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[发明专利]一种炉鼻子加湿器-CN202010344603.9在审
发明人：蒲存虎;石晓云 -专利权人：唐山曹妃甸区首燕机械有限公司
申请日： 2020-04-27 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： C21D1/76 文献下载
摘要：本发明公开了一种炉鼻子加湿器，包括加湿水箱、脱盐水管路和氮气管路；加湿水箱内设有水箱加热器；脱盐水管路与加湿水箱相连；氮气管路包括氮气总管路、加湿氮气管路、干氮气管路、混合管路和加热管路，氮气总管路将干氮气分别输送至加湿氮气管路和干氮气管路，加湿氮气管路将干氮气通入加湿水箱进行加湿，加湿后的湿氮气从加湿水箱的上部排出，干氮气管路穿过加湿水箱并与加湿水箱内的热水进行换热，加湿氮气管路和干氮气管路汇合进入混合管路，混合管路将混合后的氮气输送至加热管路进行加热，加热管路的输出端与炉鼻子连接。本发明避免了干氮气与湿氮气混合时发生水汽液化，进而更好地控制混合氮气的湿度。
一种鼻子加湿器

[实用新型]一种炉鼻子加湿器-CN202020667052.5有效
发明人：蒲存虎;石晓云 -专利权人：唐山曹妃甸区首燕机械有限公司
申请日： 2020-04-27 - 公布日： 2020-11-20 - 主分类号： C21D1/76 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种炉鼻子加湿器，包括加湿水箱、脱盐水管路和氮气管路；加湿水箱内设有水箱加热器；脱盐水管路与加湿水箱相连；氮气管路包括氮气总管路、加湿氮气管路、干氮气管路、混合管路和加热管路，氮气总管路将干氮气分别输送至加湿氮气管路和干氮气管路，加湿氮气管路将干氮气通入加湿水箱进行加湿，加湿后的湿氮气从加湿水箱的上部排出，干氮气管路穿过加湿水箱并与加湿水箱内的热水进行换热，加湿氮气管路和干氮气管路汇合进入混合管路，混合管路将混合后的氮气输送至加热管路进行加热，加热管路的输出端与炉鼻子连接。本实用新型避免了干氮气与湿氮气混合时发生水汽液化，进而更好地控制混合氮气的湿度。
一种鼻子加湿器

[实用新型]全自动保护气配比装置-CN201721465515.4有效
发明人：尹泉生;陈学军;吴雪华;耿海萍 -专利权人：苏州市创优净化科技有限公司
申请日： 2017-11-07 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： B01F3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种全自动保护气配比装置，它包括：底座、氢气管路、氮气管路、混合罐、混合气管路；底座为钢架结构，包括第一层、第二层；氢气管路、氮气管路、混合罐、混合气管路设置在底座第一层上；氢气管路的氢气输入管路、氢气调节管路顺次连接；氮气管路的输入氮气管路、密封氮气管路、混合氮气管路顺次连接；输入氮气管路设置在第一层上；密封氮气管路、混合氮气管路设置在第二层上；混合氮气管路、氢气调节管路与混合罐连接；混合罐设置在混合罐固定安装区上；混合罐与混合气管路相连接。
混合罐氮气管路混合气管路混合氮气氢气管路第一层底座本实用新型全自动保护密封氮气顺次连接氢气气配比氢气输入管路双层结构形式钢架结构管路设置合理布局节省空间元件安装阀门美观仪表

[实用新型]一种氮气管路和仪表管路的防窜结构-CN202321081198.1有效
发明人：刘祚金;王逸枫 -专利权人：上海盛欣弘能源科技有限公司
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： F17D1/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种氮气管路和仪表管路的防窜结构，包括仪表管路，所述仪表管路包括第一仪表管线、第二仪表管线和仪表调压阀，所述仪表调压阀连接于所述第一仪表管线和所述第二仪表管线之间；氮气管路，所述氮气管路包括第一氮气管线、第二氮气管线、第一氮气分支管线、第一氮气调压阀和第二氮气调压阀，所述第一氮气调压阀的一端连接所述第一氮气管线，所述第一氮气调压阀的另一端和所述第二仪表管线之间连接所述第二氮气管线，所述第二氮气调压阀通过所述第一氮气分支管线连接所述第二氮气管线，所述第二氮气调压阀为第一道防线，所述氮气安全阀为第二道防线，防止仪表管路的空气反窜至氮气管路。
一种氮气管路仪表结构

[实用新型]一种LNG装车橇的超装排液装置-CN202120066196.X有效
发明人：蔡主斌;孙军民;张豪;高维刚;陶克;赵来;李民星;陈晨;潘英浩;赵永杰;杜鹏;全日 -专利权人：中海浙江宁波液化天然气有限公司
申请日： 2021-01-11 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： F17C5/02 文献下载
摘要：本实用新型属于液化天然气LNG的槽车充装技术领域，公开了一种LNG装车橇的超装排液装置，该超装排液装置包括返回气管路、氮气管路、LNG液相管路和排液管路，还包括导通管路，导通管路连接在氮气管路和返回气管路之间，且位于氮气源输出端的近端，氮气源的氮气依次通过氮气管路、导通管路和返回气管路对槽车罐体内进行充氮增压以实现超装排液。本实用新型便于氮气快速通过导通管路和返回气管路进入槽车罐体内以实现充氮增压，增大导通管路的管径尺寸，从而实现氮气的快速升压，提高排液效率。
一种 lng 装车超装排液装置

[实用新型]一种中压补低压氮气稳定供应系统-CN202320034340.0有效
发明人：蔡成辉;蔡凯锋;于杰;陈庆辉;成昌雷 -专利权人：福建空分气体有限公司
申请日： 2023-01-05 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： F17D1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了氮气供应技术领域一种中压补低压氮气稳定供应系统，包括中压氮气管路，所述中压氮气管路上端的输入端连接有氮气压缩机，所述中压氮气管路连通设置有换气管路，所述换气管路依次连接有中压氮气压力表、手动阀、自动调节阀和低压氮气压力表，所述中压氮气管路连通设置有泄压管路，所述泄压管路依次连接有单向阀和泄压阀，所述泄压管路的外端连接有废气处理箱，通过合理利用中压氮气，将过压的中压氮气用来补充低压氮气，减少中压氮气放空，提高低压氮气压力和流量，保证安全生产，同时泄压时可以对高浓度氮气进行处理，避免被人体吸入产生危害，有利于本实用新型的推广。
一种中压补低压氮气稳定供应系统

[发明专利]气体处理系统及处理方法-CN201810366719.5在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：睿力集成电路有限公司
申请日： 2018-04-23 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： F17D1/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种气体处理系统及处理方法，系统包括排气系统的第一泵体与晶圆真空反应室连接，排气管路与第一、第二泵体连接；氮气管路与氮气供给系统以及排气管路连接，氮气管路将氮气供给系统中供应的氮气输送到排气管路稀释第一混合气体中的氧硫化碳浓度至爆炸浓度下限以下；供应至氮气管路中的氮气为从氮气供给系统供应至各厂务设备的氮气中分配出的。方法包括向晶圆真空反应室内放入晶圆并持续通入反应气体；氮气管路将氮气输送到排气管路中对氧硫化碳进行稀释；第二泵体将排气管路中的气体抽入其内部并再次稀释后排出。本发明解决了排气管路中氧硫化碳浓度过高发生爆炸以及不增加氮气供给系统负担的问题。
排气管路氮气氮气供给系统氮气管路氧硫化碳稀释晶圆气体处理系统第二泵体真空反应室厂务设备第一泵体反应气体混合气体浓度下限排气系统真空反应爆炸放入后排室内分配

[实用新型]一种控制脱水机机盖的安全装置-CN201320423752.X有效
发明人：黎定康;翟金权;张超 -专利权人：中节能太阳能科技（镇江）有限公司
申请日： 2013-07-16 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： B04B7/06 文献下载
摘要：本实用新型公开一种控制脱水机机盖的安全装置，包括空气管路、第一电磁阀和软管，所述第一电磁阀设置在所述空气管路中，所述软管连接所述空气管路和脱水机气缸；所述第一电磁阀在通电后打开所述空气管路而在断电后闭合所述空气管路；其特征在于：还包括氮气管路和第二电磁阀，所述第二电磁阀设置在所述氮气管路中，所述软管的另一支路连接所述氮气管路，使所述氮气管路与所述空气管路并联与脱水机气缸连接；所述第二电磁阀在通电后闭合所述氮气管路而在断电后打开所述氮气管路本实用新型在断电情况下，氮气能通过氮气管路进入气缸，来支撑脱水机的机盖，它弥补了现有设备在突然断电情况下，脱水机机盖砸坏硅片、花篮，甚至造成人员伤亡等不足。
一种控制脱水机安全装置

[发明专利]一种具有吸附器再生管路的氢气液化装置-CN202110843185.2有效
发明人：李静;刘立强;熊联友;周刚;杨少柒 -专利权人：中国科学院理化技术研究所
申请日： 2021-07-26 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： F25J1/02 文献下载
摘要：本发明涉及氢气液化技术领域，具体涉及一种具有吸附器再生管路的氢气液化装置，包括：制冷模块及与所述制冷模块连接的再生管路；所述制冷模块包括吸附器，所述再生管路包括原料氢气管路、加热氮气管路、再生气进气管路、再生气排放管路、CV19阀门及CV20阀门；通过所述CV19阀门及CV20阀门，使得所述原料氢气管路和加热氮气管路能够交替通断。本发明通过设置加热氮气管路，用氮气经加热氮气管路、再生气进气管路，对吸附器进行逆向吹扫；通过设置原料氢气管路，用氢气经原料氢气管路、再生气进气管路，对吸附器进行再次逆向吹扫；通过该两条管路利用氮气和氢气交替逆向吹扫吸附器
一种具有吸附再生管路氢气液化装置

[实用新型]气体处理系统-CN201820584330.3有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2018-04-23 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： F17D1/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种气体处理系统，系统包括排气系统的第一泵体与晶圆真空反应室连接，排气管路与第一、第二泵体连接；氮气管路与氮气供给系统以及排气管路连接，氮气管路将氮气供给系统中供应的氮气输送到排气管路稀释第一混合气体中的氧硫化碳浓度至爆炸浓度下限以下；供应至氮气管路中的氮气为从氮气供给系统供应至各厂务设备的氮气中分配出的。本实用新型解决了排气管路中氧硫化碳浓度过高发生爆炸以及不增加氮气供给系统负担的问题。
氮气供给系统排气管路氮气氮气管路气体处理系统本实用新型氧硫化碳真空反应室厂务设备第二泵体第一泵体混合气体浓度下限排气系统爆炸晶圆稀释分配

[实用新型]一种空分冷箱密封气系统-CN201220005944.4有效
发明人：徐峰;王文华 -专利权人：上海宝钢气体有限公司
申请日： 2012-01-06 - 公布日： 2012-09-05 - 主分类号： F25J3/00 文献下载
摘要：一种空分冷箱密封气系统，包括，空分冷箱，其上设空气进气管路、产品氮气管路、密封气进气管路及污氮管路；产品氮气管路上设氮气压缩机，并接入氮气管网；氮气管网上设第一连接管路连接至空分冷箱的密封气进气管路；该连接管路上设第一切换阀、减压阀；高压氮气后备罐，其出口管路连接至一液氮汽化器，液氮汽化器出口管路接减压阀后再连接至氮气管网；污氮管路通过第二连接管路连接至密封气进气管路，第二连接管路上设第二切换阀。本实用新型在空分装置正常运行阶段使用污氮气作为冷箱的密封气，实现了低成本生产；在空分装置停机较短期间内，切换使用纯氮气作为密封气，确保没有水分进入冷箱，保证了冷箱的保温效果，确保空分的稳定运行。
一种空分冷箱密封系统

[实用新型]一种应用氮气膨胀机制冷的空分装置-CN202022423369.7有效
发明人：王剑峰;侯新刚;张育哲;杨荣;曹徽;刘宾;叶芳芳 -专利权人：浙江智海化工设备工程有限公司
申请日： 2020-10-27 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： F25J3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种应用氮气膨胀机制冷的空分装置，包括由第一管路依次连接的过滤压缩单元、预冷单元、纯化单元、主换热器和冷箱，所述冷箱上外接有液氮管路、氧气管路、污氮气管路和中压氮气管路，还包括氮气膨胀机和副换热器，所述中压氮气管路依次连接冷箱、主换热器、氮气膨胀机的增压端和副换热器，所述副换热器的液氮输出口与冷箱相连；所述副换热器上外接有氮气管路，所述氮气管路连接副换热器和氮气膨胀机的膨胀端并经过副换热器的复热通道后连接至低压氮气管网本实用新型能够克服原有应用氮气膨胀机制冷的空分装置对液氮消耗及依赖性大的不足，使装置的整体经济效益和能耗水平都得到了提高。
一种应用氮气膨胀机制装置

[实用新型]新型喷粉精炼装置-CN201420792523.X有效
发明人：苏振武;任书卿;吴振涛;贺正权;苏忼恺;刘超峰;曹磊磊;李怀武 -专利权人：河南省银湖铝业有限责任公司巩义分公司
申请日： 2014-12-16 - 公布日： 2015-05-13 - 主分类号： C22B9/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型喷粉精炼装置，包括氮气管路和精炼管路，氮气管路包括第一氮气管路和第二氮气管路，在第一氮气管路上设置有调压阀和第一压力表，高压氮气沿着第一氮气管路依次通过第一球阀、调压阀和第一压力表与精炼剂容器上端相连通；在第二氮气管路上设置有减压阀、第二压力表和文丘里精炼剂输送器，高压氮气沿着第二氮气管路依次通过减压阀、第二压力表和文丘里精炼剂输送器与精炼剂容器底部相连通。本实用新型采用文丘里管原理，通过调整通入精炼剂存储罐内氮气的压力来调整精炼剂的喷出量，用高压氮气将精炼剂均匀输送至精炼管，使精炼效果大幅度提高，铸轧板表面质量条纹大幅减少，为连续生产、降低生产成本做出了根本性的保障
新型精炼装置

[发明专利]槽式清洗设备的快排冲洗槽及晶圆清洗方法-CN202110157594.7在审
发明人：朴英植;卢一泓;李琳;王佳;胡艳鹏;张月 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2021-02-04 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种槽式清洗设备的快排冲洗槽，包括：槽体、第一供气管路、第二供气管路、鼓泡装置和下供水管路，鼓泡装置与第一供气管路和第二供气管路连接，用于将第一供气管路通入的小分子氮气处理为小分子氮气气泡，以及将第二供气管路通入的常规氮气处理为常规氮气气泡，小分子氮气气泡在常规氮气气泡的冲击下会发生破裂；下供水管路用于向槽体内通入去离子水。本发明利用小分子氮气发生破裂，能够改善晶圆的清洁效果，并减少清洗时间。
清洗设备冲洗方法

[实用新型]一种氮气泄压缓冲装置-CN201920367326.6有效
发明人：王彦;李宁辉 -专利权人：嘉兴石化有限公司
申请日： 2019-03-22 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： F17D1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种氮气泄压缓冲装置，包括氮气罐和氮气管网，氮气罐的出口与氮气管网连接，还包括氮气缓冲罐、氮气出口阀、氮气泄压阀、缓冲罐入口阀、缓冲罐出口阀，其中，氮气罐的泄压口通过第一管路与氮气缓冲罐的进口连接，氮气缓冲罐的出口通过第二管路与氮气管网连接，氮气出口阀设在氮气罐与氮气管网的连接管路上，氮气泄压阀设在第一管路靠近氮气罐一端，缓冲罐入口阀设在第一管路靠近氮气缓冲罐的一端，缓冲罐出口阀设在第二管路上。该氮气泄压缓冲装置既减少了氮气的损失，又提高了设备安全性。
一种氮气缓冲装置

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