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[发明专利]一种半导体制造晶圆光刻设备-CN202211036479.5有效
发明人： 聂新明;赵波 -专利权人：苏师大半导体材料与设备研究院（邳州）有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体制造晶圆光刻设备，涉及晶圆光刻技术领域，目的在于提供一种吸收灰尘，提高加工效果和加工效率的半导体制造晶圆光刻设备，其技术要点包括光刻台、曝光机箱、活动组块、传动机构和吸尘机构，传动机构用于带动活动组块沿X轴和Y轴移动吸尘机构，吸尘机构包括吸尘罩、动力电机和吸尘叶片，吸尘罩在曝光机箱的顶面安装，且吸尘罩的罩底延伸至曝光机箱的内腔，吸尘罩的外侧安装有出风管，动力电机在吸尘罩的顶部安装，且吸尘罩的输出轴驱动安装连接轴，吸尘叶片在连接轴上安装，技术效果是吸收空气中的灰尘，防止其掉落至晶圆块的表面，从而提高晶圆加工效果，避免晶圆因表面不干净造成返工，提高晶圆整体加工效率。
一种半导体制造圆光设备

[发明专利]一种半导体材料制备用清洗装置-CN202211464339.8有效
发明人： 聂新明;赵波 -专利权人：苏师大半导体材料与设备研究院（邳州）有限公司
申请日： 2022-11-22 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种半导体材料制备用清洗装置。其技术方案包括清洗主体；清洗主体的上部开设有清洗腔，清洗主体上设置有进水口和进气孔并均与清洗腔连通，进水口和进气孔上分别设置有第一控制阀和第二控制阀。清洗腔，其相对面上可升降的滑动设置有升降板，升降板相对面上阵列式的固定设置有喷嘴，喷嘴倾斜朝上设置，喷嘴连通气液混合物。往复升降驱动件，其安装在安装腔的内部并与升降板连接，用于驱动相对的两个升降板交替升降；液位感应器，用于对清洗腔内部液位进行感应。本发明通过半导体材料受液体冲击和重力作用在清洗腔的内部变相翻滚，改变清洗角度，使清洗全面且没有死角，清洗效率高。
一种半导体材料制备清洗装置

[发明专利]一种半导体材料芯片合成设备-CN202211408939.2有效
发明人： 聂新明;赵波 -专利权人：苏师大半导体材料与设备研究院（邳州）有限公司
申请日： 2022-11-11 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： B24B5/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体材料芯片合成设备，涉及芯片制造技术领域，包括加工箱体，加工箱体上设置有控制装置，加工箱体侧壁开设有进出口，进出口内设置有支撑辊，加工箱体箱壁内表面开设有横滑槽，横滑槽内设置有限位杆；加工箱体内设置有输送机构和夹移机构，夹移机构上设有加工机构；通过设置有多组不一致打磨系数的打磨板，使得本装置可适应于多种打磨加工的需求，极大的增加了本装置的加工范围，相比于目前对硅晶棒料进行打磨加工，当需要变换不相同打磨系数的打磨板时，还需要工作人员进行停机更换，这不仅一定程度上增加了工作人员的劳动强度，而且极大降低了对硅晶棒料的打磨加工效率。
一种半导体材料芯片合成设备

[发明专利]一种半导体材料制备用质量检测装置-CN202211577370.2有效
发明人： 聂新明;赵波 -专利权人：苏师大半导体材料与设备研究院（邳州）有限公司
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明涉及半导体质量检测领域，公开了一种半导体材料制备用质量检测装置，包括两个对称设置的安装板，两个安装板之间安装有输送机，所述输送机的外表面上固定设置有多个呈等距离排布设置的载物机构，所述载物机构用于放置半导体工件；第一检测箱体，固定安装在安装板的上端；第二检测箱体，固定安装在安装板的上端；第三检测箱体，固定安装在安装板的上端；调节机构一，固定安装在第一检测箱体的内部，所述调节机构一用于调节光源照射角度；本发明可以对半导体进行质量要求更严格的性能检测，利于精准的把控半导体质量，并且对于不合格产品可以做到有效剔除，减轻了使用者的负担。
一种半导体材料制备质量检测装置

[发明专利]一种半导体材料制备用粉尘处理装置-CN202211341440.4有效
发明人： 聂新明;赵波 -专利权人：苏师大半导体材料与设备研究院（邳州）有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： B65G53/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体材料制备用粉尘处理装置，涉及半导体加工技术领域，包括回收箱，一侧安装有输送管，所述输送管的内部安装有震动输送带；回收连接箱，至少一组回收连接箱通过单向传输管与输送管相连接；所述回收连接箱包括：倾斜传输带，底端位于单向传输管的上侧；第一鼓风机构，朝向单向传输管鼓送空气；刮擦件，至少一端通过鼓送的空气与倾斜传输带的下表面相抵接。本申请中粉尘处理装置采用分布收集、集中回收的工作模式，各个回收连接箱可根据设备的分布位置进行组装，从而适用于不同的生产规模，并且安装方便，适用简单，并且在使用时，通过刮擦件，可以将倾斜传输带下侧的粉尘进行刮擦，进而避免粉尘吸附在倾斜传输带的上侧。
一种半导体材料制备粉尘处理装置

[发明专利]一种半导体元件的制造设备-CN202211081092.1有效
发明人： 聂新明;赵波 -专利权人：苏师大半导体材料与设备研究院（邳州）有限公司
申请日： 2022-09-05 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体元件的制造设备，涉及半导体制造技术领域，目的在于提供一种提高点胶效率、完成定量点胶，保障点胶质量的半导体元件的制造设备，其技术要点包括工作台，工作台的顶部设有支撑架，支撑架的顶部镶嵌有胶桶，胶桶的顶部通过连接块安装储气罐，储气罐的底部连接导气管，导气管的底端延伸至胶桶的内腔，导气管的中部设有控制阀，胶桶的一侧设有排气管，技术效果是通过定量筒内各结构的设置，储气罐内的压缩气体可以通过进气管进入到定量筒内，可以把定量筒内的胶液全部挤出，可以防止该设备在暂停过程中，点胶头内残留的胶液污染该设备及半导体元件。
一种半导体元件制造设备

[发明专利]一种半导体晶圆制造生产装置-CN202210983891.1有效
发明人： 聂新明;赵波 -专利权人：苏师大半导体材料与设备研究院（邳州）有限公司
申请日： 2022-08-16 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体晶圆制造生产装置，涉及半导体晶圆制造领域，包括装置筒、出料口、气泵、过滤器和刀具，还包括底座架，装置筒固定安装在底座架上，装置筒下侧设置有出料口，气泵和过滤器均固定安装在底座架上，且气泵和过滤器之间连通设置，第一气缸使第一气杆通过固定套带动硅晶棒在装置筒中移动送料和出料，气筒通过伸缩杆使旋转杆带动夹持套对硅晶棒进行固定，夹持杆带动第二夹持架对硅晶棒进行固定，第二输气管通过第二气囊使第二通气头对硅晶棒进行充气固定头，第一气囊通过第一通气头使第一夹持架与硅晶棒下端产生负压吸力固定，实现对硅晶棒的完全固定，防止崩边、微裂纹、分层的产生，提高切片的工作质量。
一种半导体制造生产装置

[外观设计]新能源充电箱-CN202230838813.3有效
发明人： 聂新明;赵波 -专利权人：苏师大半导体材料与设备研究院(邳州)有限公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： 13-02 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：新能源充电箱。2.本外观设计产品的用途：用于保护新能源充电设备。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
新能源充电

[外观设计]大棚遮阳网夹子-CN202230870870.X有效
发明人： 聂新明;赵波 -专利权人：苏师大半导体材料与设备研究院(邳州)有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： 08-08 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：大棚遮阳网夹子。2.本外观设计产品的用途：用于固定大棚遮阳网的夹子。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
大棚遮阳夹子

[外观设计]灯具照明控制器-CN202230870882.2有效
发明人： 聂新明;赵波 -专利权人：苏师大半导体材料与设备研究院(邳州)有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： 13-03 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：灯具照明控制器。2.本外观设计产品的用途：用于控制灯具照明。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
灯具照明控制器

[发明专利]一种LED应急灯-CN201910125558.5有效
发明人： 聂新明;田亚平;王勋;乔学斌;张嘉鹭 -专利权人：江苏师范大学
申请日： 2019-02-20 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H05B45/50 文献下载
摘要：一种LED应急灯，其特征在于：包括LED模块，其中，LED模块具有LED电流采样模块、LED灯带、LED开关；LED模块的数量至少为2；LED模块的LED开关的导电通道的第一端与第三开关的导电通道的第二端相连；LED模块内：LED开关的导电通道的第二端与LED灯带的第一端相连；LED模块内：LED电流采样模块的输入端与LED灯带的第二端相连；LED模块的LED电流采样模块的接地端与地点(GND)相连。应急灯，具有所述的一种LED模块。本发明成本低廉，结构简单，寿命长，能够及时发现故障，能够及时发现电池鼓胀等问题，开创了新思路。
一种 led 应急灯

[外观设计]假鱼饵-CN202230872495.2有效
发明人： 聂新明;赵波 -专利权人：苏师大半导体材料与设备研究院(邳州)有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： 22-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：假鱼饵。2.本外观设计产品的用途：用于钓鱼工具。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
鱼饵

[外观设计]新能源充电枪-CN202230800082.3有效
发明人： 聂新明;赵波 -专利权人：苏师大半导体材料与设备研究院(邳州)有限公司
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： 13-02 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：新能源充电枪。2.本外观设计产品的用途：用于配合充电桩给新能源汽车进行充电工作。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
新能源充电

[外观设计]照明控制器-CN202230865324.7有效
发明人： 聂新明;赵波 -专利权人：苏师大半导体材料与设备研究院(邳州)有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： 13-03 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：照明控制器。2.本外观设计产品的用途：用于控制照明设备。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
照明控制器

[发明专利]柔性高载硫、高稳定性石墨烯-介孔碳-硫薄膜、制备方法及其应用-CN202211579187.6在审
发明人：闫岩;聂新明;刘浩田;刘凡;马昕;刘明凯 -专利权人：江苏复源芥子空间新材料研究院有限公司
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01M4/38 文献下载
摘要：本发明涉及锂电池材料技术领域，具体而言涉及柔性高载硫、高稳定性石墨烯‑介孔碳‑硫薄膜、制备方法及其应用，包括以下步骤：步骤1、水溶性石墨烯片分散体制备：将氧化石墨烯水溶液分散在60℃的油浴烧瓶中。本发明通过在制备介孔碳的基础上共掺杂N，P，F，其多孔结构为，活性硫的附着提供点位，使活性硫的含量高达86％，通过介孔碳材料界面上N，P，F元素形成的孤立位点，与活性硫发生相互作用，同时通过石墨烯网络的阻隔作用，以克服活性硫物质的低利用率和体积膨胀导致正极结构坍塌和容量衰减等问题，同时调节了多硫化锂的穿梭效应，对追求高性能的锂硫电池具有重要意义。
柔性高载硫稳定性石墨介孔碳薄膜制备方法及其应用

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