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- [实用新型]一种激光器冷却装置-CN202121680182.3有效
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肖政国;王敏;田昌海;佘彦超
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铜仁学院
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2021-07-22
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2022-02-22
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H01S3/04
- 本实用新型公开了一种激光器冷却装置,支撑架上表面安装有固定板,激光器主体固定安装在固定板上表面,第一冷却板安装在激光器主体上表面,第二冷却板安装在激光器主体与固定板之间,第一冷却板与第二冷却板出口端管道上均安装有温度计,温度计电性连接控制端,控制端安装在支撑架上,支撑架上活动安装有保温罩,保温罩活动套装在激光器主体上,该装置结构合理,利用第一冷却板,第二冷却板,第一冷却管,第二冷却管,保温罩相互连接使用,可以对激光器主体进行冷却,同时可提高冷却效率,保证冷却均匀。
- 一种激光器冷却装置
- [实用新型]一种铁电薄膜的退火装置-CN202120513148.0有效
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黄帅;李勇;罗开武;王强;田昌海;王应
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铜仁学院
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2021-03-11
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2021-09-14
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H01L21/67
- 本实用新型提供了一种铁电薄膜的退火装置,包括退火腔、电场产生与控制系统、激光产生与控制系统和激光光路系统;其中,所述电场产生与控制系统用于产生直流电场或交流电场,且控制所述电场的大小和周期;所述激光产生与控制系统用于产生波长可调的激光,并控制激光输出的功率和频率;所述激光光路系统将激光从所述激光产生与控制系统引出,输入进所述退火腔,并投射到置于所述退火腔中的铁电薄膜上,利用激光的热效应对铁电薄膜退火处理。该退火装置解决铁电场效应晶体管存储器制备工艺中存在的问题,即解决铁电薄膜的制备工艺及其与CMOS集成电路制备工艺的兼容性等问题,以期实现铁电场效应晶体管存储器的实用化。
- 一种薄膜退火装置
- [实用新型]一种铁电存储器的单元结构-CN202120514575.0有效
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黄帅;李勇;佘彦超;王强;田昌海;陈琳
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铜仁学院
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2021-03-11
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2021-09-14
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H01L27/1159
- 本实用新型提供了一种铁电存储器的单元结构,包括衬底、两个n+区、源极、漏极、第一氧化层、第二氧化层、第三氧化层、铁电薄膜和栅极;衬底之上沉积有第一氧化层,在第一氧化层上刻蚀有第一矩形窗口以及第二矩形窗口,在第一矩形窗口以及第二矩形窗口处形成有两个n+区、源极和漏极,在第一氧化层、源极和漏极之上沉积有第二氧化层,在第二氧化层中设置有第三矩形窗口,铁电薄膜沉积在第三矩形窗口内,在第二氧化层以及铁电薄膜之上沉积有第三氧化层,在第三氧化层之上沉积有栅极。本实用新型的铁电存储器的单元结构有助于提高铁电场效应晶体管存储器的保持性能,以期实现铁电场效应晶体管存储器的实用化。
- 一种存储器单元结构
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