专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]NAND型非易失性半导体存储装置-CN200910130661.5无效
  • 菊地祥子;中崎靖;村冈浩一 - 株式会社东芝
  • 2009-03-27 - 2009-09-30 - H01L27/115
  • 本发明提供一种将铝氧化物膜作为阻挡绝缘膜的高性能的MONOS型的NAND型非易失性半导体存储装置。在半导体基板中,具备串联连接的多个存储单元晶体管、和选择晶体管。存储单元晶体管具备:半导体基板上的第一绝缘膜;电荷积蓄层;作为铝氧化物的第二绝缘膜;第一控制栅电极;以及第一源/漏区域。选择晶体管具备:半导体基板上的第三绝缘膜;作为铝氧化物且含有四价阳离子元素、五价阳离子元素、N(氮)中的至少一种元素的第四绝缘膜;第二控制栅电极(108b);以及第二源/漏区域。
  • nand型非易失性半导体存储装置
  • [发明专利]非易失性存储元件及其制造方法-CN200910008226.5无效
  • 有吉惠子;高岛章;菊地祥子;村冈浩一 - 株式会社东芝
  • 2009-02-19 - 2009-08-26 - H01L29/792
  • 提供一种非易失性存储元件及其制造方法。该非易失性存储元件包括:半导体区;相互隔开地设置在所述半导体区中的源区和漏区;设置在源区与漏区之间的半导体区上的隧道绝缘膜;设置在所述隧道绝缘膜上的电荷存储层;设置在所述电荷存储层上的阻挡绝缘膜;以及设置在所述阻挡绝缘膜上的控制栅电极。所述电荷存储层包括含有从包括Hf、Al、Zr、Ti和稀土金属的组中选择的至少一种材料、并且被全部或者部分地晶化的氧化物、氮化物或氧氮化物。所述阻挡绝缘膜包括含有至少一种稀土金属的氧化物、氧氮化物、硅酸盐或铝酸盐。
  • 非易失性存储元件及其制造方法
  • [发明专利]非易失性半导体存储器器件和其制造方法-CN200810149776.4无效
  • 中崎靖;村冈浩一;安田直树;菊地祥子 - 株式会社东芝
  • 2008-09-25 - 2009-04-01 - H01L29/792
  • 一种能够电地写、擦除、读和保持数据的MONOS型非易失性半导体存储器器件,该存储器器件包括:源/漏区域;在沟道区上形成的第一栅绝缘层;在第一栅绝缘层上形成的第一电荷俘获层;形成于第一电荷俘获层上,并且具有比第一栅绝缘层更大的膜厚度的第二栅绝缘层;以及在第二栅绝缘层上形成的控制电极。第一电荷俘获层包括包含Al和O作为主要元素的绝缘膜,该绝缘膜具有由间隙O原子和置换Al原子的四价阳离子原子的复合物形成的缺陷对或由氧空位和置换O原子的N原子的复合物形成的缺陷对,所述绝缘膜还具有位于距离Al2O3的价带最大值2eV-6eV的范围内的电子未占据能级。
  • 非易失性半导体存储器器件制造方法

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