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[发明专利]激光退火方法及系统-CN202210148427.0在审
发明人：陈静;申航航 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2022-02-17 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01L21/268 文献下载
摘要：本发明提供了激光退火方法及系统；其中，该方法包括：获取待加工的晶圆的目标温度和加热卡盘的初始温度；其中，目标温度为稳态最高温度；根据目标温度和初始温度确定目标激光参数；其中，目标激光参数包括：目标功率密度、目标扫描速度和目标驻留时间；按照目标激光参数，采用半导体激光器产生的脉冲激光对晶圆进行退火处理，以使晶圆达到目标温度。上述方式，通过目标温度和初始温度确定不同的目标激光参数，实现了对退火温度场的精准控制，降低了激光退火造成的热应力碎片的可能性，提高了退火过程中退火的效率和精度，从而提高了半导体器件的生产效率，便于在实际应用中推广实施，具有较好的实用价值。
激光退火方法系统

[发明专利]一种多自由度调节的镜架-CN202110956673.4在审
发明人：司源;陈静;申航航 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2021-08-19 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种多自由度调节的镜架，涉及光学设备技术领域；镜架包括机架、镜筒安装座和镜筒组件，机架设置有移动调节机构，镜筒安装座安装于机架，且连接于移动调节机构；在移动调节机构的驱动作用下，镜筒安装座能够相对机架移动；镜筒安装座设置有转动调节机构，镜筒组件安装于镜筒安装座，且连接于转动调节机构；在转动调节机构的驱动作用下，镜筒组件能够相对镜筒安装座转动；移动调节机构和转动调节机构的操作端均设置于远离镜筒组件的部位。本发明在满足实际调节需求的同时，当需要对镜头进行调节作业时，使用者的身体部位不会暴露于镜头前方，不会与激光接触，进而不会损伤使用者皮肤，保证了使用者的人身安全。
一种自由度调节镜架

[发明专利]分布式铁路钢轨件尺寸参数测量装置-CN201510776368.1在审
发明人：李林;窦燕;王梦石;陈炜;申航航 -专利权人：燕山大学
申请日： 2015-11-13 - 公布日： 2016-02-03 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：一种分布式铁路钢轨件尺寸参数测量装置，它包括尺寸参数测量终端、分布式无线数据通信信道和中央数据处理单元三大部分；所述尺寸参数测量终端由图像或视频采集模块、激光测距传感器及反光板、终端控制器、存储器、无线收发模块、触控显示屏、供电模块和终端支架组成；所述分布式无线数据通信信道由一个或一个以上的无线基站以及尺寸参数测量终端的无线收发模块和中央数据处理单元的无线收发模块组成，它们之间通过工业Wi-Fi连接；中央数据处理单元位于车间厂房的任意位置。本发明降低了装置成本，提高了传输的可靠性和装置的可靠性，不仅能实现全生产车间的高精度自动化测量，实现了测量参数共享，提高了生产效率和可靠性，降低了劳动强度。
分布式铁路钢轨尺寸参数测量装置