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[发明专利]三维存储器、三维存储器的制备方法及电子设备-CN202110309897.6在审
发明人：杨竹;耿静静;刘新鑫;王香凝;王攀;左晨 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2020-01-03 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： H01L27/11517 文献下载
摘要：本申请公开了一种三维存储器、三维存储器的制备方法及电子设备。三维存储器包括形成在第一堆叠层上的存储堆叠层，形成在存储堆叠层中的存储结构，存储结构至少部分地贯通存储堆叠层；在存储结构朝向衬底的一侧形成有第一通孔或第二通孔，第一通孔位于核心区，第二通孔位于台阶区；形成在第一通孔和第二通孔内的外延部，第二通孔内形成的外延部采用的材料不同于第一通孔内形成的外延部采用的材料，且第二通孔内形成的外延部的底部与衬底之间间隔设有第三绝缘层。本申请提供的三维存储器的台阶区(SS)未设SEG，避免了台阶区的SEG影响功能层，从而提高三维存储器的可靠性。
三维存储器制备方法电子设备

[发明专利]三维存储器、三维存储器的制备方法及电子设备-CN202010005763.0有效
发明人：杨竹;耿静静;刘新鑫;王香凝;王攀;左晨 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2020-01-03 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： H01L27/11517 文献下载
摘要：本申请公开了一种三维存储器、三维存储器的制备方法及电子设备。三维存储器包括依次层叠设置的衬底形成在衬底上的第一堆叠层；形成在第一堆叠层上的存储堆叠层，形成在存储堆叠层中的存储结构，存储结构至少部分地贯通存储堆叠层；在存储结构朝向衬底的一侧形成有第一通孔或第二通孔，第一通孔和第二通孔穿透至少部分第一堆叠层和部分衬底，第一通孔位于核心区，第二通孔位于台阶区；形成在第一通孔和第二通孔内的外延部，第一通孔内形成的外延部为半导体结构，第二通孔内形成的外延部为绝缘体结构。本申请提供的三维存储器的台阶区(SS)未设SEG，仅填充绝缘体，台阶区的SEG对功能层的影响，从而提高三维存储器的可靠性。
三维存储器制备方法电子设备

[实用新型]劳保手套生产用辅助打包装置-CN202021901274.5有效
发明人：常加会;常加宁;曹云芳;王香凝 -专利权人：临沂星宁手套有限公司
申请日： 2020-09-03 - 公布日： 2021-01-12 - 主分类号： B65B35/36 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种劳保手套生产用辅助打包装置，属于手套生产设备技术领域。用于劳保手套生产过程中辅助工人对劳保手套进行打包，其解决了现有技术中人工打包劳保手套效率慢、打包不整齐的缺陷。其主要包括底板，底板上安装背板，所述背板上安装可相对其转动的转动杆，转动杆上下两侧分别固定安装第一动力件和第二动力件，第一动力件固定连接上夹板且第一动力件可驱动上夹板相对转动杆上下移动，第二动力件固定连接下夹板且第二动力件可驱动下夹板相对转动杆上下移动，所述转动杆连接第三动力件，第三动力件可驱动转动杆相对背板转动。
劳保手套生产辅助打包装置

[实用新型]劳保手套生产用自动脱模装置-CN202021899432.8有效
发明人：常加会;常加宁;曹云芳;王香凝 -专利权人：临沂星宁手套有限公司
申请日： 2020-09-03 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： B29C37/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种劳保手套生产用自动脱模装置，属于劳保手套生产设备技术领域。用于劳保手套生产过程中对劳保手套进行脱模工序，其解决了现有技术中当前浸胶手套在生产时脱模工序自动化程度不高的缺陷。其主要包括连接在架体两侧的第二横向支撑梁和位于第二横向支撑梁下侧的输送装置，两侧第二横向支撑梁之间安装由第六动力件驱动且相对第二横向支撑梁横向往复运动的第二纵梁，第二纵梁靠近竖向输送链段一端安装手套夹取装置，输送装置包括第一输送机和第二输送机，手套夹取装置可将手模上的手套取下并使左手模的手套和右手模的手套分别落入不同的输送机。
劳保手套生产自动脱模装置

[实用新型]劳保手套浸胶生产线-CN202021898159.7有效
发明人：常加会;常加宁;曹云芳;王香凝 -专利权人：临沂星宁手套有限公司
申请日： 2020-09-03 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： B29C69/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种劳保手套浸胶生产线，属于劳保手套生产设备技术领域。用于劳保手套的浸胶生产，其解决了现有技术中当前浸胶手套在生产时印花和脱模工序自动化程度不高的缺陷。其主要包括架体，架体安装有由动力装置驱动回转运行的两侧输送链，两侧输送链之间间隔安装模具杆，模具杆上等间隔安装多个左手模和右手模，所述架体上安装且供输送链依次穿过的上模单元、烘胚箱、手套浸胶单元、手套烘干箱、手套冷却室、手套印标单元和手套脱模单元，所述输送链包括高位横向输送链段、低位横向输送链段和竖向输送链段，所述模具杆沿中部向两侧分别设置左手模一侧和右手模一侧，左手模一侧的手模全是左手模，右手模一侧的手模全是右手模。
劳保手套生产线

[实用新型]劳保手套生产用自动印花装置-CN202021898829.5有效
发明人：常加会;常加宁;曹云芳;王香凝 -专利权人：临沂星宁手套有限公司
申请日： 2020-09-03 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： B41F17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种劳保手套生产用自动印花装置，属于手套生产设备技术领域。用于劳保手套生产过程中对劳保手套进行印花工序，其解决了浸胶手套在生产时印花工序自动化程度不高的缺陷。其主要包括连接在架体两侧由第五动力件驱动且相对架体竖向往复移动的第一横向支撑梁，第一横向支撑梁和输送链之间安装同步装置，同步装置启动后可使第一横向支撑梁同输送链同时运动，两侧第一横向支撑梁之间安装由第一动力件驱动且相对第一横向支撑梁横向往复运动的第一纵梁，第一纵梁上安装由第二动力件驱动且相对第一纵梁纵向往复运动的第一支撑板，第一支撑板上分别安装由第三动力件驱动的印盘和由第四动力件驱动的印头。
劳保手套生产自动印花装置

[发明专利]劳保手套浸胶生产线-CN202010914104.9在审
发明人：常加会;常加宁;曹云芳;王香凝 -专利权人：临沂星宁手套有限公司
申请日： 2020-09-03 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： B29C69/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种劳保手套浸胶生产线，属于劳保手套生产设备技术领域。用于劳保手套的浸胶生产，其解决了现有技术中当前浸胶手套在生产时印花和脱模工序自动化程度不高的缺陷。其主要包括架体，架体安装有由动力装置驱动回转运行的两侧输送链，两侧输送链之间间隔安装模具杆，模具杆上等间隔安装多个左手模和右手模，所述架体上安装且供输送链依次穿过的上模单元、烘胚箱、手套浸胶单元、手套烘干箱、手套冷却室、手套印标单元和手套脱模单元，所述输送链包括高位横向输送链段、低位横向输送链段和竖向输送链段，所述模具杆沿中部向两侧分别设置左手模一侧和右手模一侧，左手模一侧的手模全是左手模，右手模一侧的手模全是右手模。
劳保手套生产线

[发明专利]劳保手套生产用自动印花装置-CN202010914443.7在审
发明人：常加会;常加宁;曹云芳;王香凝 -专利权人：临沂星宁手套有限公司
申请日： 2020-09-03 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： B41F17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种劳保手套生产用自动印花装置，属于手套生产设备技术领域。用于劳保手套生产过程中对劳保手套进行印花工序，其解决了浸胶手套在生产时印花工序自动化程度不高的缺陷。其主要包括连接在架体两侧由第五动力件驱动且相对架体竖向往复移动的第一横向支撑梁，第一横向支撑梁和输送链之间安装同步装置，同步装置启动后可使第一横向支撑梁同输送链同时运动，两侧第一横向支撑梁之间安装由第一动力件驱动且相对第一横向支撑梁横向往复运动的第一纵梁，第一纵梁上安装由第二动力件驱动且相对第一纵梁纵向往复运动的第一支撑板，第一支撑板上分别安装由第三动力件驱动的印盘和由第四动力件驱动的印头。
劳保手套生产自动印花装置

[发明专利]劳保手套生产用辅助打包装置-CN202010915038.7在审
发明人：常加会;常加宁;曹云芳;王香凝 -专利权人：临沂星宁手套有限公司
申请日： 2020-09-03 - 公布日： 2020-11-20 - 主分类号： B65B35/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种劳保手套生产用辅助打包装置，属于手套生产设备技术领域。用于劳保手套生产过程中辅助工人对劳保手套进行打包，其解决了现有技术中人工打包劳保手套效率慢、打包不整齐的缺陷。其主要包括底板，底板上安装背板，所述背板上安装可相对其转动的转动杆，转动杆上下两侧分别固定安装第一动力件和第二动力件，第一动力件固定连接上夹板且第一动力件可驱动上夹板相对转动杆上下移动，第二动力件固定连接下夹板且第二动力件可驱动下夹板相对转动杆上下移动，所述转动杆连接第三动力件，第三动力件可驱动转动杆相对背板转动。
劳保手套生产辅助打包装置

[发明专利]劳保手套生产用自动脱模装置-CN202010914108.7在审
发明人：常加会;常加宁;曹云芳;王香凝 -专利权人：临沂星宁手套有限公司
申请日： 2020-09-03 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： B29C37/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种劳保手套生产用自动脱模装置，属于劳保手套生产设备技术领域。用于劳保手套生产过程中对劳保手套进行脱模工序，其解决了现有技术中当前浸胶手套在生产时脱模工序自动化程度不高的缺陷。其主要包括连接在架体两侧的第二横向支撑梁和位于第二横向支撑梁下侧的输送装置，两侧第二横向支撑梁之间安装由第六动力件驱动且相对第二横向支撑梁横向往复运动的第二纵梁，第二纵梁靠近竖向输送链段一端安装手套夹取装置，输送装置包括第一输送机和第二输送机，手套夹取装置可将手模上的手套取下并使左手模的手套和右手模的手套分别落入不同的输送机。
劳保手套生产自动脱模装置

[发明专利]一种3D NAND存储器件-CN201910570404.7有效
发明人：张慧;耿静静;王香凝;刘新鑫;吴佳佳;王攀;肖梦 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2019-06-27 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： H01L27/11524 文献下载
摘要：本发明提供一种3D NAND存储器件，在台阶结构中形成有伪沟道孔，且在台阶结构的每个台阶面所在区域中，都分布有多个伪沟道孔，这些伪沟道孔为堆叠层提供支撑，提高对堆叠层的支撑能力，同时，有助于伪沟道孔的打开，避免伪沟道孔底部出现刻蚀不足的缺陷，提高器件的性能。
一种 nand 存储器件

[发明专利]三维存储器及三维存储器的制作方法-CN202010468374.1在审
发明人：杨竹;耿静静;刘新鑫;王香凝;左晨 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2020-05-28 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： H01L27/11519 文献下载
摘要：本发明提供一种三维存储器及三维存储器的制作方法，本发明所提供的三维存储器包括衬底、堆叠结构及台阶结构，其中，堆叠结构设置在衬底上且堆叠结构内设置有存储阵列，台阶结构设置在堆叠结构中且包括多个相互独立的台阶结构单元；通过设置在堆叠结构中间且包括多个相互独立的台阶结构单元的台阶结构，实现了对存储阵列的双边驱动，有效降低了后续通过台阶结构驱动存储阵列中存储单元区块时的电阻，明显改善了驱动时间延迟问题，且每个台阶结构单元的具体台阶结构设计比较灵活。
三维存储器制作方法

[发明专利]一种3D NAND存储器件及其制造方法-CN201910569180.8有效
发明人：王攀;耿静静;王香凝;罗流洋;张慧;肖梦;赵新梅 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2019-06-27 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： H01L27/11524 文献下载
摘要：本发明提供一种3D NAND存储器件及其制造方法，在堆叠层中形成有沟道孔以及在沟道孔的侧壁上形成存储功能层、沟道层，而后，在沟道孔的侧壁上、沟道层上形成应力介质层，而后，在沟道孔中形成填充介质层。这样，沟道层上的应力层可以向沟道层提供应力作用，进而提高沟道层中载流子的迁移率，为器件提供更高的驱动电流，提高器件性能。
一种 nand 存储器件及其制造方法

[发明专利]一种三维存储器的形成方法及三维存储器-CN201910579220.7有效
发明人：陈涛;吴佳佳;王香凝;耿静静;杨川 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： H01L27/11578 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种三维存储器的形成方法及三维存储器，其中，方法包括：在衬底之上沉积形成第一叠层结构；对所述第一叠层结构进行刻蚀，直至刻蚀到所述衬底与所述第一叠层结构的交界位置为止；在刻蚀后的第一叠层结构上形成所述三维存储器。
一种三维存储器形成方法

[发明专利]3D存储器件及其制造方法-CN202010040592.5在审
发明人：肖梦;耿静静;王攀;吴佳佳;王香凝;张慧;刘新鑫 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2020-01-15 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： H01L27/11524 文献下载
摘要：公开了一种3D存储器件及其制造方法。器件包括：半导体衬底；位于所述半导体衬底之上的叠层结构；贯穿所述叠层结构的多个沟道柱和多个假沟道柱；以及多个第一外延结构和多个第二外延结构，其中，所述多个栅极导体包括设置在所述多个沟道柱和所述半导体衬底之间的底部选择栅极，所述多个第一外延结构贯穿所述底部选择栅极且所述多个第二外延结构未贯穿所述底部选择栅极。本申请的3D存储器件，第二区域去除了底部选择栅极，避免了假沟道柱与底部选择栅极之间的漏电情况，并且衬底的第一区域低于第二区域，因此在形成假沟道孔时不容易出现蚀刻不到位的情况，提高了器件的良率和可靠性。
存储器件及其制造方法