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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]支承单元及基板处理装置-CN202210359420.3在审
发明人：金经晩;韩定宇;李知桓;朴玩哉;朱润钟;裵晟学 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-04-06 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种支承单元及基板处理装置。该支承单元包括：支承板，基板放置在该支承板上，并且该支承板包括向基板提供静电力的静电电极；加热器，该加热器设置在支承板内侧、并配置为加热基板；绝缘板，该绝缘板作为绝缘物质、设置在支承板下方；双金属构件，该双金属构件设置在支承板内侧并配置为补偿支承板由于热量而引起的弯曲，其中，双金属构件包括：销，该销设置成与放置在支承件上的基板的底表面为可接触的；第一构件，该第一构件配置为支承销；第二构件，该第二构件设置成围绕第一构件，并且销设置为根据第一构件与第二构件之间的热变形量的差而向上移动或向下移动。
支承单元处理装置

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