极支撑结构对准支撑

[实用新型]新型上电极安装装置-CN201720948727.1有效
发明人：辛笛 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2017-07-28 - 公布日： 2018-02-06 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型上电极安装装置，包括操作台，操作台的上端设置有至少两个与定位孔一一对应的操作台定位销，操作台定位销插入其对应的定位孔中，以将冷却盘固定在操作台上，操作台上沿周向开有多个与螺纹通孔一一对应的通孔，当上电极安装到冷却盘上后，通过通孔将固定螺丝将安装到螺纹盲孔和螺纹通孔中。本实用新型可以轻松实现上电极和冷却盘的定位，便于上电极和冷却盘的固定，使上电极和冷却盘轻松且稳定的安装在一起，减少晶圆在生产过程中的中缺陷的几率，提高晶圆良率。
新型电极安装装置

[实用新型]一种刻蚀机绝缘环的拆卸装置-CN201720541489.2有效
发明人：辛笛 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2017-05-16 - 公布日： 2017-12-15 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种刻蚀机绝缘环的拆卸装置，包括架体以及设置于所述架体的张合结构，所述张合结构包括滑块与至少四个抵接杆，所述滑块与所述架体可活动连接，以使所述滑块可在所述架体的垂直方向上运动，所述抵接杆的一端与所述滑块铰接，另一端形成自由端，所述滑块于所述架体上滑移时带动所述抵接杆转动，以使所述自由端向背离所述架体的方向运动，或使所述自由端面向所述架体的方向运动，所述抵接杆的长度相同以使每一所述自由端在运动时始终处于同一水平面。就可以直接操作抵接杆运动以使自由端与绝缘环的内壁抵触形成抵触力，而具备有抵触力后，就可以通过拉动架体实现对绝缘环的取出与放置，较为简单便利。
一种刻蚀绝缘拆卸装置

[发明专利]一种抽气泵的抽气系统及抽气泵-CN201510179466.7有效
发明人：辛笛;陆飞 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2015-04-15 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： F04C25/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种抽气泵的抽气系统及抽气泵，其中，一种抽气泵的抽气系统包括第一真空管，所述第一真空管的一端与反应腔连接，另一端设置有一泄压阀，所述第一真空管上设置有一第一开关阀；第二真空管，所述第二真空管的一端连接于所述第一真空管；以及第三真空管，所述第三真空管的一端连接于所述第二真空管的另一端。当需要清理时，将所述第一开关阀和所述第二开关阀关闭，打开所述泄压阀，让空气进入所述第一真空管中，清理所述第一真空管即可，无需停止抽气泵，也无需打开反应腔，减少了对所述抽气泵的损伤以及所述第三真空管和所述抽气泵连接处的磨损，提高了所述抽气泵的使用寿命。
一种气泵系统

[实用新型]静电吸附盘安装工具-CN201120571423.0有效
发明人：辛笛;李文;张绪彪;袁成宝 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2011-12-30 - 公布日： 2012-08-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种静电吸附盘安装工具，所述静电吸附盘通过若干螺钉安装于底座上，所述静电吸附盘上设有若干与所述螺钉相匹配的螺钉孔，所述静电吸附盘安装工具包括一圆盘状本体，所述圆盘状本体的直径大于或者等于所述静电吸附盘的直径，所述圆盘状本体对应所述静电吸附盘上的螺钉孔设有相应的通孔，所述通孔的直径大于相应螺钉的螺帽的外径。在拆装静电吸附盘时，可以先将该圆盘状本体盖在所述静电吸附盘上，因此，在用螺丝刀松开或者拧紧静电吸附盘上的螺钉的过程中，圆盘状本体盖始终阻隔螺丝刀碰触静电吸附盘，从而在静电吸附盘的更换过程中起到保护静电吸附盘的作用。
静电吸附安装工具

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