“蔡耀”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果154个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种体声波谐振器及其制备方法-CN202310032185.3在审
发明人：林炳辉;蔡耀;高超;王雅馨;邹杨;孙博文;孙成亮 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种体声波谐振器及其制备方法，涉及微电子技术领域，本申请的体声波谐振器的制备方法，包括：提供衬底，并在衬底上沉积压电薄膜层；通过第一离子注入在衬底内形成预设深度的损伤层；在压电薄膜层的一侧形成顶电极；释放损伤层形成空腔；通过第二离子注入在压电薄膜层的另一侧形成底电极。本申请提供的体声波谐振器及其制备方法，能够提高体声波谐振器中压电薄膜的晶体质量，进而提高体声波谐振器的性能。
一种声波谐振器及其制备方法

[发明专利]谐振器及其制备方法、滤波器-CN202210067464.9有效
发明人：罗天成;蔡耀;高超;邹杨;林炳辉;龙开祥;孙博文;孙成亮 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2022-01-20 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：一种谐振器及其制备方法、滤波器，涉及谐振器技术领域。该制备方法包括：在第一衬底上形成压电层、第一电极层和第一键合层；对第一键合层进行图案化以形成第一键合环、第二键合环和第三键合环；并刻蚀露出的第一电极层以形成第一窗口；在第二衬底上形成第一支撑层和第二键合层；对第二键合层进行图案化以形成第四键合环和第五键合环；并刻蚀露出的第一支撑层以形成第二窗口和第三窗口，得到位于第三窗口和第二窗口之间的边界环；将第三键合环和第五键合环键合、第二键合环和第四键合环键合得到谐振器的空腔结构；去除第一衬底，并在压电层上形成第二电极层。该制备方法通过封装键合工艺实现边界环的制备，其制备工艺简单。
谐振器及其制备方法滤波器

[发明专利]一种谐振装置及其制备方法-CN202310131718.3在审
发明人：孙成亮;范宇晨;蔡耀;许秉乾;童欣;王雅馨;杨超翔 -专利权人：武汉大学
申请日： 2023-02-16 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明属于光通信技术领域，公开了一种谐振装置及其制备方法。本发明提供的谐振装置包括光波导微环谐振器和薄膜体声波谐振器，薄膜体声波谐振器包括上电极层、压电材料层和下电极层，压电材料层位于上电极层和下电极层之间，光波导微环谐振器嵌入于压电材料层中，光波导微环谐振器与薄膜体声波谐振器耦合，本发明利用薄膜体声波谐振器的逆压电效应能够实现对光波导微环谐振器的调频，并能够使二者的耦合效果达到最佳，此外，薄膜体声波谐振器中的压电材料层还能直接作为光波导微环谐振器的反射介质，进而有效简化结构。
一种谐振装置及其制备方法

[发明专利]一种VR屏下眼压监测装置-CN202310157655.9在审
发明人：刘文娟;杨思洁;卢亮宇;曾敏;蔡耀;刘炎;孙成亮 -专利权人：武汉大学
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： A61B3/16 文献下载
摘要：本申请公开了一种VR屏下眼压监测装置。其包括：VR眼镜；压电式超声换能器阵列，具有多个PMUT单元，位于VR眼镜内，用以通过发射超声波信号采集角膜厚度信息；微处理器，用以根据角膜厚度信息判断眼压值是否异常，并在眼压值异常时关闭VR眼镜。本技术方案中，将压电微机械超声换能器阵列嵌入在VR眼镜内部，超声换能器通过发射超声波测量角膜厚度变化，并反馈给微处理器处理数据，当角膜厚度变化值达到预定值时，微处理器判定此时眼压值异常并在异常时关闭VR眼镜，强制使用者进入休息模式，保证VR眼镜使用者合理分配时间，做到安全用眼。本申请眼压监测具有实时性，可以动态监测VR眼镜使用者眼部状态，保证安全用眼的同时不会对使用者造成测量负担。
一种 vr 眼压监测装置

[发明专利]谐振器的制作方法及谐振器-CN202310127168.8在审
发明人：林炳辉;蔡耀;邹杨;高超;王雅馨;詹道栋;丁志鹏;孙博文;孙成亮 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2023-02-10 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种谐振器的制作方法及谐振器。制作方法包括：提供第一衬底，第一衬底包括第一压电层；在第一压电层上形成第一键合层，第一键合层具有第一压电性，且覆盖第一压电层；提供包括第二键合层的第二衬底，第二衬底具有第一端和第二端，第二键合层位于第二端，第二键合层具有第二压电性；在第二衬底中形成损伤层，损伤层位于第一端，且损伤层和第二键合层之间具有部分第二衬底；将第一键合层和第二键合层键合，形成第一晶圆；去除损伤层和第一端的部分第二衬底，剩余的部分第二衬底形成第二压电层；在第二压电层上形成底电极和支撑部件，底电极和部分支撑部件交替设置；去除第一衬底，使第一压电层裸露；在第一压电层上形成顶电极。
谐振器制作方法

[发明专利]基于微环谐振腔的MOEMS三轴加速度传感器及其制备方法-CN202210344926.7有效
发明人：王融汇;孙成亮;蔡耀;范宇晨;刘炎;许秉乾 -专利权人：武汉大学
申请日： 2022-03-31 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G01P15/03 文献下载
摘要：一种基于微环谐振腔的MOEMS三轴加速度传感器及其制备方法，涉及微光机电系统(MOEMS)中的惯性器件领域。该传感器包括含有空腔(20)的基底(10)，空腔(20)上表面为一层薄膜(30)；薄膜(30)下方附着有一个质量块(40)；顶层刻蚀有相互耦合的两组直波导(60)和四个微环谐振腔(50)，其中四个微环谐振腔(50)均位于空腔(20)上方的薄膜(30)上；直波导(60)则位于基底(10)上，每个直波导(60)具有一个入射端和两个出射端，每一个微环谐振腔(50)分别与一个出射端相耦合。该加速度计通过检测各个微环谐振腔谐振峰的改变来测量三个不同方向的加速度分量。
基于谐振腔 moems 加速度传感器及其制备方法

[发明专利]谐振器的制备方法及谐振器-CN202310318312.6在审
发明人：林炳辉;蔡耀;邹杨;高超;王雅馨;孙博文;孙成亮 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种谐振器的制备方法及谐振器。制备方法包括：提供半导体基体，半导体基体具有第一表面；在具有第一表面的半导体基体的一侧形成第一单晶层；在第一单晶层远离半导体基体的一侧形成压电层；在第一表面上形成间隔设置的两个阻隔件，阻隔件将第一单晶层分隔为多个单晶层，多个单晶层与两个阻隔件交替设置；顺序刻蚀压电层和单晶层，形成贯穿单晶层的第一通孔和贯穿压电层的第二通孔，第一通孔和第二通孔连通；根据第一通孔和第二通孔去除位于相邻阻隔件之间的键合层，形成空腔。上述方法由于在单晶层上生长得到的薄膜质量较好，因此该谐振器结构中能够得到高质量的第一电极层和压电层从而提高了具有该谐振器结构的谐振器的性能。
谐振器制备方法

[发明专利]基于声子晶体提升品质因数的薄膜体声波谐振器-CN202211677918.0在审
发明人：蔡耀;许秉乾;孙成亮;邹杨;周禹;杨婷婷;国世上;刘炎 -专利权人：武汉大学
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于声子晶体提升品质因数的薄膜体声波谐振器，抑制现有薄膜体声波谐振器因加工中产生的材料C轴取向不一致导致的横向伪模式，将谐振器的纵向振动限制在上下电极覆盖部分的压电薄膜，提升谐振器品质因数。本发明基于FBAR的空气隙结构，在传统的上电极‑压电薄膜‑下电极的三明治结构中引入声子晶体作为侧边声波抑制结构，使得FBAR中横向传播的伪模态被抑制，减少了杂波。本发明设计的声子晶体的具体单元结构为：1.环绕传统多边形上下电极的电极群，从而减小电极区域的能量泄露；2.贯穿压电薄膜的图案化孔洞，从而将声波能量约束上下电极覆盖的压电薄膜区域内，即解决横向伪模态的声波传输，从而显著提升品质因数。
基于晶体提升品质因数薄膜声波谐振器

[发明专利]一种谐振器-CN202111087392.6有效
发明人：谢英;蔡耀;孙成亮 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2021-09-16 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种谐振器，涉及无线通信技术领域，本发明的谐振器,包括衬底，以及在衬底内部形成的空腔，衬底上铺设有压电层，压电层上设置有沿第一方向的多个条形正电极，多个条形正电极沿垂直于第一方向的第二方向依次间隔排列，相邻的两个正电极之间设置有条形负电极，压电层上设置有沿第二方向延伸的凹槽。本发明提供的谐振器，能够有效降低超高频体声波谐振器机电耦合系数。
一种谐振器

[发明专利]一种薄膜体声波谐振器及其制备方法-CN202210643790.X有效
发明人：孙成亮;蔡耀;孙博文;丁志鹏;林炳辉 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2022-06-08 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本申请提供一种薄膜体声波谐振器及其制备方法，涉及半导体技术领域，包括衬底以及位于衬底上表面的下电极、压电层和上电极；下电极具有第一拱形部，以在第一拱形部和衬底之间形成有第一空腔；在下电极和压电层之间设置有第一反射腔，第一反射腔位于第一拱形部的斜坡处。由于下电极具有第一拱形部，第一反射腔可以位于第一拱形部斜坡上的斜面处，如此，能够利用斜坡使得第一反射腔在反射横向声波时，使横向声波发生多次反射，从而消耗横向横波的能量，以便于进一步的降低横向寄生模态，有助于提高薄膜体声波谐振器的品质因子。
一种薄膜声波谐振器及其制备方法

[发明专利]一种消息同步处理方法、装置及存储介质-CN202010106876.X有效
发明人：马祖山;蔡耀;汤金辉;杨春晖 -专利权人：视联动力信息技术股份有限公司
申请日： 2020-02-20 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H04L67/14 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种消息同步处理方法、装置及存储介质，所述服务器与多个第一客户端分别通信连接，所述服务器设置有消息队列，服务器接收到用于向多个第一客户端广播的消息时，检测所述多个第一客户端中是否存在与所述服务器断开连接的目标客户端，当检测到存在与所述服务器断开连接的目标客户端时，所述服务器将所述消息存储到所述消息队列，以在目标客户端重连后，将所述消息队列中的消息补发至该目标客户端，保证每个参赛者所使用的客户端界面同屏，稳定竞赛的进程和秩序。
一种消息同步处理方法装置存储介质

[发明专利]压电针式PMUT的血压监测装置-CN202211260250.X在审
发明人：刘文娟;卢亮宇;胡博豪;杨超翔;汪泽凯;蔡耀;刘炎;孙成亮 -专利权人：武汉大学
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： A61B5/021 文献下载
摘要：本申请公开了压电针式PMUT的血压监测装置。该血压监测装置包括：一压电传感器模块，其包括依次叠设的衬底、传感器阵列层和封装层，PMUT器件至少部分凸出于封装层的表面，PMUT器件包括依次叠设的压电层和电极层，压电层覆于衬底的顶面，压电层覆于封装层的底面；CMOS电路模块，与压电传感器模块集；可穿戴式装配体，供压电传感器模块、CMOS电路模块安装并用以提供穿戴功能。其中压电传感器模块检测到脉搏并将机械能转换成电能，输出电荷经过数据处理模块，通过动脉脉冲的压电动力学原理，由微处理单元将输出电压波形转换成血压值输出，即可完成血压实时监测功能。本装置操作简单，测量精确，可批量化生产。
压电 pmut 血压监测装置

[发明专利]体声波谐振器以及体声波谐振器的制作方法-CN202310168373.9在审
发明人：邹杨;蔡耀;高超;林炳辉;孙博文;孙成亮 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2023-02-27 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本申请提供了一种体声波谐振器以及体声波谐振器的制作方法。该体声波谐振器包括衬底、压电层、支撑层、第一电极层、第二电极层以及框架结构，其中，支撑层夹设在衬底与压电层之间，衬底、压电层以及支撑层围合形成空腔，第一电极层设置于压电层的靠近衬底的一侧，第二电极层设置于压电层的远离衬底的一侧，框架结构设置于第一电极层和/或第二电极层的远离压电层的部分表面上，框架结构由至少两种声阻抗材料构成。该体声波谐振器的谐振区域内的第二电极层和/或第一电极层的表面设置有框架结构，框架结构可以有效反射横向声波，因此可以减小横向播的泄露，从而提高谐振器的Q值，进而解决了现有技术中体声波谐振器Q值较低的问题。
声波谐振器以及制作方法

[发明专利]一种可调谐的压电式光环谐振腔-CN202210429303.X有效
发明人：孙成亮;国世上;许秉乾;蔡耀;杨超翔;范宇晨;刘炎 -专利权人：武汉大学
申请日： 2022-04-22 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： G02B6/122 文献下载
摘要：本发明属于MEMS光电器件技术领域，公开了一种可调谐的压电式光环谐振腔，包括压电悬臂梁组件、光学波导组件，光学波导组件位于压电悬臂梁组件的上方，光学波导组件包括微环谐振腔和耦合器，压电悬臂梁组件在电信号的作用下产生振动，微环谐振腔基于振动产生应变并改变其谐振频率。本发明解决了现有技术中微环谐振腔难以实现多频率工作且无法调谐的问题。本发明利用压电效应，通过电信号作用使压电悬臂梁组件产生振动，进而使微环谐振腔产生应变并改变其谐振频率，本发明具有较大的频响范围与可调谐性，本发明结构集成度较高，灵敏度优良，成本较低。
一种调谐压电光环谐振腔

[发明专利]体声波谐振器及其制备方法、滤波器-CN202111116757.3有效
发明人：罗天成;蔡耀;赵坤丽;邹杨;曲远航;刘炎;孙成亮;孙博文 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2021-09-23 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：一种体声波谐振器及其制备方法、滤波器，涉及滤波器技术领域。该体声波谐振器包括具有空腔的衬底、设于衬底上的底电极、设于底电极上的压电层和设于压电层上的顶电极；空腔、底电极、压电层和顶电极在层叠方向上的交叠区域形成有效谐振区域；体声波谐振器还包括位于有效谐振区域之外且贯通压电层并延伸至衬底内的至少一个声波隔离孔，声波隔离孔与空腔连通。该体声波谐振器能够有效改善声波能量自有效谐振区域向非有效谐振区域泄漏，从而提高体声波谐振器的品质因数。
声波谐振器及其制备方法滤波器