“毛宗钦”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果48个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种双视角X射线安全检查系统-CN201710437245.4有效
发明人： 毛宗钦;沈益民;王骞;王满仓;向霞 -专利权人：上海瑞示电子科技有限公司
申请日： 2017-06-12 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G01V5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种双视角X射线安全检查系统，涉及X射线应用技术领域。该双视角X射线安全检查系统包括第一进出口模块、第二进出口模块、侧照模块和顶照模块，侧照模块包括侧照X射线发射源和探测模块阵列，顶照模块包括顶照X射线发射源、探测模块阵列和输送过渡部件，输送过渡部件设置于顶照模块的中间位置，输送过渡部件设置有输送间隙，侧照模块和/或所述顶照模块与第一进出口模块和第二进出口模块为可拆卸连接。本发明通过将X射线安全检查系统设置成双视角以及在顶照模块下设置输送过渡部件的形式，解决了因被测物体通过输送间隙时会发生抖动而导致被测物体成像质量不高和安全检查系统各组成部分拆装不方便的问题。
一种视角射线安全检查系统

[实用新型]一种用于测量设备中的多镜调整装置及椭偏量测设备-CN202320393656.9有效
发明人：朱强铭;熊金磊;毛宗钦 -专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2023-03-06 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于测量设备中的多镜调整装置及椭偏量测设备，其中一种用于测量设备中的多镜调整装置，包括：同轴设置的基准板和至少一层的基准板外环；与基准板通过多个球头螺丝法向连接的镜一板；与第一层的基准板外环通过多个球头螺丝法向连接的镜二板；沿第一层的基准板外环外部径向伸入并可与基准板固定定位的若干柱塞；当N≥2时，还包括：与第N层的基准板外环通过多个球头螺丝法向连接的镜N+1板；沿第N层的基准板外环外部径向伸入并可与第N‑1层的基准板外环固定定位的若干柱塞。基准板外环在调整镜二板时，用弹性柱塞固定在基准板上，可防止调整镜二板时镜一板位置变动。
一种用于测量设备中的调整装置椭偏量测

[实用新型]一种用于光学设备的扩束装置-CN202320186981.8有效
发明人：朱强铭;熊金磊;毛宗钦 -专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2023-02-06 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：本申请实施例的目的是提供一种用于光学设备的扩束装置。本申请实施例的扩束装置包括：入射镜安装架、总成板、小孔座、小孔调节座、调节座安装架、出射固定板、出射调整板、移动基准块、Y向基准块、多个球头顶丝、一级支撑；其中，所述入射镜安装架固定在总成板上；其中，所述出射调整板被固定在出射固定板上；其中，所述出射固定板、移动基准块以及Y向基准块固定在一级支撑上；其中，所述出射固定板上粘有平垫片、锥垫片和V型垫片。本申请实施例具有以下优点：结构牢固可靠，能够避免弹簧结构导致的入射镜头、小孔和出射镜头相互之间位置在运输或震动后发生变动；能够对入射镜头、小孔和出射镜头进行多自由度的姿态调节。
一种用于光学设备束装

[外观设计]掩膜版检测设备-CN202230743006.3有效
发明人： 毛宗钦;朱强铭;熊金磊 -专利权人：睿励科学仪器(上海)有限公司
申请日： 2022-11-08 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：掩膜版检测设备。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品是用于集成电路生产线工艺检测。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。
掩膜版检测设备

[实用新型]一种五维调整装置-CN202222754325.1有效
发明人：孙思华;毛宗钦;刘红星 -专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2022-10-19 - 公布日： 2023-02-24 - 主分类号： F16B11/00 文献下载
摘要：本申请实施例的目的是提供一种五维调整装置。本申请实施例的五维调整装置包括：俯仰板、微调顶丝、螺钉、槽垫块、锥垫块、平垫块、弹垫和平垫；其中，俯仰板用于在多个方向对镜头进行调节；其中，所述弹垫起到压簧的作用。本申请实施例具有以下优点：结构紧凑，能够在在镜头座互相垂直的两个侧边的方向和垂直于镜头座顶面的方向来对镜头进行姿态调整，增强了调整镜头的便利性，提升了效率；采用弹垫来代替现有技术方案中调整机构使用的弹簧，使得本申请的五维调整装置在调节完毕锁紧后具有更好的刚性。
一种调整装置

[实用新型]一种棱镜调整装置和单波长椭偏仪设备-CN202220921391.0有效
发明人：朱强铭;毛宗钦 -专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G02B7/18 文献下载
摘要：本申请实施例的目的是提供一种棱镜调整装置和单波长椭偏仪设备。本申请实施例提供了一种棱镜调整装置，包括：电机圆盘、一级调整圆盘、二级调整圆盘和吸光布。本申请实施例具有以下优点：根据本申请的棱镜调整装置的结构占用空间小，减小了设备空间，提高了待调整棱镜的精度；并且，所述棱镜调整装置能够满足半导体设备对杂散光的要求，且对光机结构造成的影响较小。
一种棱镜调整装置波长椭偏仪设备

[实用新型]一种用于多实体搬运的搬运装置-CN202120418487.0有效
发明人： 毛宗钦;朱强铭;刘军凯 -专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2021-02-25 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： B65G47/74 文献下载
摘要：本申请提供了一种用于多实体搬运的搬运装置，其特征在于，所述搬运装置包括辅助轮、固定连接件以及高度调整模块，其中，所述高度调整模块固定连接至所述辅助轮的上方且固定连接至所述固定连接件，所述固定连接件包括用于固定连接至所述高度调整模块的第一连接单元以及用于固定连接至需要搬运的实体的第二连接单元。根据本申请的搬运装置，具有转向方便、高扭矩负载以及结构简单的优点，一方面可以调节实体高度以满足复杂地面环境的需求，同时可以实现多实体的整体搬运，且由于其操作简单便捷，能够极大地节约人力成本和时间成本。
一种用于实体搬运装置

[发明专利]一种光学检测装置和检测方法-CN202210215042.1在审
发明人：杨峰;毛宗钦;朱强铭;吕彤欣;其他发明人请求不公开姓名 -专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2022-03-07 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： G01N21/59 文献下载
摘要：本申请实施例的目的是提供一种光学检测装置和检测方法。本申请实施例的装置包括光学组件、真空腔组件和运动平台组件；其中，所述光学组件包括光源装置、反射镜、反射镜调节架和传感装置；其中，所述光学组件包括光源装置、反射镜、反射镜调节架和传感装置；其中，所述运动平台组件包括线性运动平台和薄膜卡盘。本申请实施例具有以下优点：能够提供高洁净度的检测环境，保证样品的高洁净度；使用与薄膜实际使用工况相同光源对其进行检测，能够提升检测的准确度。
一种光学检测装置方法

[实用新型]一种用于晶圆应力测试的机械传动系统-CN202120255910.X有效
发明人： 毛宗钦;李宇;刘军凯 -专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本申请提供了一种用于晶圆应力测试的机械传动系统，其中，所述机械传动系统包括点支撑结构、轴承座、驱动结构以及驱动结构支座，所述点支撑结构可转动地连接至所述轴承座，所述驱动结构可转动地连接至所述驱动结构支座，所述驱动结构可转动地连接至所述点支撑结构，所述点支撑结构上方设有用于支撑和吸附晶圆的真空吸嘴，且所述点支撑结构一侧设有真空入口。根据本申请的机械传动系统，可以快速地根据需求进行晶圆三点支撑以满足硅片测量的需求，且该机械传动系统能够保证自身运行的稳定性和可靠性，同时确保晶圆在测量过程中保证硅片的可靠固定。
一种用于应力测试机械传动系统

[外观设计]光学薄膜测量设备-CN202030827703.8有效
发明人： 毛宗钦;刘军凯;孙思华 -专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：光学薄膜测量设备。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品是用于集成电路生产线工艺检测。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。
光学薄膜测量设备

[实用新型]一种射线检测设备及其拐角探测器组件-CN202021682190.7有效
发明人：王满仓;毛宗钦;张祖涛;王骞 -专利权人：许昌瑞示电子科技有限公司
申请日： 2020-08-13 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： G01V5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种射线检测设备及其拐角探测器组件。其中的拐角探测器组件包括拐角底座和拐角探测器；拐角底座，用于设置到探测器阵列的内侧角落处；所述内侧角落是由横臂探测器阵列和纵臂探测器阵列相互靠近的一端形成；拐角探测器，安装在拐角底座上以用于填补横臂探测器阵列和纵臂探测器阵列之间的探测缺失区域，从而得到所述内侧角落处的完整成像。上述方案解决了现有的射线检测设备的竖向探测臂和横向探测臂拐角处需要搭接导致的安装空间需求大、安装维护不便的问题。
一种射线检测设备及其拐角探测器组件

[发明专利]射线检测设备及其拐角探测器组件-CN202010812185.1在审
发明人：王满仓;毛宗钦;张祖涛;王骞 -专利权人：许昌瑞示电子科技有限公司
申请日： 2020-08-13 - 公布日： 2020-12-15 - 主分类号： G01V5/00 文献下载
摘要：本发明涉及射线检测设备及其拐角探测器组件。其中的拐角探测器组件包括拐角底座和拐角探测器；拐角底座，用于设置到探测器阵列的内侧角落处；所述内侧角落是由横臂探测器阵列和纵臂探测器阵列相互靠近的一端形成；拐角探测器，安装在拐角底座上并形成拐角探测器阵列，拐角探测器阵列用于填补横臂探测器阵列和纵臂探测器阵列之间的探测缺失区域，从而得到所述内侧角落处的完整成像。上述方案解决了现有的射线检测设备的竖向探测臂和横向探测臂拐角处需要搭接导致的安装空间需求大、安装维护不便的问题。
射线检测设备及其拐角探测器组件

[实用新型]一种防铅帘阻挡的射线检测装置-CN201920934786.2有效
发明人： 毛宗钦;王骞;张琪;孙栋 -专利权人：上海瑞示电子科技有限公司
申请日： 2019-06-20 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： G01V5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种防铅帘阻挡的射线检测装置。具体地，检测主机的输送装置包括沿检测通道设置的检测输送段以及第一斜坡输送段、第二斜坡输送段，第一斜坡输送段在检测通道外与检测输送段连接，第二斜坡输送段在检测通道内与检测输送段连接，第一斜坡输送段从检测输送段向上倾斜，第二斜坡输送段从检测输送段向下倾斜；检测输送段从射线发生器和探测器之间穿过；检测通道两端位置处的铅帘的下端与对应输送段的输送平面的垂直距离均在100mm‑400mm之内，处于第二斜坡输送段上侧的铅帘的下端与检测输送段的输送平面在竖直方向上的距离在50mm内；第一斜坡输送段在其输送平面的下侧设置有屏蔽板，屏蔽板沿输送平面布置并用于屏蔽从避让通道泄露出的射线。
一种防铅帘阻挡射线检测装置

[实用新型]射线安全检查装置-CN201920934789.6有效
发明人：王骞;毛宗钦 -专利权人：上海瑞示电子科技有限公司
申请日： 2019-06-20 - 公布日： 2020-05-01 - 主分类号： G01V5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种射线安全检查装置。射线安全检查装置包括检测主机、铅帘和输送装置；检测主机具有检测通道，检测主机内设有射线发生器和探测器；铅帘挂在检测通道的进、出口位置处；输送装置包括检测输送段、上坡输送段和下坡输送段；铅帘与检测输送段的竖直距离在50mm内；铅帘的下端与上坡输送段和下坡输送段在竖直方向上的距离在100mm‑400mm之内，以形成供体积较小的被检测物通过的避让通道。射线安全检查装置通过设置避让通道，使得体积小的被检测物品直接进入检测主机内，避免了由于铅帘遮挡，在检测通道进出口堆积的问题；同时由于铅帘下端与平直输送段之间的距离在一个较小的范围内，因此射线也难以从铅帘及铅帘下方泄露，保证了安全性。
射线安全检查装置

[实用新型]一种射线检测装置-CN201920934798.5有效
发明人： 毛宗钦;王骞;张琪;孙栋 -专利权人：上海瑞示电子科技有限公司
申请日： 2019-06-20 - 公布日： 2020-05-01 - 主分类号： G01V5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种射线检测装置。具体地，射线检测装置包括检测主机、铅帘及输送装置，输送装置包括平直输送段、下坡输送段和上坡输送段；进出口位置处挂装的铅帘的下端与平直输送段的输送平面的垂直距离在100mm‑400mm之内，以形成供体积较小的被检测物通过的避让通道；上坡输送段和下坡输送段上分别在其输送平面的下侧设置有屏蔽板，屏蔽板沿对应输送段的输送平面布置并用于屏蔽从避让通道泄露出的射线。本实用新型的射线检测装置通过设置避让通道，使得那些体积小、重量轻的被检测物品直接无需推开铅帘而直接进入检测主机内，同时，还通过上坡输送段和下坡输送段内设置的屏蔽板对少部分从避让通道泄露出的射线进行屏蔽吸收，同样达到了安全性能。
一种射线检测装置

1
2
3
4
下一页»
尾页
共 48 条