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[发明专利]一种调频连续波激光雷达光源的非线性校准系统和方法-CN202310590411.X在审
发明人：曾宪峰;贾连希 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2023-05-24 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01S5/042 文献下载
摘要：本发明涉及一种调频连续波激光雷达光源的非线性校准系统和方法，其中，系统包括：驱动模块用于基于待校准信号的采样点产生方波信号，并将方波信号作用于激光器；拍频模块包括耦合部和探测部，耦合部将激光器产生的光信号转换为类似两个不同幅值的直流信号产生的光信号，并将光信号进行拍频，得到含有方波不同幅值对应的差频光信号；探测部将差频光信号转换为电信号；校准模块用于基于电信号计算差频光信号的频率差值，将频率差值与设置的理想频率差进行比较，并在不满足误差要求的情况下对方波信号的电压值进行自适应滤波，将自适应滤波后的电压值作为新的方波信号的幅值作用于激光器。本发明能够得到更准确的拍频信息，同时降低校准难度。
一种调频连续激光雷达光源非线性校准系统方法

[发明专利]一种能够实现双层波导的方法-CN202310555792.8在审
发明人： 贾连希 -专利权人：苏州硅光科技有限公司
申请日： 2023-05-17 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G02B6/136 文献下载
摘要：本发明提供一种能够实现双层波导的方法，包括以下步骤：S1：第一次光刻；将光刻胶涂覆在硬掩膜层表面，以暴露出硬掩膜层，再通过刻蚀将暴露出的硬掩膜层及下包层进行蚀掉，完成硬掩膜层及下包层的刻蚀；S2：第二层光刻及下包层刻蚀；清洗完剩余的光刻胶，并再次涂覆新光刻胶，利用斜切层光刻，再次刻蚀暴露的下包层；S3：掩膜层去除；将覆盖的光刻胶完全清洗，通过刻蚀将表面的全部硬掩膜层进行去除；S4：成膜；重新在刻蚀后的下包层表面生长光波导层(可以是氮化硅、多孔硅等介质材料)；S5：抛光；将晶圆表面的光波导材料去除；S6：上包层生长。本发明通过斜切层光刻，使两次掩膜的重叠部分实现零宽度的尺寸，从而不会受到光刻限制。
一种能够实现双层波导方法

[发明专利]铌酸锂器件的制备方法及其结构-CN202111045217.0在审
发明人： 贾连希;曾宪峰 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2021-09-07 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： G02B6/138 文献下载
摘要：本发明提供一种铌酸锂器件的制备方法及其结构，该制备方法首先将完整的单元区域及不完整的单元区域定义出来，然后在对铌酸锂薄膜进行刻蚀时，基于该完整的单元区域及不完整的单元区域单独对其下方的铌酸锂薄膜进行刻蚀，这样对于每一个单元区域下方的铌酸锂薄膜刻蚀时，均是以硬掩膜层作为掩膜，其他区域被光刻胶层保护，这样可以对每个单元区域的铌酸锂薄膜刻蚀采用不同的刻蚀条件，进行工艺优化，避免了现有的两步掩膜刻蚀技术导致晶圆边缘处刻蚀平整度较低，晶圆边缘的粗糙、铌酸锂薄板厚度变化大的问题；另外，因为铌酸锂晶圆的价格昂贵，采用本实施例的制备方法可以有效降低铌酸锂刻蚀工艺的开发成本。
铌酸锂器件制备方法及其结构

[发明专利]硅光芯片与平面波导阵列的封装方法及其封装结构-CN202111045226.X在审
发明人： 贾连希 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2021-09-07 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本发明提供一种硅光芯片与平面波导阵列的封装结构及其制备方法，该封装结构包括：硅光芯片，包括多条并排设置的第一光波导；平面波导阵列包括多条并排设置的第二光波导，且多条第一光波导与多条第二光波导一一对应对接耦合；对接耦合结构，包括刻蚀硅光芯片一端表面至硅衬底中形成的第一端沟槽及刻蚀平面波导阵列的基底层一端形成的第二端沟槽，第二端沟槽反向套嵌于第一端沟槽的上方；匹配粘合层，粘合硅光芯片、平面波导阵列及对接耦合结构。通过设置对接耦合结构，可使硅光芯片与平面波导阵列通过第一端沟槽及第二端沟槽实现两者端面之间的直接接触耦合，有效降低封装结构的耦合损耗，且通过匹配粘合层固定，结构牢固可靠。
芯片平面波导阵列封装方法及其结构

[发明专利]一种实现CWDM的光收发器-CN202211375894.3在审
发明人： 贾连希 -专利权人：苏州硅光科技有限公司
申请日： 2022-11-04 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G02B6/43 文献下载
摘要：本发明涉及光纤通讯技术领域，具体公开一种实现CWDM的光收发器，包括第一芯片和第二芯片，所述第一芯片连接多路光纤阵列，所述第一芯片上设置第一多路调制器和多路探测器，所述第二芯片上设置两组多路分配器，所述第一多路调制器与所述第二芯片一组多路分配器连接，所述多路探测器与所述第二芯片另一组多路分配器连接，所述第二芯片连接两路光纤阵列，所述两路光纤阵列具有输出端和输入端，所述第二芯片两组多路分配器均与所述两路光纤阵列连接。本发明采用硅光实现调制器及探测器功能，实现单片的集成，相比分立器件，集成度更高，相比单片集成器件，性能更有保证。
一种实现 cwdm 收发

[发明专利]一种实现FA端口对准的方法-CN202211302183.3在审
发明人： 贾连希 -专利权人：苏州硅光科技有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：本发明涉及芯片封装测试领域，具体公开一种实现FA端口对准的方法，该方法包括：通过光纤阵列的一个或者多个端口将光导入到硅光芯片环形波导中，所述环形波导具有y型分束器，以将光在y型分束器的位置分离成两路；当两束光在波导中传播一周后，在y型分束器的结点处汇合，并通过光纤阵列端口导出芯片，根据接收回来的信号强度进行校准。本发明使用带有y型分束器的环形波导代替传统的对准结构，节省了光纤阵列的尺寸，避免了因交叉波导造成串扰而增大损耗的缺点。
一种实现 fa 端口对准方法

[发明专利]混合CMOS兼容电光器件-CN202080018633.9在审
发明人：卢国强;肖恩·约翰内斯·萧;贾连希 -专利权人：先进微晶圆私人有限公司
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：一种包括多种半导体材料的混合光子芯片，该多种半导体材料被布置成限定提供功能的芯片，其中芯片的至少第一部分由可以使用CMOS技术制造的材料形成；并且芯片的至少第二部分包括非线性晶体材料且未经蚀刻处理；其中与芯片的第一部分相结合的芯片的第二部分被配置为支持传播的低损耗单模波导。
混合 cmos 兼容电光器件

[发明专利]一种用于光子集成电路的分布式反馈激光器装置及其改进和制造方法-CN201980092959.3在审
发明人：高峰;贾连希;帕特里克·国强·卢 -专利权人：先进微晶圆私人有限公司
申请日： 2019-12-26 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： H01S5/12 文献下载
摘要：本发明提供一种集成在硅上的分布式反馈激光器，包括具有第一材料的波导和具有不同于所述第一材料的第二材料形成的激光二极管的组合。其中激光二极管包括形成单纵模的多个规则间隔的金属化光栅元件。波导包括由金属化区域分隔的多个波导元件。金属化光栅元件和金属化区域适于彼此耦合以形成所述分布反馈激光器。
一种用于光子集成电路分布式反馈激光器装置及其改进制造方法

[发明专利]一种减小波导尖端尺寸的方法-CN202010325446.7有效
发明人： 贾连希;王庆;刘雨菲;余明斌 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2020-04-23 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： G02B6/122 文献下载
摘要：本发明涉及一种减小波导尖端尺寸的方法，包括曝光原先二次曝光的区域，并完成刻蚀。本发明可以尽可能的减小波导侧壁的不对称，降低偏振旋转效应，进一步推进了倒锥形波导的制作和应用。
一种减小波导尖端尺寸方法

[发明专利]一种硅基集成化光学异或及同或运算阵列-CN201110439451.1无效
发明人：张磊;耿敏明;陈平;冀瑞强;杨林;贾连希;刘育梁 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2009-04-22 - 公布日： 2012-05-02 - 主分类号： G02F1/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅基集成化光学异或及同或运算阵列，该光学异或及同或运算阵列由多个光学异或及同或运算单元构成，由该光学异或及同或运算单元组成的一维阵列可同时得到两个向量的异或及同或运算结果，其二维阵列可同时得到向量与矩阵的异或及同或运算结果。本发明的突出优点是：利用现成的工艺技术，使得器件体积小，功耗低，扩展性好，便于与电学元件集成；利用激光脉冲传递信息，速率高，延迟小；用数字方式进行信号处理，避免了模拟光学系统的精度差、可编程能力弱的缺点。经过结构及工艺优化，本发明对异或及同或运算的处理速度将可能超越集成电路处理方式的速度，为更高速的应用提供支持。
一种集成化光学运算阵列

[发明专利]一种硅基集成化的光学加密调制器-CN200910237843.2无效
发明人：张磊;杨林;陈平;贾连希;冀瑞强;田永辉;卢洋洋;刘育梁 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2009-11-11 - 公布日： 2011-05-18 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅基集成化的光学加密调制器，该光学加密调制器由两个纳米线微环谐振器MRR实现，具有两个输入端和一个输出端，该两个输入端分别输入一明文电脉冲序列和一密钥电脉冲序列，输出端输出一密文光脉冲序列，该输出的密文光脉冲序列可直接进入光纤进行传输。本发明的突出优点是：使用单个器件同时完成了加密与调制功能，它利用现成的工艺技术，使得器件体积小，功耗低，扩展性好，便于与电学元件集成，特别适合用于对体积、功耗及成本敏感的场合。
一种集成化光学加密调制器

[发明专利]基于微环谐振器的集成化光学向量-矩阵乘法器-CN200910093881.5有效
发明人：冀瑞强;张磊;耿敏明;杨林;贾连希;陈平;刘育梁 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2009-09-23 - 公布日： 2011-04-20 - 主分类号： G06E1/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种集成化光学向量-矩阵乘法器，该光学向量-矩阵乘法器由可扩展的内积运算单元构成，该内积运算单元由一维排列的多个可调谐的平行波导结构的微环谐振器构成，该光学向量-矩阵乘法器采用集成光学的方式实现M×N矩阵与N×1向量的乘法，其中矩阵和向量中的元素均为0或1的二进制数，M、N为自然数。本发明提供的这种基于微环谐振器的光学向量-矩阵乘法器，集成度高，可扩展性强，且便于与电学元件集成，提高了信息传递速率，减小了信息传递的延迟，避免了模拟光计算系统的精度差、可编程能力弱等缺点，并解决了传统光学向量-矩阵乘法器空间分集效率低下的问题。
基于谐振器集成化光学向量矩阵乘法器

[发明专利]一种硅基集成化光学异或及同或运算单元及其阵列-CN200910082082.8无效
发明人：张磊;耿敏明;陈平;冀瑞强;杨林;贾连希;刘育梁 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2009-04-22 - 公布日： 2010-10-27 - 主分类号： G02F1/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅基集成化光学异或及同或运算单元及其阵列，基本结构为微环谐振器，采用硅基纳米线波导制作。该逻辑运算单元用激光脉冲表示一个逻辑变量，用电调制信号表示另一个逻辑变量，同时完成二者的异或及同或运算。由该逻辑运算单元组成的阵列则可以完成向量与向量的异或/同或运算，以及向量与矩阵的异或/同或运算。本发明的突出优点是：利用现成的工艺技术，使得器件体积小，功耗低，扩展性好，便于与电学元件集成；利用激光脉冲传递信息，速率高，延迟小；用数字方式进行信号处理，避免了模拟光学系统的精度差、可编程能力弱的缺点。经过结构及工艺优化，本发明对异或及同或运算的处理速度将可能超越集成电路处理方式的速度，为更高速的应用提供支持。
一种集成化光学运算单元及其阵列

[发明专利]一种基于有源微环谐振器的4×4无阻塞光路由器-CN201010175447.4无效
发明人：冀瑞强;田永辉;杨林;张磊;贾连希 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2010-05-12 - 公布日： 2010-10-27 - 主分类号： G02B6/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于有源微环谐振器的4×4无阻塞光路由器，包括四个平行波导微环谐振器1×2光开关和四个交叉波导微环谐振器1×2光开关，所述四个平行波导微环谐振器1×2光开关连接于所述四个交叉波导微环谐振器1×2光开关，使得该路由器仅包含四个输入端口和四个输出端口，且对应于器件中的每条波导从输入端到输出端依次与四个微环谐振器相耦合，其中两个微环谐振器用于将该波导输入端的光信号下载到另外两条波导的输出端，另外两个微环谐振器用于将前面所述两条波导输入端的光信号上载到该波导对应的输出端，从而实现四个双向通信端口之间的完全无阻塞路由切换。
一种基于有源谐振器阻塞路由器

[发明专利]一种集成化可重构光插分复用器-CN201010162323.2无效
发明人：田永辉;杨林;冀瑞强;卢洋洋;张磊;贾连希;陈平 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2010-04-28 - 公布日： 2010-09-22 - 主分类号： G02B6/293 文献下载
摘要：本发明公开了一种集成化可重构光插分复用器，该可重构光插分复用器单元采用级联可调双微环谐振器作为基本单元，包含有多个级联可调双微环谐振器，其中每个级联可调双微环谐振器均包括两条互不交叉的直波导和两个半径不同的环形波导，该两个环形波导位于两条直波导之间，且与两条直波导之间有一预定的耦合距离，且两个环形波导之间也有一预定的耦合距离。本发明利用成熟的工艺技术，器件结构紧凑，可扩展性强，稳定性好；采用级联半径不同的双环的办法展宽了自由普范围(FSR)从而可以增加信道数、提高器件的信息吞吐量，利用双环平顶的滤波特性提高了器件的稳定性。利用热光效应调谐微环使得其谐振波长动态可调从而构成了可重构光插分复用器。
一种集成化可重构光插分复用器

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