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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]控制设备和方法、光刻装置、制造物品的方法和存储介质-CN202010984147.4有效
发明人： 西村光英;本岛顺一 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2020-09-18 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供控制设备和方法、光刻装置、制造物品的方法和存储介质。控制设备用于通过向控制对象赋予前馈操作量来进行对控制对象的位置控制，从而即使在通过赋予前馈操作量来进行位置控制的情况下继续控制的目标时间超过上限，也能够抑制控制偏差，控制设备包括：被构造为用作确定单元和校正单元的至少一个处理器或电路，确定单元被构造为，确定用于继续使用前馈操作量的控制的目标时间是否超过预定时间，并且校正单元被构造为，在确定单元确定目标时间超过了预定时间的情况下，将前馈操作量校正为向目标时间的末端衰减。
控制设备方法光刻装置制造物品存储介质

[发明专利]基板处理装置以及物品制造方法-CN202010173097.1有效
发明人： 西村光英;神野健一;松本华宗 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2020-03-13 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：公开了基板处理装置以及物品制造方法。本发明提供了处理基板的基板处理装置，该装置包括被配置成保持和移动基板的台、被配置成在输送单元与台之间保持和输送基板的输送单元、被配置成累积通过处理基板而生成的与台和输送单元有关的控制信息的累积单元以及确定单元，该确定单元被配置成通过基于在累积单元中累积的控制信息来选择能够针对台和输送单元设定的多个输送过程中的一个输送过程来确定在台与输送单元之间输送基板时的输送过程。
处理装置以及物品制造方法

[发明专利]控制装置、光刻装置和物品制造方法-CN202210954985.6在审
发明人： 西村光英;本岛顺一;寺尾勉 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2022-08-10 - 公布日： 2023-02-21 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供控制装置、光刻装置和物品制造方法。提供了一种用于对移动体进行位置控制的控制装置。该装置包括前馈控制器，其被构造为通过将前馈操纵变量提供给移动体来进行前馈控制。在前馈控制的持续时间超过预定时间的情况下，前馈控制器使用基于在包括预定时间结束的预定区间中使用的前馈操纵变量而获得的前馈操纵变量来继续前馈控制。
控制装置光刻物品制造方法

[发明专利]控制设备、光刻装置和物品的制造方法-CN201910349381.7有效
发明人：吉田宏二;本岛顺一;西村光英;大豆生田吉广 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2019-04-28 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供控制设备、光刻装置和物品的制造方法。该控制设备通过向控制对象提供前馈操纵值来进行控制对象的位置控制，其中，所述设备针对控制对象将被布置的多个位置中的各位置，获得当向控制对象提供第一操纵值时获得的控制对象的第一输出响应的测量结果，基于在所述多个位置处分别获得的测量结果确定第一输出响应的基准值，通过基于第一操纵值与基准值之间的关系按时间序列排列多个第一操纵值来确定第二操纵值，并基于第二操纵值设置前馈操纵值。
控制设备光刻装置物品制造方法

[发明专利]曝光装置、曝光方法和制造物品的方法-CN201910132118.2有效
发明人： 西村光英;远藤正俊;本岛顺一 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2019-02-22 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：公开了曝光装置、曝光方法和制造物品的方法。提供了曝光基板的曝光装置。曝光装置包括：台，被配置成保持并且移动基板；和控制器，被配置成基于为了针对基板上的投射区域的台的聚焦驱动而取得的测量值和校正值来控制台的聚焦驱动。控制器被配置成根据曝光时的视角来确定校正值。
曝光装置方法制造物品

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