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- [实用新型]一种有机溶剂清洗槽-CN201721263152.6有效
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岳佳佳;刘号;简建至
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冠礼控制科技（上海）有限公司
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2017-09-28
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2018-05-15
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B08B3/08
- 本实用新型涉及一种有机溶剂清洗槽，包括零件放置架、上下运动机构、内部清洗槽以及外部加热槽，零件放置架顶端连接上下运动机构，并在上下运动机构的带动下做上下直线运动，零件放置架底端伸入内部清洗槽，内部清洗槽上开设有内部清洗槽排出孔、内部清洗槽进液孔，内部清洗槽内设置有内部清洗槽进液管，内部清洗槽进液管与内部清洗槽进液孔连接，内部清洗槽底端开设有废液排除孔，内部清洗槽内底部置有超声波震板，内部清洗槽设置于外部加热槽内并相互隔离，外部加热槽内底部安装有加热器；本实用新型同现有技术相比，能够提高产品清洗效果，提升设备安全性，克服了现有清洗设备所存在的清洗效果差、清洗效率低、加热不安全等缺陷。
- 一种有机溶剂清洗
- [实用新型]一种抽气式溶液桶开盖器-CN201721263409.8有效
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胡厚福;薛贝贝;简建至
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冠礼控制科技（上海）有限公司
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2017-09-28
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2018-05-15
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B67B7/14
- 本实用新型涉及一种抽气式溶液桶开盖器，包括保护壳体(2)、旋转把手(4)、传动杆(5)、开盖锁孔(8)及抽风机，所述保护壳体(2)为下端敞口的密封腔体结构，所述保护壳体的下端面设有底部密封圈(9)，所述保护壳体(2)上端面中心部位密封连接传动杆(5)，所述传动杆下端面设有开盖锁孔(8)，所述传动杆(5)上端配合连接旋转把手(4)，所述保护壳体(2)侧面上设有抽风口(11)，所述抽风口通过抽风管(7)连接抽风机；本实用新型结构简单、新颖，使用方便，操作人员在化学溶液桶开盖和锁盖时，化学溶液气体通过抽风机迅速排到尾气处理室，有效防止有毒化学溶液气体挥发至环境中对环境造成污染和对操作人员的身体健康产生损害。
- 一种抽气式溶液桶开盖器
- [实用新型]一种研磨液混合供应设备-CN201721263351.7有效
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岳佳佳;蒋陈峰;简建至
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冠礼控制科技（上海）有限公司
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2017-09-28
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2018-05-15
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B24B57/02
- 本实用新型涉及一种研磨液混合供应设备，包括箱体，箱体顶部安装有抽风装置、洁净送风装置，箱体内设有溶液桶一、溶液桶二、混合桶槽、水气混合罐体，混合桶槽底部设有底部电子称，底部电子称通过线路连接工业电脑，混合桶槽中设有搅拌桨、搅拌管，搅拌桨连接在搅拌电机输出端，搅拌管连接搅拌供应泵，搅拌供应泵与供应出口相连，混合桶槽内顶部安装有高纯水喷头，高纯水喷头用于清洗混合桶槽，水气混合罐体中设有干燥氮气管、超纯水管，干燥氮气管底端连接有氮气混合板，氮气混合板上方设置有扰流板，水气混合罐体顶端的湿润氮气管连接至混合桶槽内；本实用新型实现了研磨液不易挥发结晶，保证了研磨液品质，且自动化程度高。
- 一种研磨混合供应设备
- [实用新型]电子级化学品分装设备-CN201621056641.X有效
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岳佳佳;简建至;简水村;林裕哲
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冠礼控制科技（上海）有限公司
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2016-09-13
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2017-03-29
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B65B3/18
- 本实用新型涉及一种电子级化学品分装设备，属于化学品充填设备技术领域，包括设备主体(1)，设备主体(1)底部设有滚轮输送线(7)、电子称平台(9)，滚轮输送线(7)与变频电机(15)的输出端相连，电子称平台(9)设于滚轮输送线(7)下方，设备主体(1)中部设有气动阀门放置平台(3)、分装机械手(4)，气动阀门放置平台(3)上装设有气动阀门(16)，气动阀门(16)与分装机械手(4)相连，分装机械手(4)、电子称平台(9)、变频电机(15)分别通过线路连接工业电脑(5)；本实用新型不仅可以精确的控制分装精度，提高生产效率，而且能够提高分装区环境洁净度，降低了作业风险，提高操作人员安全。
- 电子化学品分装设备
- [实用新型]硅片研磨液小型氮气加湿装置-CN201621053328.0有效
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邵艳荣;简建至;林裕哲;蒋陈峰
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冠礼控制科技（上海）有限公司
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2016-09-13
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2017-03-29
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B01F3/04
- 本实用新型涉及半导体硅片研磨技术领域，具体地说是一种硅片研磨液小型氮气加湿装置，包括设备柜体，设备柜体内设置有抽风装置、超纯水缓冲罐、氮气加湿器灌、热水器传感器、氮气冷凝器、湿度传感器、氮气过滤器，抽风装置通过管道连接超纯水缓冲罐，超纯水缓冲罐的出水口通过管道连接氮气加湿器灌，超纯水缓冲罐内设置有液位传感器，氮气加湿器灌的进气口通过管道连接氮气过滤器，氮气加湿器灌上设置有热水器传感器，氮气加湿器灌的出气口通过管道连接氮气冷凝器，氮气冷凝器的出气口通过管道连接湿度传感器；本实用新型同现有技术相比，保证了氮气的含水率，同时提高了N2的利用率，提高了工作效率也提高了产能，降低了生产成本也更加环保。
- 硅片研磨小型氮气加湿装置
- [实用新型]一种电子级化学品盛装桶的清洗设备-CN201521004829.5有效
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岳佳佳;简建至;简水村
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冠礼控制科技（上海）有限公司
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2015-12-04
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2016-04-27
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B08B9/30
- 本实用新型涉及一种电子级化学品盛装桶的清洗设备，包括设备主体(1)，设备主体(1)顶部安装有空气过滤器(2)和抽风口(9)，设备主体(1)内部设有用于清洗桶内连接管及桶盖的清洗盒(3)，设备主体(1)上固定连接有清洗喷头及汲取管放置盒(6)，清洗喷头及汲取管放置盒(6)内置有清洗喷头(4)和汲取管(5)，设备主体(1)底部设有滚轮输送线(13)，滚轮输送线(13)由变频电机(14)驱动，滚轮输送线(13)下方设有桶顶升倾斜装置(8)；本实用新型同现有技术相比，结构新颖、简单，具有高效的清洗效果和氮气吹干效果，最大限度地减少了桶内液体残留，能够防止桶内残余酸气等有害气体挥发，且操作灵活，自动化程度高。
- 一种电子化学品盛装清洗设备
- [实用新型]硅片研磨浆料自动搅拌装置-CN201420853122.0有效
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岳佳佳;简建至;胡厚福
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冠礼控制科技（上海）有限公司
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2014-12-23
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2015-05-27
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B01F7/18
- 本实用新型涉及一种硅片研磨浆料自动搅拌装置，包括安装支架(1)、升降电机(2)、升降滑轨(3)、搅拌电机(4)、搅拌桨(5)和控制箱(6)，升降电机(2)的输出端连接升降滑轨(3)上的滑块(7)，搅拌电机(4)固定在滑块(7)上，搅拌电机(4)的输出端连接搅拌桨(5)，搅拌桨(5)的端部设有搅拌桨叶(8)，搅拌桨(5)、搅拌桨叶(8)均采用304不锈钢制成，搅拌桨(5)、搅拌桨叶(8)的表面均涂覆有耐腐层，升降电机(2)、搅拌电机(4)通过PLC连接控制箱(6)；本实用新型同现有技术相比，结构新颖、简单，能够满足半导体硅片制造的苛刻的使用需求，且具有良好的耐磨性，使得维护成本降低。
- 硅片研磨浆料自动搅拌装置
- [发明专利]高精度浓度计及其测量方法-CN201410835424.X在审
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张仕成;简建至;吴玉明
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冠礼控制科技（上海）有限公司
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2014-12-23
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2015-03-25
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G01N27/06
- 本发明涉及半导体制造技术领域，具体地说是一种高精度浓度计，包括PLC控制器(1)、浓度计(2)、浓度计探棒(6)、进液管(7)、出液管(4)及液体减速罐(3)，所述液体减速罐(3)内部设有液体缓冲室(5)，所述液体缓冲室(5)的顶端部位通过出液口连接出液管(4)，所述液体缓冲室(5)的底端部位通过进液口连接进液管(7)，所述液体缓冲室(5)内设有浓度计探棒(6)，所述浓度计探棒(6)连接浓度计(2)，所述浓度计(2)连接PLC控制器(1)；本发明能够精确测量出目标浓度附近的浓度值，避免了小范围温度变化的影响，结果的传送不受外部信号干扰，实现了稳定的高精度测量。
- 高精度浓度计及其测量方法
- [实用新型]半自动一体型蚀刻清洗机-CN201320824841.5有效
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简建至;江献茂;黄自柯
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冠礼控制科技（上海）有限公司
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2013-12-12
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2014-07-09
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H01L21/67
- 本实用新型涉及一种半自动一体型蚀刻清洗机，包括箱体（1），箱体（1）前、后部分别设有清洗区和维修区，清洗区包括安全清洗区（2）和危险清洗区（3），安全清洗区（2）位于清洗区前半区，危险清洗区（3）位于清洗区后半区，安全清洗区（2）和危险清洗区（3）内均置有槽体，安全清洗区（2）、危险清洗区（3）之间设置有机械手臂（4），机械手臂（4）上方设有机械手臂维护区（5），安全清洗区（2）上方安装有高效过滤器（6），危险清洗区（3）后部设置有抽风口（7），箱体（1）后端设有排气管道（11），抽风口（7）与排气管道（11）相连，维修区包括上安全区和下危险区（8）；本实用新型不仅结构布局简洁，条理分明，便于制造商或客户进行组装，而且使用和维护简单、方便。
- 半自动体型蚀刻清洗
- [实用新型]在线式全自动HF及HNO3换热系统-CN201320824806.3有效
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简建至;江献茂;黄自柯
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冠礼控制科技（上海）有限公司
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2013-12-12
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2014-07-09
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F28D7/04
- 本实用新型涉及一种在线式全自动HF及HNO3换热系统，包括设备机台（6），设备机台（6）内置有桶式换热器（2）、泵管道模组（3）、换热器管道模组（4）和气体室模组（5），设备机台（6）顶端设有强制抽风管道接口（7），设备机台（6）前端面上设有前维修门（8），设备机台（6）侧面设有电控柜（9），电控柜（9）内设有控制系统（1），电控柜（9）侧面设有电控区维修门（11），桶式换热器（2）、泵管道模组（3）、换热器管道模组（4）、气体室模组（5）通过PLC连接控制系统（1），控制系统（1）由线路连接电控柜（9）前端面上操作面板（10）上的按键控制区；本实用新型通过采用具有较大冷却能力且多阶段温控过程进行监控，有效的抑制住了反应池内的高温并进行有效的控温。
- 在线全自动hfhno3系统
- [实用新型]自动切换双钢瓶氮气面板-CN201320824861.2有效
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简建至;姚辉;凌晨华
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冠礼控制科技（上海）有限公司
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2013-12-12
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2014-07-09
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F17C13/00
- 本实用新型涉及一种自动切换双钢瓶氮气面板，包括安装面板，安装面板上设有高压气体出口、低压气体出口、左气体入口、右气体入口，左气体入口通过管路一连接高压气体出口，右气体入口通过管路二连接高压气体出口，管路一、管路二并联连接，管路一上安装有左压力表、左隔膜阀一，管路二上安装有右压力表、右隔膜阀一，左压力表出气口与右压力表出气口之间连接有管路三，管路三上安装有左隔膜阀二和右隔膜阀二，左、右隔膜阀二间的管路通过调压阀连接低压气体出口，低压气体出口与高压气体出口间连接有安全阀；本实用新型通过将左右两个氮气钢瓶相互结合，避免了传统设计中左右钢瓶单独工作的概念，只需通过相关阀门的开闭即可切换左右钢瓶的角色。
- 自动切换钢瓶氮气面板
- [实用新型]全自动气柜换钢瓶防泄漏系统-CN201320822845.X有效
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简建至;姚辉;凌晨华
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冠礼控制科技（上海）有限公司
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2013-12-12
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2014-07-09
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F17D5/02
- 本实用新型涉及气体供应技术领域，具体地说是一种全自动气柜换钢瓶防泄漏系统，包括左气体钢瓶（GASL）、右气体钢瓶（GASR）和电气系统，左气体钢瓶（GASL）、右气体钢瓶（GASR）的出口分别通过管路连接特殊气管线、氮气管线和真空管线，氮气管线上安装有压力信号传送器（PTN），真空管线上安装有真空发生器（VG1L），左气体钢瓶（GASL）出口处的管线上安装有左压力信号传送器一（PT1L），右气体钢瓶（GASR）出口处的管线上安装有右压力信号传送器一（PT1R），压力信号传送器（PTN）、真空发生器（VG1L）、左压力信号传送器一（PT1L）、右压力信号传送器一（PT1R）分别通过PLC连接电气系统；本实用新型同现有技术相比，避免了换钢瓶时气体泄漏所带来的危险，操作简单、方便，自动化程度高，安全可靠。
- 全自动气柜换钢瓶泄漏系统
- [实用新型]气体供应系统的分段控制加热毯-CN201320822841.1有效
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简建至;姚辉;凌晨华
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冠礼控制科技（上海）有限公司
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2013-12-12
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2014-07-09
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H05B3/36
- 本实用新型涉及一种气体供应系统的分段控制加热毯，包括加热毯本体（11）、温控箱（12），所述加热毯本体（11）的两端设有固定孔（13），所述固定孔（13）内装有固定部件（5），所述加热毯本体（11）由多个独立加热单元构成，所述每个独立加热单元包括绝缘导热层（31）、加热丝（32）及绝缘外层（33），所述绝缘导热层（31）上设有温度感应器（9）、温度开关（10），所述加热丝（32）、温度感应器（9）、温度开关（10）由线路连接温控箱（12）；本实用新型能均匀的控制整个钢瓶温度，避免液面下降后局部温度过高，液面处于低温时加热不够的现象，而且使用非常安全、可靠，还起到节能的效果。
- 气体供应系统分段控制加热
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