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[发明专利]双台面直写光刻设备的控制方法、下位机和直写光刻设备-CN202211499842.7在审
发明人：周安萌;邵德洋;谢卫传 -专利权人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种双台面直写光刻设备的控制方法、下位机和直写光刻设备，其中，双台面直写光刻设备的控制方法，包括：在对第一台面上的基板进行曝光处理时，获取第二台面上的基板的曝光数据并进行存储；以及在对第二台面上的基板进行曝光处理时，获取第一台面上的基板的曝光数据并进行存储。本发明的双台面直写光刻设备的控制方法，能够减少曝光前发送等待时间，提高效率和提高生产线路板的产能。
台面光刻设备控制方法下位

[实用新型]基于FPGA的直写光刻数据采集装置及直写光刻设备-CN202220418431.X有效
发明人： 谢卫传;贾刚 -专利权人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于FPGA的直写光刻数据采集装置及直写光刻设备，所述装置包括：FPGA芯片与上位机连接，用于接收上位机传输的数据，并对数据进行预处理；动态随机存储器，与FPGA芯片连接，用于缓存预处理后的数据；万兆光纤通讯接口，与FPGA芯片连接，用于将处理后的数据输出至数据处理卡；电源模块，用于向直写光刻数据采集装置供电，该实用新型可以避免因驱动安装而导致连接不成功出现的数据传输错误，从而提高直写光刻数据采集装置数据传输的稳定性。同时，该直写光刻数据采集装置对上位机例如PC端下发的数据做预处理，然后传输至数据处理卡，可降低对CPU和GPU的使用，从而降低直写光刻设备对PC的性能要求。
基于 fpga 光刻数据采集装置设备