专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]双电源自动切换电路-CN202321134000.1有效
  • 李中鹤;王振华;赵堃 - 国家能源集团宁夏煤业有限责任公司
  • 2023-05-11 - 2023-10-27 - H02J9/06
  • 本申请提供了一种双电源自动切换电路,双电源自动切换电路包括两个电压比较电路和两个逻辑控制电路。通过在主电压源的电压大于或者等于第一基准电压的情况下,第一电压比较电路输出第一高电平信号,使得第一逻辑控制电路输出第一驱动电压,以实现采用主电压源为负载供电,且在备用电压源的电压大于或者等于第二基准电压的情况下,第二逻辑控制电路输出低电平信号,且第二电压比较器输出第二高电平信号,以实现采用备用电压源为负载供电,从而达到了切换电压源的目的,进而解决了现有技术中当工作电源电压衰减至线圈不能持续保持时才切换至备用电源运行的问题。
  • 双电源自动切换电路
  • [实用新型]低压电容器的保护装置-CN202320141997.7有效
  • 杨文海;徐林;王玲琴;李中鹤;王振华;张胜文;王立民;赵堃;孙建轶;李轶楠;石晓莹 - 国家能源集团宁夏煤业有限责任公司
  • 2023-02-03 - 2023-10-13 - H02H7/16
  • 本实用新型提供了一种低压电容器的保护装置,包括:壳体;烟感报警组件,烟感报警组件安装在壳体内;温度传感器,温度传感器安装在壳体内,用于感测壳体内部的温度;冷却组件,冷却组件安装在壳体内,冷却组件具有朝向壳体的多个方向进行吹风的出风口;控制器,控制器安装在壳体内,并分别与烟感报警组件、冷却组件、温度传感器以及电容器的保护开关电连接。当电容器因故障起火时,温度传感器将壳体内的温度信号传递给控制器,控制器根据壳体内的温度情况启动冷却组件,以对壳体内的零部件以及内部空间进行整体散热,降低烟感报警组件因高温而出现损害的概率,以使烟感报警组件能够正常的感测到烟雾信号,以使控制器及时切断电容器的保护开关。
  • 低压电容器保护装置
  • [发明专利]基于111晶向的硅外延片制备方法、硅外延片及半导体器件-CN202310686810.6有效
  • 郭艳敏;王楠;赵堃;莫宇 - 中电科先进材料技术创新有限公司
  • 2023-06-09 - 2023-09-15 - H01L21/20
  • 本发明提供一种基于111晶向的硅外延片制备方法、硅外延片及半导体器件。该方法包括:在硅片表面进行高速率的111晶向外延生长,得到第一外延层;对第一外延层进行刻蚀;在刻蚀后的第一外延层表面进行低速率的111晶向外延生长,得到第二外延层,硅片、刻蚀后的第一外延层和第二外延层构成基于111晶向的硅外延片。本发明首先在硅片表面高速率生长第一外延层,相比于常规生长速度具有更高的效率,然后对第一外延层进行刻蚀,能够去除第一外延层表面具有雾缺陷的部分,最后在第一外延层表面进行低速率生长,确保最终硅外延片表面平整、稳定,并且相比于全程慢速率生长具有更高的生产效率,解决了高速率生长的硅外延片表面存在雾缺陷的问题。
  • 基于111外延制备方法半导体器件
  • [发明专利]单晶炉导流筒及单晶炉-CN202310685822.7在审
  • 郭艳敏;王楠;赵堃;莫宇 - 中电科先进材料技术创新有限公司
  • 2023-06-09 - 2023-08-01 - C30B29/06
  • 本申请适用于半导体技术领域,提供了一种单晶炉导流筒及单晶炉。该单晶炉导流筒包括:外导流筒和设置于外导流筒内部的内导流筒;内导流筒包括锥筒部件和直筒部件;锥筒部件靠近单晶炉的炉口,直筒部件靠近单晶炉的炉底;锥筒部件为倒锥形结构,锥筒部件的下口与直筒部件的上口相连接。本申请提供的单晶炉导流筒能够有效减小固液生长界面径向方向上单晶中心与边缘的温度梯度差异,提高固液生长界面的径向V/G的均匀性,同时增大单晶上半部分的散热,从而减小直拉生长的单晶中COP缺陷的尺寸和数量。
  • 单晶炉导流
  • [发明专利]硅外延片的制备方法及硅外延片-CN202310685932.3在审
  • 郭艳敏;王楠;赵堃;莫宇 - 中电科先进材料技术创新有限公司
  • 2023-06-09 - 2023-08-01 - H01L21/02
  • 本发明提供一种硅外延片的制备方法及硅外延片。上述硅外延片的制备方法包括:将硅基板布置于腔体中,腔体持续通入恒定流量的载气,腔体压力恒定;在腔体内对硅基板进行至少两次外延生长,制备得到具有平坦化的硅外延层的硅外延片;对硅外延片进行一次吹扫及降温。本发明无需进行化学机械抛光,仅需在制备外延层时进行至少两次沉积,就可以获得平坦化的硅外延片,步骤简单,操作便宜,有效降低了硅外延片的制造难度及成本。
  • 外延制备方法
  • [发明专利]硅外延片的预处理方法-CN202310686308.5在审
  • 郭艳敏;王楠;赵堃;莫宇 - 中电科先进材料技术创新有限公司
  • 2023-06-09 - 2023-08-01 - H01L21/02
  • 本发明提供一种硅外延片的预处理方法。该方法包括:对硅外延片进行清洗、漂洗及甩干处理,以去除硅外延片表面的自然氧化层及杂质残留,得到干燥的第一硅外延片;将第一硅外延片置于退火炉腔体中进行退火处理,并在退火处理的温度稳定阶段,对第一硅外延片进行氧化处理,以在退火处理后得到第二硅外延片;对第二硅外延片进行冷却处理,得到目标硅外延片,以基于目标硅外延片进行电阻率测试。本发明能够有效提升对硅外延片的处理效率和处理工艺精度,从而为后续对硅外延片进行电阻率测试提供高质量的硅外延片元件,进而有效提高硅外延片的电阻率测试的效率和精度。
  • 外延预处理方法
  • [发明专利]在硅片表面生长3C-SiC薄层的方法及3C-SiC层-CN202310685815.7在审
  • 郭艳敏;王楠;赵堃;莫宇 - 中电科先进材料技术创新有限公司
  • 2023-06-09 - 2023-08-01 - H01L21/205
  • 本发明提供一种在硅片表面生长3C‑SiC薄层的方法及3C‑SiC层,其中,方法包括以下步骤:将清洗后的硅片安装到具有快速退火功能的设备中;在设备中持续通入第一预设气体,并对设备进行升温,当温度达到第一预设温度时,同时在设备中持续通入第二预设气体,当温度升高到第二预设温度后,停止升温并保持第二预设温度不变,对硅片进行快速退火,其中,第一预设气体为保护气体,第二预设气体中包含甲烷或乙炔中的至少一种气体;当快速退火达到预设时间后,停止通入第一预设气体和第二预设气体,通入第三预设气体在硅片上形成的3C‑SiC层进行保护。本发明提供的生长3C‑SiC薄层的方法可以在硅片本体或硅外延片上形成一层均匀、致密的、非岛状的3C‑SiC单晶层。
  • 硅片表面生长sic薄层方法
  • [发明专利]一种多层化SOI基板的制备方法及SOI基板-CN202310686800.2在审
  • 郭艳敏;王楠;赵堃;莫宇 - 中电科先进材料技术创新有限公司
  • 2023-06-09 - 2023-08-01 - H01L21/762
  • 本申请适用于硅片的制备技术领域,提供了一种多层化SOI基板的制备方法及SOI基板,该制备方法包括:将清洗后的硅片安装到设备中;3C‑SiC层生长步骤:向设备中持续通入第一预设气体,当温度达到第一预设温度时,通入第二预设气体,在硅片表面形成3C‑SiC层,进行退火;第一预设气体为保护气体,第二预设气体中包含甲烷或乙炔中的至少一种气体;单晶Si层生长步骤:停止通入第一和第二预设气体,升温至第三预设温度并通入第三预设气体,在3C‑SiC层上生长单晶Si层后,停止通入第三预设气体;重复3C‑SiC层生长步骤和单晶Si层生长步骤预设次数,升温至第四预设温度后,进行退火,形成多层化Si/3C‑Si/SixC1‑x/3C‑SiC/Si基板。本申请的方法能够在保证SOI基板的绝缘性的同时,提高散热性能。
  • 一种多层soi制备方法基板

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