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- [实用新型]一种新型粉末化学气相镀膜装置-CN202320917988.2有效
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刘彦峰;赖海斌;陈斌;林秀芳;王韫宇
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厦门韫茂科技有限公司
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2023-04-21
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2023-09-05
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C23C16/44
- 本实用新型提供一种新型粉末化学气相镀膜装置，该装置包括反应器和搅拌器；所述反应器设有内部反应腔以及输送粉末颗粒的进料管路和出料管路；所述搅拌器包括动力件以及与动力件相连接的搅拌组件，所述搅拌组件用于搅动反应腔内的粉料主体；所述反应器至少外接连通反应源管路、吹粉管路以及抽气管路；所述反应源管路适于输入镀膜气体至反应器内，对应覆膜至搅拌中的粉末颗粒的外表面；所述抽气管路用于将反应腔的气体抽离至外界；所述吹粉管路输入气流至反应腔内，适于将搅拌组件以及反应腔内壁所附着的粉末颗粒吹落回粉料主体中。从而，具备有高产能、可规模化生产等显著特性，结构简单，加工难度低，可实现粉末镀膜的规模化生产。
- 一种新型粉末化学镀膜装置
- [实用新型]一种防粘型粉末气相镀膜装置-CN202320918196.7有效
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刘彦峰;赖海斌;陈斌;林秀芳;王韫宇
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厦门韫茂科技有限公司
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2023-04-21
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2023-09-05
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C23C16/455
- 本实用新型提供一种防粘型粉末气相镀膜装置，该装置包括外腔体、内腔体、旋转轴以及样品桶；样品桶安装在旋转轴上，该装置的第一管路外接设有反应源气路和第一吹粉气路，反应源气路适于输入镀膜气体至处于转动状态的样品桶内，对应覆膜至桶内粉末颗粒的外表面；第二管路外接设有抽气气路和第二吹粉气路，抽气气路用于将第二密封空间的镀膜气体抽离至外界，并由第一吹粉气路和第二吹粉气路沿各自管路分别输入气流至处于转动状态的样品桶内，用于将沾黏在样品桶内壁上的粉末颗粒快速吹落。从而，样品桶的旋转使粉末颗粒在镀膜制程中具有良好的分散效果，同时多管路的不同方向的高流速的气流吹扫，达到粉末颗粒镀膜制程中防沾的效果。
- 一种防粘型粉末镀膜装置
- [外观设计]用于原子层沉积设备控制图形用户界面的显示屏幕面板-CN202230391320.X有效
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王韫宇;郭兴升
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厦门韫茂科技有限公司
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2022-06-24
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2022-11-15
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14-04
- 1.本外观设计产品的名称：用于原子层沉积设备控制图形用户界面的显示屏幕面板。2.本外观设计产品的用途：用于原子层沉积设备的人机交互及显示。3.本外观设计产品的设计要点：在于图形用户界面显示的内容。4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。5.非设计要点，省略后视图、左视图、右视图、俯视图和仰视图。6.图形用户界面的用途：提供多种模式的配方设定、存储、下载，用户可以根据界面编写多种复合生长材料的配方，在运行过程中对工艺数据进行实施修改，并对控制系统发出远程手动/自动控制命令。7.图形用户界面的人机交互方式：主视图为进入软件的首界面，主视图中“Cycle”上方为数字，表示软件运行的剩余生长圈数；点击主视图上方的“User Login”进入界面变化状态图 1；在界面变化状态图 1 的弹出框中输入用户名和密码，点击“log in”进入界面变化状态图 2；在界面变化状态图 2 选择一个“Recipe A”或者“Recipe B”点击进入，会进入界面变化状态图 3‑8 中的一个界面；点击界面变化状态图 3‑8 任一界面中“Cycle”上方的数字进入界面变化状态图 9；在界面变化状态图 9 中的弹出框中输入数值后，将返回上一个界面变化状态图的界面，点击所返回界面中的绿色按钮，开始生长工艺；点击界面变化状态图 2‑8 任一界面中下方的“Manual”，可进入界面变化状态图 10；点击界面变化状态图 2‑8 任一界面中下方的“Monitor”，可进入界面变化状态图 11；点击界面变化状态图 2‑8 任一界面中下方的“Setting”，可进入界面变化状态图 12；点击界面变化状态图 2‑8 任一界面中下方的“Alarm”，可进入界面变化状态图 13。8.本图形用户界面的外观设计应用于原子层沉积设备的操控屏幕或者电脑屏幕。
- 用于原子沉积设备控制图形用户界面显示屏幕面板
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