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[发明专利]化学品取样设备-CN202080051274.7在审
发明人：宋勇益;元钟豪;赵济东;尹炳春;崔镇圭;蔡熙峯 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2020-07-17 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： G01N1/10 文献下载
摘要：实施例公开了一种化学品取样设备，包括：具有内部空间的壳体；取样管线，其穿过壳体并被配置为向内部空间供应化学品；第一门，其被配置为打开或关闭形成在壳体中的第一入口；瓶保持单元，其被配置为安置或固定通过第一入口装载到内部空间中的取样瓶；盖分离/联接模块，其被配置为将盖与布置在内部空间中的取样瓶分离或将盖联接到取样瓶；以及瓶输送单元，其被配置为输送瓶保持单元，使得取样瓶经过盖分离/联接模块，然后布置在取样管线的排出端口下方。
化学品取样设备

[发明专利]集成的联接模块和包括该集成的联接模块的联接系统-CN202110924574.8在审
发明人：宋勇益;李晋宇;蔡熙峯;崔乐坤;尹炳春;元钟豪;徐炯规;林佑泽;赵济东 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2021-08-12 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： B66C17/06 文献下载
摘要：实施例公开了一种集成的联接模块，其包括打开/关闭模块，其包括夹持容器的盖的盖夹持单元；以及联接器固定模块，其固定将容器中的液体排放到外部的联接器，其中，联接器从盖夹持单元上方降低以联接到容器；以及包括该集成的联接模块的联接系统。
集成联接模块包括系统

[发明专利]集成联接模块以及包括该集成联接模块的联接系统-CN202110924612.X在审
发明人：宋勇益;李晋宇;蔡熙峯;崔乐坤;尹炳春;元钟豪;徐炯规;林佑泽;赵济东 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2021-08-12 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： B67B7/14 文献下载
摘要：实施例公开了一种集成联接模块以及包括该集成联接模块的联接系统。集成联接模块包括：打开/关闭模块，其包括用于夹持容器的盖的盖夹持单元；以及联接器固定模块，其用于固定将容器中的液体排放到外部的联接器，其中联接器设置在盖夹持单元上方。
集成联接模块以及包括系统

[发明专利]基板温度测量装置及基板温度测量方法-CN201910734046.9有效
发明人：朴永秀;孙侐主;朴商弼;柳守烈;金永镐;金学杜 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2019-08-09 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： G01K1/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板温度测量装置及基板温度测量方法，更为详细地，其目的在于提供一种可以实时测量基板处理工序中的基板的温度的基板温度测量装置及基板温度测量方法。用于实现上述目的的本发明的基板温度测量装置包括探头，所述探头配备为将支撑基板而进行基板处理工序的基板支撑部上下贯通，且上端从所述基板支撑部的上表面突出，其中，所述探头的上端构成为相接于所述基板的下侧面，从而测量所述基板的温度。
温度测量装置测量方法

[发明专利]化学制剂供应装置-CN201980094045.0在审
发明人：宋勇益;尹炳春;赵济东;崔鎭圭;蔡熙峯 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2019-11-25 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： B01J4/00 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种化学制剂供应装置，引导公接头和母接头的中心轴线一致，进而公接头和母接头在没有由磕碰等引起的损坏的情况下在准确的位置的结合，进而可防止化学制剂泄漏。为了实现该目的，本发明包括：化学制剂用公接头(510)和化学制剂用母接头(210)，相互连接以供应化学制剂；及接头引导部，在所述化学制剂用公接头(510)结合于所述化学制剂用母接头(210)的情况下，引导所述化学制剂用公接头(510)的外周面，以使所述化学制剂用母接头(210)的中心轴线(C1)与所述化学制剂用公接头(510)的中心轴线(C2)一致。
化学制剂供应装置

[发明专利]喷墨印刷装置及利用其的印刷方法-CN201910062028.0有效
发明人：徐炯泰;周容焕 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2019-01-23 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：本发明的喷墨印刷装置的特征在于，包括：输送机，将基板装载到其上部并移动；至少一个印刷头(head)，设置在基板移动路径的上部，向第一基板喷射液滴；以及至少一个紫外线固化器，设置在基板移动路径的上部，向喷射到基板的液滴照射紫外线，其中，输送机的移动使得基板多次经过至少一个印刷头下部与至少一个紫外线固化器的下部，随着输送机的移动而在基板上印刷厚度被控制的层。
喷墨印刷装置利用方法

[发明专利]化学品自动供给装置-CN202010572862.7有效
发明人：尹炳春;宋勇益;金东炫;金南荣 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2017-08-24 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： F17D1/12 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种化学品自动供给装置的设置结构，当操作人员搁置软管到搁置部时，使搁置部尽量与操作人员接近，可防止引发操作人员疾病。体现此目的的化学品自动供给装置的设置结构包括：建筑物墙体(700)，贯通连接建筑物内外的开放部；化学品自动供给装置，包含搁置部(150)及传送单元(160)，搁置部(150)搁置从化学品罐供化学品用的化学品软管(500)，传送单元(160)前后传送上述搁置部(150)，使上述化学品软管(500)与上述建筑物内化学品罐连接；当工作人员把上述化学品软管(500)搁置到上述搁置部(150)时，上述搁置部(150)位于上述开放部701内部空间内。
化学品自动供给装置

[发明专利]用于供应化学制剂的锁定装置及具备此的化学制剂自动供应装置-CN201980081420.8在审
发明人：宋勇益;尹炳春;赵济东;蔡熙峯;崔鎭圭;金正坤 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2019-01-21 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种化学品过滤器更换装置及更换方法，在化学品过滤器的更换中，防止化学物质泄漏到外部，将在更换化学品过滤器时可发生的事故危险最小化，实现装置体积的紧凑化，同时可减少更换化学品过滤器所需的工作工序数。用于实现该目的的本发明的化学品过滤器更换装置(1)，包括：过滤器组件安装部(300)，安装过滤器组件(2)，所述过滤器组件(2)包括待使用于过滤化学品的第一滤盒(10‑1)或者已使用于过滤化学品的第二滤盒(10‑2)、过滤器外壳(20)和过滤器头(30)，所述过滤器外壳(20)容纳所述第一滤盒(10‑1)或者第二滤盒(10‑2)并且所述过滤器外壳(20)和过滤器头(30)相互上下结合；及滤盒更换工具，在所述过滤器组件(2)安装在所述过滤器组件安装部(300)的状态下，从所述过滤器组件(2)分离所述过滤器外壳(20)，从所述过滤器组件(2)分离所述第二滤盒(10‑2)，之后所述第一滤盒(10‑1)结合于分离所述第二滤盒(10‑2)的过滤器组件(2)，如此将所述已分离的过滤器外壳(20)结合于所述过滤器组件(2)。
用于供应化学制剂锁定装置具备自动

[发明专利]基板处理装置-CN202011201480.X在审
发明人：吴俊昊;朴永秀;柳守烈;金学杜;孙侐主;朴商弼;许成壹 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2020-11-02 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种在多个腔室之间能够稳定地移送基板的基板处理装置。用于实现此的本发明的基板处理装置，包括：多个腔室，为了处理基板而沿圆周方向以预定间隔布置；转盘，配备为为了在所述多个腔室之间移送所述基板而旋转，其中，所述多个腔室中的至少一个腔室配备有安置所述基板的平台和提供用于沿上下方向升降所述平台的驱动力的平台驱动部，所述转盘包括：转盘主体，借由转盘驱动部而升降以及旋转；环形的转盘环，配备为在安置于所述转盘主体的状态下能够从所述转盘主体分离。
处理装置

[发明专利]不良发光二极管去除装置-CN202010084926.9有效
发明人：韩奎龙;刘大日;田银秀;金宰焕 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2020-02-10 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： H05K13/04 文献下载
摘要：本发明涉及不良发光二极管去除装置，上述不良发光二极管去除装置用于在配置于发光二极管基板的多个发光二极管中去除不良发光二极管，上述不良发光二极管去除装置包括：主载物台，用于设置上述发光二极管基板；激光照射部，用于向存在于上述发光二极管基板的不良发光二极管照射激光；发光二极管去除部，位于上述发光二极管基板与上述激光照射部之间，用于吸附去除通过上述激光加热的不良发光二极管；以及连接管，连接在上述激光照射部与上述发光二极管去除部之间，用于密封上述激光照射部与上述发光二极管去除部之间的空间，具有柔韧性。
不良发光二极管去除装置

[发明专利]基板处理装置以及基板处理方法-CN202011251597.9在审
发明人：孙侐主;朴永秀;崔宇镇;金永镐;吴俊昊;许东根;李民荣 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种可以在装载和卸载基板时阻断基板与腔室内部的加热部之间而最小化基板的热变形的基板处理装置以及基板处理方法。为了实现其的本发明的基板处理装置包括：腔室，在内部布置有基板的热处理空间；加热部，配备在所述腔室的上部而加热基板；基板支撑部，配备在所述腔室的内部而安置所述基板；阻断部件，在将基板装载到所述腔室的内部或者将所述腔室内部的基板卸载到外部的情形下，位于阻隔所述加热部与所述基板之间而阻断所述加热部的热传递到所述基板的阻断位置。
处理装置以及方法

[发明专利]化学品过滤器更换装置及更换方法-CN201880099150.9在审
发明人：宋勇益;尹炳春;赵济东;蔡熙峯;禹泳喆;金学烈;曺政旭 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： B01D35/30 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种化学品过滤器更换装置及更换方法，在化学品过滤器的更换中，防止化学物质泄漏到外部，将在更换化学品过滤器时可发生的事故危险最小化，实现装置体积的紧凑化，同时可减少更换化学品过滤器所需的工作工序数。用于实现该目的的本发明的化学品过滤器更换装置(1)，包括：过滤器组件安装部(300)，安装过滤器组件(2)，所述过滤器组件(2)包括待使用于过滤化学品的第一滤盒(10‑1)或者已使用于过滤化学品的第二滤盒(10‑2)、过滤器外壳(20)和过滤器头(30)，所述过滤器外壳(20)容纳所述第一滤盒(10‑1)或者第二滤盒(10‑2)并且所述过滤器外壳(20)和过滤器头(30)相互上下结合；及滤盒更换工具，在所述过滤器组件(2)安装在所述过滤器组件安装部(300)的状态下，从所述过滤器组件(2)分离所述过滤器外壳(20)，从所述过滤器组件(2)分离所述第二滤盒(10‑2)，之后所述第一滤盒(10‑1)结合于分离所述第二滤盒(10‑2)的过滤器组件(2)，如此将所述已分离的过滤器外壳(20)结合于所述过滤器组件(2)。
化学品过滤器更换装置方法

[发明专利]喷墨印刷方法及喷墨印刷装置-CN201910079926.7有效
发明人：赵裕镐 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2019-01-28 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：本发明公开一种喷墨印刷方法及喷墨印刷装置，所述喷墨印刷方法利用映射控制值和离散油墨量而输入特定控制值时被控制为喷射映射的离散油墨量的多个喷嘴，其包括如下步骤：对多个喷嘴输入映射特定离散油墨量的控制值而测定喷射油墨量，从而确定多个喷嘴的喷射性能；对包括由基于印刷分辨率(dpi)确定的至少两个以上的行(row)及列(column)构成的多个点(dots)的窗口，计算对多个点喷射基准离散油墨量时对应的目标印刷油墨量；以及为了使对窗口内喷射的墨点的喷射油墨量总和保持目标印刷油墨量，基于对多个喷嘴测定的喷射油墨量确定多个喷嘴的控制值。
喷墨印刷方法装置

[发明专利]基板传送装置以及利用其的基板处理方法-CN202011221263.7在审
发明人：孙侐主;朴永秀;崔宇镇;许成壹;吴俊昊;许东根;李民荣 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2020-11-05 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及基板传送装置以及利用其的基板处理方法，更加详细地，其目的在于在装载和卸载基板时阻断基板与腔室内部的加热部之间而最小化基板的热变形。为了实现其的本发明的基板传送装置包括：机器人主体，配备有产生动力的驱动部；传送单元，支撑基板而传送；传送单元机械臂，构成为一侧被紧固到所述机器人主体，在另一侧连接有所述传送单元，并根据所述驱动部的驱动传送所述传送单元，从而将所述基板装载到用于处理基板的腔室或者从所述腔室卸载所述基板；阻断单元，在装载或者卸载所述基板时，阻隔加热所述腔室内部的所述基板的加热部与所述基板之间而阻断热传递。
传送装置以及利用处理方法

[发明专利]层压系统-CN202011224067.5在审
发明人：刘大日;韩奎龙;田银秀;金宰焕 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2020-11-05 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：本发明公开了一种层压系统，该层压系统包括：施加装置，其被构造为在第一目标上形成粘合剂层；供应装置，其被构造为提供第二目标；以及粘合装置，其被构造为将第一目标粘合到第二目标，其中施加装置包括：注射单元，其包括被构造为在第一目标上注射粘合剂液滴以形成粘合剂层的多个喷墨头；固化单元，其被构造为在粘合剂层上执行第一次临时固化；以及第一控制器，其被构造为控制注射单元和固化单元。
层压系统