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[发明专利]通过腔室泵抽和吹扫降低释气对处理腔室的影响-CN201980007890.X在审
发明人：约翰·巴格特 -专利权人： 艾克塞利斯科技公司
申请日： 2019-01-30 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种工件处理系统，其具有耦接至释气腔室的处理腔室。释气腔室阀选择性使处理环境与相应的处理腔室和释气腔室内限定的释气环境隔离。加热器选择性使释气腔室中的工件支撑件上的工件加热到第一预定温度。真空源选择性使释气腔室减压到第一预定压力。工件传送设备选择性在释气腔室与处理腔室之间传送工件。控制器通过释气腔室阀来隔离释气腔室中的工件，并且控制器配置成通过相应的加热器和真空源而同时使工件加热到第一预定温度并使释气腔室减压到第一预定压力。在第一时间段内使工件保持第一预定温度和第一预定压力，该第一时间段与预定释气阈值相关联。
通过腔室泵抽降低处理影响

[发明专利]用于离子注入机的氢气发生器-CN201980007028.9在审
发明人：尼尔·科尔文;哲-简·谢;理查德·雷舒特;温迪·科尔比 -专利权人： 艾克塞利斯科技公司
申请日： 2019-01-22 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明提供一种用于离子注入系统的终端，其中该终端具有用于支撑离子源(108)的终端壳体(154)，该离子源配置成形成离子束。该终端壳体内的气体箱(146)具有氢气发生器(144)，该氢气发生器配置成产生用于离子源的氢气。气体箱与终端壳体电隔离并进一步电耦合到离子源。离子源和气体箱通过多个电绝缘体与终端壳体电隔离。多个绝缘支座(156)使终端壳体与大地电隔离。终端电源使终端壳体相对于大地电偏置到终端电势。离子源电源使离子源相对于终端电势电偏置到离子源电势。导电管(148)使气体箱与离子源电耦合。
用于离子注入氢气发生器

[发明专利]通过实时控制静电夹钳中的静电电荷沉积来提供一致性静电夹持的方法-CN201880079015.8在审
发明人：爱德华·麦金太尔;威廉·雷诺兹 -专利权人： 艾克塞利斯科技公司
申请日： 2018-12-04 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提出一种具有静电夹钳的静电夹钳监测系统，该静电夹钳配置成通过一个或多个电极选择性将工件静电夹持至与其相关联的夹持面。电源供应器电耦接至静电夹钳并配置成选择性以夹持频率向静电夹钳供给夹持电压。数据采集系统测量供给至一个或多个电极的电流，并且控制器取经测电流对时间的积分，以此确定与工件与静电夹钳间夹持力相关联的电荷值。控制器进一步配置成基于确定电荷值选择性更改夹持电压和夹持频率之中的一个或多个，由此保持工件与静电夹钳间的期望夹持力。
通过实时控制静电夹钳中的电荷沉积提供一致性夹持方法

[发明专利]用于扫描束注入机的束轮廓确定速度提升-CN201580071116.7有效
发明人：安迪·雷;爱德华·C·爱斯纳 -专利权人： 艾克塞利斯科技公司
申请日： 2015-12-28 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： H01J37/304 文献下载
摘要：本发明提供一种离子注入系统和方法，其中离子束被调节到第一工艺处方。沿扫描平面以第一频率扫描该离子束，限定第一扫描离子束。将束轮廓确定装置平移通过所述第一扫描离子束，并在所述第一扫描离子束的宽度的范围测量所述第一扫描离子束的一个或多个属性，由此限定与所述第一扫描离子束相关联的第一束轮廓。然后，沿扫描平面以第二频率扫描所述离子束，由此限定第二扫描离子束，其中，第二频率小于第一频率。至少部分地基于所述第一束轮廓确定与所述第二扫描离子束相关联的第二束轮廓。随后，经由所述第二扫描离子束将离子注入到工件中。
用于扫描注入轮廓确定速度提升

[发明专利]用于半导体制造设备的浅角、多波长、多受光器、灵敏度可调的校准传感器-CN201880066493.5在审
发明人：约翰·巴格特;比利·伯努瓦;乔·费拉拉;布莱恩·特里 -专利权人： 艾克塞利斯科技公司
申请日： 2018-10-25 - 公布日： 2020-05-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种工件对准系统，其具有发光设备，该发光设备使多个波长的光束沿浅角的路径朝向工件平面在周边区域的第一侧引导。受光设备在与第一侧相反的第二侧上接收光束。旋转装置选择性旋转工件支座。当工件与路径相交时，控制器基于通过工件所接收的光束量来确定工件的位置。基于工件的透射率来控制受光设备的灵敏度。基于旋转位置、所接收的光束量、工件的透射率、工件边缘的检测以及受控的受光设备灵敏度来确定工件旋转时的工件位置。
用于半导体制造设备波长多受光器灵敏度可调校准传感器

[发明专利]高生产量加热的离子注入系统和方法-CN201710507923.X有效
发明人：阿曼·候赛诺维奇;约瑟夫·费拉拉;布瑞·泰瑞 -专利权人： 艾克塞利斯科技公司
申请日： 2015-06-12 - 公布日： 2020-05-26 - 主分类号： H01J37/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子注入系统，所述离子注入系统具有连接到第一和第二双负载锁定组件(136)的离子注入设备，第一和第二双负载锁定组件每一个都具有被共用壁(146)分离的各自的第一室(138)和第二室(140)。每一个第一室都具有构造成将工件加热至第一温度的预热设备。每一个第二室都具有构造成将工件冷却至第二温度的后冷却设备。热卡盘将工件保留在处理室中以用于离子注入，并且热卡盘被构造为将工件加热到第三温度。泵和通风口与第一室和第二室选择性地流体连通。控制器被构造为在大气环境中通过预热设备将工件加热到第一温度，通过热卡盘将工件加热到第二温度，通过离子注入设备将离子注入工件中，并通过预热设备、后冷却设备、泵、通风口和热卡盘的控制在大气环境与真空环境之间传输工件。
生产量加热离子注入系统方法

[发明专利]用于离子源的集成提取电极操纵器-CN201680020055.6有效
发明人：伯·范德伯格;约瑟夫·瓦林斯基;迈克尔·克里斯托福罗 -专利权人： 艾克塞利斯科技公司
申请日： 2016-03-22 - 公布日： 2020-05-22 - 主分类号： H01J27/02 文献下载
摘要：模块化离子源和提取设备200包括选择性地电连接到电压电位的离子源室202，其中离子源室包括提取孔203。提取电极206位于靠近离子源室的提取孔的位置，其中提取电极被配置为从离子源室提取离子，并且可以电接地。一个或多个连杆208可操作地连接到离子源室，并且一个或多个绝缘体210将提取电极连接到相应的一个或多个连杆，其中一个或多个绝缘体使相应的一个或多个连杆与提取电极电绝缘，其中提取电极与离子源室电绝缘。一个或多个致动器212、218、220可操作地将一个或多个连杆连接到离子源室，其中一个或多个致动器被配置成使一个或多个连杆相对于所述离子源室平移，其中使提取电极在一个或多个轴线上平移。
用于离子源集成提取电极操纵

[发明专利]在AEF区域内原位进行束膜稳定或去除的系统和方法-CN201880062832.2在审
发明人：陶天照;大卫·柯克伍德 -专利权人： 艾克塞利斯科技公司
申请日： 2018-10-09 - 公布日： 2020-05-12 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明涉及一种离子注入系统，其具有配置为形成离子束的离子源以及具有AEF区域的角能量滤波器(AEF)。气体源通过膜与气体的反应而钝化和/或蚀刻留存于AEF上的膜。该气体可为氧化气体或含氟气体。气体源可在形成离子束的同时选择性将气体供应到AEF区域。加热AEF，以辅助气体钝化和/或蚀刻膜。热量可源自离子束和/或源自与AEF相关联的辅助加热器。歧管分配器可操作性耦接至气体源并配置为将气体供应到一个或多个AEF电极。
aef 区域内原位进行稳定去除系统方法

[发明专利]双极性晶片电荷监测器系统及包含其的离子注入系统-CN201680010096.7有效
发明人：马文·法利;坂瀬高尾;约瑟夫·福利 -专利权人： 艾克塞利斯科技公司
申请日： 2016-02-24 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： H01J37/304 文献下载
摘要：本发明提供用于在离子注入期间确定工件经历的累积电荷的设备及方法。在一方面，提供具有朗缪耳探针(126)的电荷监测器，其中正电荷整流器(136)和负电荷整流器(138)可操作地耦合至所述探针并且各自被配置成仅传输正电荷和负电荷；正电流积分器(140)可操作地耦合至所述正电荷整流器(136)，其中所述正电流积分器经由正临界电压(142)而偏压，并且其中所述正电流积分器被配置成至少部分基于所述正临界电压输出正剂量(144)；负电流积分器(150)可操作地耦合至所述负电荷整流器(138)，其中所述负电流积分器经由负临界电压(152)而偏压，并且其中所述负电流积分器被配置成至少部分基于所述负临界电压输出负剂量(154)；正电荷计数器(146)和负电荷计数器(156)被配置成各自接收来自所述正电流积分器和负电流积分器的输出，以便提供与各自正电荷和负电荷相关联的各自累积正电荷值(148)和累积负电荷值(158)。
极性晶片电荷监测器系统包含离子注入

[发明专利]凸轮致动丝极夹钳-CN201680048302.3有效
发明人：约翰·巴格特;杰森·贝灵哲 -专利权人： 艾克塞利斯科技公司
申请日： 2016-07-29 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：一种离子源丝极夹钳(100)具有夹钳构件(102)，其具有第一端部(104)及第二端部(106)。第一端部具有凸轮表面(132)以及凸轮从动件(134)中的一个并且具有彼此相对且由开槽(114)分隔开的第一部分(110)及第二部分(112)，该开槽具有界定于其中的引线开口(116)，用以容置离子源丝极的引线。致动器销(120)沿致动器销轴线(126)延伸并且具有第一区段(122)及第二区段。第一区段(122)被耦接至夹钳构件的第一部分(110)。致动器销延伸贯穿夹钳构件的第二部分中的通孔(128)并且与其滑动啮合。凸轮构件(108)操作式耦接至致动器销(120)的第二区段(124)。凸轮构件具有握柄(13)以及凸轮表面及凸轮从动件中的另一个并且被配置成在夹紧位置与松开位置之间旋转。凸轮从动件(134)滑动接触凸轮表面(132)。在夹紧位置中，凸轮从动件以第一预定方式啮合凸轮表面，因此选择性将夹钳构件的第一部分与第二部分(110、112)压向彼此并且在引线开口内的引线上施加夹持压力，同时引发夹钳构件的第一部分与第二部分之间的弹性张力。在松开位置中，凸轮从动件以第二预定方式啮合凸轮表面，其中，弹性张力使夹钳构件的第一部分与第二部分(110、112)彼此分开地扩张，其中释放引线开口内的引线上的夹持压力。
凸轮致动丝极夹钳

[发明专利]恒定质量流的多层次冷却剂路径的静电夹盘-CN201580007872.3有效
发明人：威廉·戴维斯·李 -专利权人： 艾克塞利斯科技公司
申请日： 2015-02-06 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种工件支撑件，其具有容器，该容器具有顶部内壁及底部内壁。在所述顶部内壁与底部内壁之间界定内部腔室，其中支撑表面配置成支撑工件。板件定位于所述内部腔室内，该板件将所述内部腔室划分成顶部腔室及底部腔室。所述顶部与底部腔室绕所述板件的外围流体耦接。界定于所述顶部内壁及所述板件的顶部部分中的一个或多个中的第一锥体跨所述顶部腔室的径向横截面提供基本上恒定的容积。界定于所述底部内壁及所述板件的底部部分中的一个或多个中的第二锥体跨所述底部腔室的径向横截面提供基本上恒定的容积。第一端口及第二端口将所述顶部腔室及底部腔室流体耦接至各自的第一流体通道及第二流体通道。
恒定质量多层次冷却剂路径静电

[发明专利]组合多极磁体及偶极扫描磁体-CN201580070492.4有效
发明人：爱德华·艾伊斯勒 -专利权人： 艾克塞利斯科技公司
申请日： 2015-12-28 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明提供一种用于离子注入系统的组合扫描与聚焦磁体。所述组合扫描与聚焦磁体包括具有高磁导率的轭圈。所述轭圈限定配置成使离子束贯穿其中的通孔。一个或多个扫描仪线圈在操作上被耦合至所述轭圈并被配置成在被电气耦合至电源供应器时产生时变、主要偶极的磁场。一个或多个聚焦线圈在操作上被耦合至所述轭圈并被配置成产生主要多极的磁场，其中，所述主要多极的磁场为静态场或时变场中之一。
组合多极磁体扫描

[发明专利]用于离子注入的组合静电透镜系统-CN201580070493.9有效
发明人：爱德华·C·艾伊斯勒;伯·范德伯格 -专利权人： 艾克塞利斯科技公司
申请日： 2015-12-28 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本发明提出用于以低能量将离子注入工件内的系统及方法。提供配置成生成离子束的离子源，其中，质量解析磁体被配置成质量解析该离子束。离子束可以是带状射束或经扫描的点状离子束。定位于质量解析磁体下游的质量解析孔径过滤离子束中的不良粒种。组合静电透镜系统被定位于质量分析器的下游，其中，使离子束的路径偏转并且大体上滤除离子束中的污染物，同时使离子束减速并平行化。工件固持与平移系统进一步被定位于组合静电透镜系统的下游并被配置成选择性使工件在一个或多个方向上平移通过离子束，在其中将离子注入工件内。
用于离子注入组合静电透镜系统

[发明专利]改善混合式扫描离子束注入机的生产率的系统及方法-CN201580070384.7有效
发明人：伯·范德伯格;安迪·雷 -专利权人： 艾克塞利斯科技公司
申请日： 2015-12-28 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： H01J37/30 文献下载
摘要：本发明提供一种通过确定优化扫描宽度来改善混合式扫描注入机的生产率的方法。本发明还提供一种调谐经扫描离子束的方法，其中，确定期望束电流，用以利用期望特性来注入工件。利用设置法拉第杯来调谐所述经扫描射束。使用设置法拉第杯的时间信号来调整扫描宽度，以获得最佳扫描宽度。针对与期望剂量相对应的期望通量值来调谐光学器件。当获得期望通量值时，控制通量分布的均匀性。进一步测量离子束的角度分布。
改善混合式扫描离子束注入生产率系统方法

[发明专利]用于大温度范围夹盘的多流体冷却系统-CN201580007888.4有效
发明人：威廉·戴维斯·李;史蒂夫·德拉蒙德 -专利权人： 艾克塞利斯科技公司
申请日： 2015-02-06 - 公布日： 2019-11-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种静电夹紧系统，其具有静电夹盘，该静电夹盘具有一个或多个电极和夹紧表面以及穿过该静电夹盘的一个或多个流体通道。多个流体源具有与其相关联的各自的多个流体，其中所述多个流体中的每一流体在化学上彼此相异且具有与其相关联的各自的可行流体温度范围。热单元配置成将多个流体加热和/或冷却至一个或多个预定温度设定点。阀组件配置成使所述多个流体源中的每一流体源选择性流体耦接至所述静电夹盘的所述一个或多个流体通道。控制器亦配置成经由对所述阀组件的控制使所述静电夹盘的所述一个或多个流体通道选择性与所述多个流体源中的所选一个或多个流体源流体耦接。
用于温度范围流体冷却系统