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[发明专利]一种快速蒸镀钙钛矿太阳电池电极的方法及其器件制备-CN202011264744.6有效
发明人：吴闰生;刘冬阳;祝志辉;任超凡;刘澄宇;江民华;孔青荣;詹长军;肖地林 -专利权人：新余学院
申请日： 2020-11-13 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H10K71/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用于快速蒸镀倒置纯碘钙钛矿太阳电池金属电极的真空镀膜方法及无掺杂纯碘钙钛矿太阳电池的制备，属于光电器件领域。本蒸镀钙钛矿太阳电池的方法分三个步骤进行，它们分别为慢速、中速和高速。1、低速阶段。在金属挡板挡住蒸发舟电源时，蒸发电源电流控制在100A‑120A范围内，加热5‑8分钟，当打开挡板时，蒸发速度为0.1‑0.6埃/秒；此时金属电极的厚度达到5nm；2、中速阶段。提高蒸发电源的电流到130‑140A时，蒸发速度约0.6‑0.8埃/秒，待金属电极的厚度达到15nm。3、高速阶段。再次提高蒸发电源的电流到140A‑150A，蒸发速度约3埃/秒，维持该高速蒸发的速度到金属电极的厚度为100nm为止。倒置纯碘钙钛矿太阳电池的制备分空穴传输层、钙钛矿活性层、电子传输层、钝化层和金属电极，通过本发明蒸镀金属电极的方法制备的倒置钙钛矿太阳电池，取得了17.51%的光电转换效率，在纯碘倒置钙钛矿太阳电池中性能是最优之一。
一种快速蒸镀钙钛矿太阳电池电极方法及其器件制备

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