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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种提高AlN声表面波器件机电耦合系数的结构及方法-CN202111120348.0在审
发明人：王芳;韩旭;张楷亮;李连秋;聂伟灿;杨作栋 -专利权人：天津理工大学
申请日： 2021-09-24 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： H03H9/145 文献下载
摘要：一种提高AlN声表面波器件机电耦合系数的结构及方法，该结构由两层不同尺寸的压电材料进行堆叠，形成Al/ZnO/AlN/金刚石四层结构。将器件结构单元的输入、输出叉指电极分别施加正电压、接地。当输入端输入电信号时，电信号通过压电基片的逆压电效应转换为机械能，并以声表面波的形式在压电基片表面传播；当声表面波信号到达输出端时，再通过压电基片的压电效应转换为电信号进行输出。此结构会在AlN和ZnO表面形成较强烈电荷积累。通过调节ZnO的厚度可以增强器件的机电耦合系数，再次调节AlN的厚度仍可以继续增强器件的机电耦合系数。本发明能够有效的提高AlN器件的机电耦合系数，并使其可以更好的应用在传感、滤波等领域。
一种提高 aln 表面波器件机电耦合系数结构方法

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