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[实用新型]一种蒸镀设备-CN202320953859.9有效
发明人：邱开富;牛闯;吴涛;王宏涛;宗贝贝;王皓正;王永谦;贺良琴;陈刚 -专利权人：浙江爱旭太阳能科技有限公司;珠海富山爱旭太阳能科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请适用于太阳能电池技术领域，提供了一种蒸镀设备。蒸镀设备包括蒸镀腔、蒸镀器件和加热器件，蒸镀器件设于蒸镀腔，用于在基底上蒸镀钙钛矿前驱体层；蒸镀器件包括基座、坩埚和加热源，基座用于固定基底，坩埚用于收容钙钛矿前驱体层的蒸镀源，加热源用于将蒸镀源蒸发；加热器件设于蒸镀腔，用于加热基底，对钙钛矿前驱体层进行结晶处理，形成钙钛矿层。如此，由于蒸镀腔内设有蒸镀器件和加热器件，故可以在蒸镀的过程中或蒸镀后，快速干燥钙钛矿前驱体层并诱导钙钛矿结晶，从而可以大幅减少工艺过程和钙钛矿前驱体层暴露在大气中的时间，降低水汽的侵蚀，提高钙钛矿层的稳定性
一种设备

[发明专利]钙钛矿膜层及其制备方法、制备系统和钙钛矿电池-CN202210725083.5在审
发明人：陈寇成;吴俊杰;邵君;于振瑞 -专利权人：无锡极电光能科技有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： H01L51/48 文献下载
摘要：本发明涉及太阳能电池技术领域，具体涉及一种钙钛矿膜层及其制备方法、制备系统和钙钛矿电池。钙钛矿膜层的制备方法，包括以下步骤：采用真空蒸镀的方式将蒸镀原料沉积在移动地钙钛矿基片的表面，形成第一膜层；在第一膜层的表面涂布有机盐的溶液或蒸镀所述有机盐，经过热处理，得到钙钛矿膜层；所述蒸镀原料采用线性蒸发源进行蒸镀；所述蒸镀原料包括第一原料，所述第一原料包括卤化铅。通过采用线性蒸发源制备第一原料骨架，骨架同时兼具适当的疏松多孔，大面积、均匀高的特点，然后采用有机盐的溶液渗透或者蒸镀有机盐，热处理后形成高质量钙钛矿薄膜；该方法可具有大面积均匀成膜，钙钛矿晶体纯度高且形貌可控
钙钛矿膜层及其制备方法系统钙钛矿电池

[实用新型]一种钙钛矿器件蒸镀设备-CN202122404358.9有效
发明人：黄稳;高永喜;胡淳;徐飞;武启飞 -专利权人：苏州方昇光电股份有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种钙钛矿器件蒸镀设备，包括蒸镀腔体，所述蒸镀腔体内设有用于对基片进行蒸镀的多个蒸镀机构和用于带动基片经过多个所述蒸镀机构的流转机构，所述流转机构为往复传送机构，所述往复传送机构传送基片往复经过多个所述蒸镀机构通过将流转机构设置为往复传送机构，流转机构可带动较大尺寸的基片往复扫描式蒸镀，实现大尺寸钙钛矿器件的蒸镀，流转机构可依次传送多片基片经过蒸镀机构进行蒸镀，实现钙钛矿器件的批量蒸镀。
一种钙钛矿器件设备

[发明专利]一种倒置钙钛矿太阳能电池及其制备方法-CN202310392061.6在审
发明人：梁素霞;邹盛;董源;石磊;张文君;付超;郭玉昆;郭思溢;蒋云磊;于天宇;苏杰 -专利权人：杭州电子科技大学;杭州众能光电科技有限公司
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H10K30/15 文献下载
摘要：本发明公开了一种倒置钙钛矿太阳能电池及其制备方法，属于太阳能电池制备技术领域，其结构包括导电玻璃基底、空穴传输层、钙钛矿薄膜、电子传输层和金属电极，其制备方法包括清洁、磁控溅射、真空蒸镀、激光刻蚀划线等步骤在进行钙钛矿薄膜加工时，利用真空蒸镀工艺，将两种或两种以上固态材料逐层蒸镀到已经覆盖了空穴传输层的透明导电玻璃表面。蒸镀完成后，进行退火结晶。通过控制电流控制蒸镀速度，通过控制蒸镀时间调控膜层厚度。采用该方法制备的钙钛矿薄膜，表面平整，均匀性好，致密性高。将其组装成钙钛矿太阳能电池，所得器件的光电转化效率较高，稳定性较好。
一种倒置钙钛矿太阳能电池及其制备方法

[发明专利]一种宽带隙钙钛矿太阳能电池的制备方法-CN202310806592.5在审
发明人：刘澈澈;潘琛;赵玉飞;谢亮生;文瑜;张芹 -专利权人：南昌航空大学
申请日： 2023-07-04 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H10K71/12 文献下载
摘要：本发明一种宽带隙钙钛矿太阳能电池的制备方法采用等摩尔比的溴化铅和溴化铯为原料生成的铯铅溴单晶作为蒸镀源，通过物理气相沉积得到钙钛矿光吸收层，并由导电基底、电子传输层、钙钛矿光吸收层、空穴传输层和金属背电极层构成钙钛矿太阳能电池本发明通过以铯铅溴单晶作为蒸镀源，在真空环境下，对导电基底蒸镀铯铅溴钙钛矿薄膜，致密、大面积的铯铅溴钙钛矿薄膜能够增强光吸收层与载流子传输层的接触性，从而提升钙钛矿电池的能量转化效率，能量转换效率最高测得
一种宽带隙钙钛矿太阳能电池制备方法

[发明专利]一种基于紫外共混蒸镀工艺钙钛矿发光二极管及制备方法-CN201910266142.5有效
发明人：高瞻;于军胜;于欣格;杨根杰 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2019-04-03 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： H01L51/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于紫外共混蒸镀工艺钙钛矿发光二极管及制备方法，包括以下步骤：对衬底清洗干燥处理后设置阳极层；然后用UV预处理，并传送至手套箱内进行空穴传输层制备；再移入真空镀膜室中，共混蒸镀钙钛矿材料和紫外固化剂溶液，过程中一直使用紫外光照射，制备交联钙钛矿薄膜形成的发光层；再在发光层上蒸镀制得电子传输层和阴极层，制得有机电致发光器件；最后进行封装。采用紫外共混蒸镀工艺制备钙钛矿发光层，制得的钙钛矿薄膜致密连续，粗糙度低，结晶性好，抗水氧腐蚀性强，同时通过控制钙钛矿材料和紫外固化剂的蒸发速率比调控发光亮度，增强制备过程可控性。
一种基于紫外共混蒸镀工艺钙钛矿发光二极管制备方法

[发明专利]一种钙钛矿薄膜的制备方法及其太阳能电池的制备方法-CN201811103166.0有效
发明人：吴朝新;雷霆;董化;焦博;牛永;徐洁;侯洵 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2018-09-20 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： H01L51/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种钙钛矿薄膜的制备方法及其太阳能电池的制备方法；包括采用真空热蒸镀的方式，将钙钛矿ABX3原料中的BX2沉积到基片上，基片上形成BX2薄膜；在所述BX2薄膜上闪蒸钙钛矿ABX3原料中的AX盐，得到表面覆盖有过量AX盐的钙钛矿薄膜；清洗过量的AX盐，得到厚度为80‑500nm的钙钛矿薄膜。该方法先蒸镀BX2，再闪蒸过量的AX，最后再洗掉过量AX，得到均匀致密的钙钛矿薄膜，这种方法使得钙钛矿薄膜层的制备更加可控，操作简单，重复性好，解决了现有技术中ABX3蒸镀控制复杂的问题，从而有利于钙钛矿薄膜的大规模生产。
一种钙钛矿薄膜制备方法及其太阳能电池

[实用新型]一种真空蒸镀设备-CN202320805071.3有效
发明人：嵇永康;祝晓钊;张天强 -专利权人：苏州方昇光电股份有限公司
申请日： 2023-04-12 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及钙钛矿基片制造技术领域，尤其是指一种真空蒸镀设备，包括：真空腔体，用于置放待蒸镀的钙钛矿基片；蒸镀组件，至少一部分设于所述真空腔体内，包括线条式坩埚，所述线条式坩埚对所述钙钛矿基片释放蒸镀材料；其中，所述线条式坩埚包括坩埚本体、设于所述坩埚本体内的若干挡板、与所述坩埚本体连接的密封盖；所述挡板沿所述坩埚本体的长度方向，将所述坩埚本体的内部分隔为若干蒸镀分区，所述蒸镀分区用于置放蒸镀材料；所述密封盖设有蒸镀口，所述蒸镀分区内汽化的蒸镀材料从所述蒸镀口释出。本实用新型可实现在一个腔室内的多种材料同时共蒸，完成镀膜。
一种真空设备

[发明专利]基于混蒸工艺具有能带梯度的钙钛矿太阳能电池制备方法-CN202310261164.9在审
发明人：李世彬;翟亚辉;钱峰;郑华琳;张婷 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H10K30/50 文献下载
摘要：本发明公开了基于混蒸工艺具有能带梯度的钙钛矿太阳能电池制备方法，其制备的无机铅锡钙钛矿薄膜的质量要高于溶液法，在蒸镀过程中通过调整PbI2与SnI2的比例来调整无机铅锡钙钛矿的带隙，拓宽器件的吸收光谱，从而提升无机铅锡混合钙钛矿太阳能电池的光电转化效率，包括下述步骤：首先对导电基底做紫外臭氧处理，再采用磁控溅射的方法制备电子传输层，而后进行退火处理；然后使用共混蒸工艺以不同速率将CsI、SnI2与PbI2蒸镀到电子传输层上，而后进行退火处理，形成钙钛矿层；之后采用旋涂法或蒸镀法在钙钛矿层上制备缓冲层，所述缓冲层厚度为15nm；最后在缓冲层上利用热蒸镀制备金属电极，得到所述具有能带梯度的钙钛矿太阳能电池。
基于工艺具有能带梯度钙钛矿太阳能电池制备方法

[发明专利]一种蒸气辅助制备钙钛矿太阳能电池的方法-CN201710573912.1在审
发明人：彭勇;肖达 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2017-07-14 - 公布日： 2017-12-15 - 主分类号： H01L51/48 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸气辅助制备钙钛矿太阳能电池的方法。包括以下步骤将基底通过基片清洗工艺洗涤，氮气吹干，并通过UV照射；在基底上蒸镀电子传输层；在电子传输层上蒸镀PbI2，然后加热使FA/MA分子升华到PbI2表面反应形成钙钛矿晶体；140～160℃退火10～30min得到钙钛矿吸光层；在钙钛矿吸光层上旋涂溶液Spiro‑OMeTAD制得空穴传输层；在空穴传输层上蒸镀金属对电极，最终制得钙钛矿太阳能电池。本发明工艺特殊，在两步法制备钙钛矿吸光层时，使用蒸汽辅助法制备钙钛矿吸光层使得到的钙钛矿薄膜更加均匀，孔洞减少，提高了成膜质量，从而提高电池的光电转化效率。
一种蒸气辅助制备钙钛矿太阳能电池方法

[发明专利]一种基于混蒸工艺的具有能带梯度的钙钛矿太阳能电池及其制备方法-CN201810181699.4有效
发明人：黄江;向思衡;王子君;何磊 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2018-03-06 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： H01L51/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于混蒸工艺的具有能带梯度的钙钛矿太阳能电池及其制备方法，涉及太阳能电池技术领域，本发明的钙钛矿太阳能电池包括从下往上依次设置的光反射层、透明导电电极层、空穴传输层、钙钛矿吸光层、电子传输层和金属电极层，钙钛矿吸光层包括由共混蒸镀工艺制备的若干具有不同能带宽度的钙钛矿多晶膜，若干钙钛矿多晶膜水平并列排布，本发明的制备方法采用共混蒸镀工艺，将不同能带宽度的钙钛矿层水平排布，获得具有能带梯度的钙钛矿太阳能电池
一种基于工艺具有能带梯度钙钛矿太阳能电池及其制备方法

[发明专利]具有保护结构的钙钛矿太阳能电池及其制备方法-CN201911049163.8在审
发明人：尹力;赵春;赵策洲;杨莉 -专利权人：西交利物浦大学
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2020-02-28 - 主分类号： H01L51/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有保护结构的钙钛矿太阳能电池，属于钙钛矿太阳能电池领域，相比于传统钙钛矿太阳能电池，本发明使用蒸镀得方法在钙钛矿电池电极及传输层中间蒸镀一层20‑40nm的氟化锂层，以达到阻隔离子迁移的作用
具有保护结构钙钛矿太阳能电池及其制备方法

[发明专利]一种无甲胺组分钙钛矿薄膜的制备方法及其应用-CN202211212850.9在审
发明人：易陈谊;李航;谭理国;周俊杰;蒋超凡;李明昊;刘越;叶一然 -专利权人：清华大学
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明属于钙钛矿技术领域，具体涉及一种无甲胺组分钙钛矿薄膜的制备方法及其应用。本发明提供的一种无甲胺组分钙钛矿薄膜的制备方法，采用蒸镀多元混合熔融盐制备前驱体薄膜，有效解决了传统多源共蒸铅盐薄膜工艺难以监控蒸镀速率，实验重复性差，实验复杂度高等诸多问题，更适用于工业化生产。将该无甲胺钙钛矿薄膜用在光电器件中，可以获得更高的光电转换效率。
一种无甲胺组分钙钛矿薄膜制备方法及其应用

[发明专利]一种掺钨氧化铟薄膜的制备方法以及采用该薄膜制成的柔性钙钛矿太阳能电池-CN202110524377.7在审
发明人：项天星;刘胜康;彭勇 -专利权人：中山市武汉理工大学先进工程技术研究院
申请日： 2021-05-13 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明还涉及一种大面积柔性钙钛矿太阳能电池，以柔性聚酰亚胺（PI）薄膜为基底，在上面利用上述空心阴极离子镀沉积IWO导电薄膜作为电极；在IWO电极上使用热蒸镀的方法依次蒸镀酞菁铜（CuPc）空穴传输层、CsBr以及PbI2，然后与FAI进行化学气相沉积反应生成钙钛矿吸光层；在钙钛矿吸光层上依次蒸镀C60电子传输层、浴铜灵本发明实现了在大面积耐高温柔性聚酰亚胺基底上沉积钙钛矿太阳能电池，对柔性钙钛矿太阳能电池的制备具有科学指导意义。
一种氧化薄膜制备方法以及采用制成柔性钙钛矿太阳能电池

[发明专利]一种无机钙钛矿薄膜、其制备方法及太阳能电池-CN202210283223.8在审
发明人：刘明侦;张敬敏;弓爵;王松;许志卫 -专利权人：电子科技大学;晶澳太阳能有限公司
申请日： 2022-03-22 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L31/032 文献下载
摘要：本发明涉及一种无机钙钛矿薄膜、其制备方法及太阳能电池，该方法包括如下步骤：S1：通过第一蒸镀处理形成第一薄膜；S2：将所述第一薄膜进行退火处理，得到第二薄膜；S3：通过第二蒸镀处理在所述第二薄膜上形成第三薄膜；以及S4：将所述第二薄膜和所述第三薄膜进行退火处理，制得所述无机钙钛矿薄膜；其中，在所述第一蒸镀处理中，用于蒸发的原料包括溴化铯和碘化铅；在所述第二蒸镀处理中，用于蒸发的原料包括碘化铯和碘化铅。本发明一实施方式的方法制得的无机钙钛矿薄膜，相较于现有的无机钙钛矿薄膜，提高了钙钛矿结构的相稳定性，且不会对所制得的太阳能电池的吸光范围产生影响，同时能够提高电池的光电转换效率。
一种无机钙钛矿薄膜制备方法太阳能电池

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