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[发明专利]一种晶体滤波器及其制作方法-CN202310659471.2在审
发明人：张秋艳;刘小光;甘家健;郑文强;段友峰;崔巍;王作羽;哈斯图亚;王丽 -专利权人：北京无线电计量测试研究所
申请日： 2023-06-05 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H03H9/19 文献下载
摘要：本申请实施例公开一种晶体滤波器及其制作方法，滤波器包括：第一基座、第一单片晶体滤波器和第二单片晶体滤波器；第一单片晶体滤波器和第二单片晶体滤波器分别包括：第二基座和结合固定在第二基座上的石英振子，第二基座包括有第一引脚、第二引脚和第三引脚，第一引脚、第二引脚和第三引脚分别与石英振子连接；第一单片晶体滤波器的第一引脚和第二单片晶体滤波器的第一引脚分别作为晶体滤波器的输入端和输出端，第一单片晶体滤波器的第二引脚和第二单片晶体滤波器的第二引脚连接且分别与耦合电容的输入端连接。本发明大大减少了组成滤波器所用的构件数量，从而大大减小了滤波器的体积，提高了滤波器的抗振性和可靠性，可完成高精度的滤波功能。
一种晶体滤波器及其制作方法

[发明专利]小电压驻波比的中等带宽晶体滤波器及其参数生成方法-CN202211732759.X在审
发明人：张秋艳;刘小光;郑文强;段友峰;甘家健;王作羽;王丽;尹志英 -专利权人：北京无线电计量测试研究所
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H03H9/46 文献下载
摘要：本说明书公开了一种小电压驻波比的中等带宽晶体滤波器及其参数生成方法，包括：石英晶体谐振器包括2个格形网络，格形网络包括1个高频晶体谐振器和1个低频晶体谐振器，用于输入和输出信号的频率控制；1个级间耦合电容，设置于2个格形网络之间，用于滤波器通带带宽的展宽；2个差接变量器电感线圈和2个耦合电容，分别设置于2个格形网络边缘，用于格形网络特性阻抗与端接阻抗的匹配，差接变量器用于阻抗变换，耦合电容与电感线圈谐振，使输入端的电信号需要保留的部分通过输出端无失真的输出。本发明通过确定的设计流程及设计方法，有效提高了晶体滤波器的通带带宽，减小了电压驻波比，实现了一种高性能小电压驻波比的中等带宽晶体滤波器。
电压驻波中等带宽晶体滤波器及其参数生成方法

[发明专利]一种频率测量方法和系统-CN202211499599.9在审
发明人：睢建平;齐华;刘小光;王作羽;郑文强 -专利权人：北京无线电计量测试研究所
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明实施例公开一种频率测量方法和系统，该方法的步骤包括：对预置有晶片的测量设备进行调试；利用调试好的测量设备对晶片进行测量，获得晶片的厚度；根据晶片的厚度进行频率换算，获得晶片的频率。本申请所述方案能够提高晶片的测量精度，提高晶片的频率测算范围。
一种频率测量方法系统

[发明专利]一种高基频石英晶体的化学减薄加工方法、系统、设备-CN202211732797.5在审
发明人：张秋艳;郑文强;刘小光;段友峰;崔巍;李霞;徐玉凤;耿春;王作羽;哈斯图亚 -专利权人：北京无线电计量测试研究所
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C30B33/10 文献下载
摘要：本说明书公开了一种高基频石英晶体的化学减薄加工方法、系统、设备，涉及石英晶体材料的加工领域，旨在解决传统晶体加工方法工艺难度大，周期长，频率低且频率难以控制的问题。本发明方法包括：获取待化学减薄加工的石英晶片，按照频率进行分档并按频率档次进行清洗、烘干；将烘干后的石英晶片重新分档，分档后进行腐蚀，测试腐蚀的石英晶片的频率，并计算石英晶片腐蚀到目标频率所需要的腐蚀时间；根据腐蚀时间，重新选取石英晶片进行腐蚀；石英晶片腐蚀结束后，获取石英晶片的频率，若石英晶片外观无异常，则完成石英晶片的化学减薄加工。本发明可以减少研磨带来的机械损伤，得到更高的频率、极低的表面粗糙度值和很高的面形精度的石英晶体。
一种基频石英晶体化学加工方法系统设备

[发明专利]一种用于石英晶体方片的外形修改方法-CN202011589117.X有效
发明人：睢建平;郑文强;崔巍;段友峰;王作羽 -专利权人：北京无线电计量测试研究所
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于石英晶体方片的外形修改方法，该方法的具体步骤为：步骤1、对晶片进行粘坨处理，形成晶片坨；步骤2、对所述晶片坨进行研磨，直至尺寸达到要求；步骤3、将所述晶片坨中的晶片分离并进行处理。本发明解决了传统外形修改通常需要制作新的石英晶体方片，在制作过程中修改尺寸，此方法存在制作周期长、成本高的问题。本发明提出了一种石英晶体方片的外形修改方法，具有制作周期短、加工方便、成本低的优势。
一种用于石英晶体外形修改方法

[发明专利]用于石英晶体的等离子体刻蚀方法-CN202111659811.9在审
发明人： 王作羽;潘立虎;郑文强;段友峰;崔巍;叶林;刘小光;王莉;睢建平;高远;张秋艳 -专利权人：北京无线电计量测试研究所
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H01L41/332 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于石英晶体的等离子体刻蚀方法。该刻蚀方法包括：对衬底和掩蔽块进行选择，并将所述衬底设置于所述刻蚀腔内；将待刻蚀的石英晶体放置于所述衬底上，并根据需要将所述掩蔽块放置于所述石英晶体上；根据所述石英晶体的刻蚀深度需求，在所述刻蚀机上对刻蚀气体的种类、反应气体的体积混合比、刻蚀气体的流速、刻蚀腔的压强以及等离子体的功率进行控制，此后，开启所述刻蚀机以对所述石英晶体进行刻蚀。本发明不仅能够对石英晶体进行整体或者局部刻蚀，还能够保证刻蚀得到的石英晶体的精度和强度。
用于石英晶体等离子体刻蚀方法

[发明专利]小型高频差分晶振的设计方法-CN202111662736.1在审
发明人：张秋艳;郑文强;段友峰;刘小光;睢建平;王作羽 -专利权人：北京无线电计量测试研究所
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H01L41/338 文献下载
摘要：本发明公开了一种小型高频差分晶振的设计方法。该设计方法包括：步骤S1：根据设计参数要求，对小型高频差分晶振的基座、差分芯片、石英晶片以及金属盖板进行选取；步骤S2：确定差分芯片与基座的连接及键合位置，对差分芯片和基座进行布局布线，并将差分芯片固定于基座；步骤S3：对石英晶片进行切割；步骤S4：在石英晶片上镀上电极膜以形成石英振子；步骤S5：将石英振子固定于基座；步骤S6：利用金属盖板，将组装在一起的基座、差分芯片以及石英振子封装在一起形成小型高频差分晶振；步骤S7：对小型高频差分晶振的性能参数进行测试。本发明可以缩短小型高频差分晶振的设计时间，提高其设计效率和设计精确度。
小型高频差分晶振设计方法

[发明专利]一种用于安装石英晶片的基座-CN201611161924.5有效
发明人：周伟平;段友峰;潘立虎;叶林;郑文强;刘小光;王作羽;哈斯图亚 -专利权人：北京无线电计量测试研究所
申请日： 2016-12-15 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： H03H9/05 文献下载
摘要：本申请公开了一种用于安装石英晶片的基座，解决传统石英晶片在高冲击环境下易与基座脱离的问题。所述用于安装石英晶片的基座包括缓冲结构，为L形，内侧环绕晶片点胶胶点90度弧长，外侧与所述台阶衔接。本申请还公开一种石英晶片安装方法，用于本发明用于安装石英晶片的基座中带有四个缓冲结构的实施例，包含以下步骤：在基座内部四个角区域中，两个电极位置和两个非电极区域进行点胶；将石英晶片压置于导电胶上；在四个导电胶位置隔着晶片再次点胶。本发明在出现高冲击环境时，若晶片在冲击方向出现微位移，缓冲装置发生作用，对导电胶与晶片进行限定，阻止微位移继续增大，防止晶片与导电胶脱离，达到缓冲高冲击的作用。
一种用于安装石英晶片基座

[发明专利]一种石英晶片的电参数测试装置-CN201811561611.8在审
发明人：睢建平;哈斯图亚;张磊;潘立虎;郑文强;段友峰;崔巍;王作羽;刘小光 -专利权人：北京无线电计量测试研究所
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明公开一种石英晶片的电参数测试装置，包括：底座及下电极支撑平台、上盖及上电极支撑平台、下电极板、上电极板、测试探针、操作手柄、复位弹簧、复位弹簧固定板、固定螺丝，所述的上盖及上电极支撑平台平放在底座及下电极支撑平台内的底面上，所述的上盖及上电极支撑平台通过固定螺丝安装在底座及下电极支撑平台上，所述的固定螺丝上有螺纹孔。本发明通过在装置底座的石英晶片测试槽和上盖的电极板位安装电极板，以及电极板和测试探针的焊接连接，实现石英晶片上下电极与测试仪器的可靠电连接，更准确的进行石英晶片的电参数测试。通过在装置上安装带有操作手柄和复位弹簧，方便了石英晶片的取放，提高石英晶片的效率。
石英晶片上盖电参数测试电极支撑复位弹簧固定螺丝支撑平台电极板下电极底座操作手柄测试探针测试仪器焊接连接上下电极下电极板装置底座测试槽电连接固定板螺纹孔极板取放上电

[发明专利]一种石英晶体谐振器及其制作方法-CN201610269551.7有效
发明人：崔巍;潘立虎;叶林;周伟平;郑文强;王作羽;刘小光;哈斯图亚 -专利权人：北京无线电计量测试研究所
申请日： 2016-04-27 - 公布日： 2018-09-25 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种石英晶体谐振器，用以缓解现有技术中的石英晶体谐振器产生的频率老化问题。该石英晶体谐振器包括：上电极、下电极以及石英晶片。所述上电极，包括：上电极衬底、上电极金属膜以及上电极金属引线；所述上电极衬底由绝缘材料制成；所述上电极衬底与所述下电极，分别设置在所述石英晶片的相对的两侧；所述上电极金属膜附着于所述上电极衬底；所述上电极金属膜位于所述上电极衬底与所述石英晶片之间，且所述上电极金属膜与所述石英晶片之间存在空隙；所述上电极金属引线，设置在所述上电极衬底与所述石英晶片之间存在的空隙中；所述上电极金属引线与所述上电极金属膜相连接。申请还公开了一种石英晶体谐振器的制作方法。
一种石英晶体谐振器及其制作方法

[发明专利]一种石英谐振器的制作方法-CN201610269557.4有效
发明人：崔巍;潘立虎;叶林;周伟平;郑文强;王作羽;刘小光;王莉;哈斯图亚;李国强 -专利权人：北京无线电计量测试研究所
申请日： 2016-04-27 - 公布日： 2018-09-25 - 主分类号： H03H3/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种石英谐振器的制作方法，包括：通过将上下电极与石英晶片悬离，消除金属膜附着在石英晶片表面所产生的内应力，同时也排除了由于蒸镀或溅镀时使用的真空油泵散发的油气对石英晶片产生污染引起的石英谐振器输出频率不稳定。同时在封装是采用真空技术，将石英晶片内部的水、氧化物等杂质排出，有效降低外界环境对石英晶片的影响，提高石英谐振器输出频率的稳定性。
一种石英谐振器制作方法

[发明专利]一种石英晶体谐振器及其制作方法-CN201610269245.3有效
发明人：崔巍;潘立虎;叶林;周伟平;郑文强;王作羽;刘小光;哈斯图亚 -专利权人：北京无线电计量测试研究所
申请日： 2016-04-27 - 公布日： 2018-09-25 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种石英晶体谐振器，用以缓解现有技术中的石英晶体谐振器产生的频率老化问题。该石英晶体谐振器包括：上电极、下电极以及石英晶片。所述下电极，包括：下电极衬底、下电极金属膜以及下电极金属引线；所述下电极衬底由绝缘材料制成；所述下电极衬底与所述上电极，分别设置在所述石英晶片的相对的两侧；所述下电极金属膜附着于所述下电极衬底；所述下电极金属膜位于所述下电极衬底与所述石英晶片之间，且所述下电极金属膜与所述石英晶片之间存在空隙；所述下电极金属引线，设置在所述下电极衬底与所述石英晶片之间存在的空隙中；所述下电极金属引线与所述下电极金属膜相连接。申请还公开了一种石英晶体谐振器的制作方法。
一种石英晶体谐振器及其制作方法

[发明专利]一种石英谐振器-CN201610268746.X有效
发明人：崔巍;潘立虎;叶林;周伟平;郑文强;王作羽;刘小光;王莉;哈斯图亚;李国强 -专利权人：北京无线电计量测试研究所
申请日： 2016-04-27 - 公布日： 2018-09-25 - 主分类号： H03H9/19 文献下载
摘要：本申请公开了一种石英谐振器，包括：通过石英晶片与镀有金属膜的下电极之间悬离；和/或，石英晶片与镀有金属膜的上电极之间悬离，使得石英谐振器中石英晶片与上下电极上的金属膜分离，有效地解决了由于石英谐振器中上、下电极对应的金属膜被附着在石英晶片表面使得金属膜内表面和石英晶体外表面形成内应力进而该内应力引发石英谐振器的振荡频率发生漂移的问题，提升石英谐振器输出振荡频率的稳定性。
一种石英谐振器

[发明专利]一种晶体谐振器及其制备方法-CN201610269246.8有效
发明人：崔巍;潘立虎;叶林;周伟平;郑文强;王作羽;刘小光;哈斯图亚 -专利权人：北京无线电计量测试研究所
申请日： 2016-04-27 - 公布日： 2018-07-17 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶体谐振器及其制备方法。该晶体谐振器包括：晶体振荡晶片和固定装置，其中：晶体振荡晶片的边缘上设置有晶片定位结构块，固定装置上设置有与晶体定位结构块匹配的晶片定位缺口，通过将晶片定位结构块放置于晶片定位缺口中，实现晶体振荡晶片与固定装置之间的衔接。相比于现有技术，本发明提供的晶体谐振器中的晶体振荡晶片结构中增加了晶片定位结构块，以及在固定装置上相应地设计了晶片定位缺口，通过该晶片定位结构块和晶片定位缺口，实现了晶体振荡晶片与固定装置之间的衔接，解决了现有技术利用导电胶将晶体振荡晶片与基座固定时，由于导电胶的粘附作用在晶体振荡晶片上产生的应力造成晶体谐振器的工作性能相对较低的问题。
晶片定位晶体振荡晶片晶体谐振器固定装置结构块导电胶制备定位结构工作性能技术利用晶片结构衔接块匹配粘附

[发明专利]一种石英晶体的激光刻蚀加工方法-CN201610018285.0有效
发明人： 王作羽;叶林;周伟平;郑文强;崔巍;睢建平;段友峰;刘小光;牛磊 -专利权人：北京无线电计量测试研究所
申请日： 2016-01-12 - 公布日： 2018-04-03 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：本发明公开一种石英晶体的激光刻蚀加工方法，具体包括如下步骤选择激光、准备控制软件、设计加工图纸、激光刻蚀、加工后处理和检测，同时，结合对各步骤条件的限定，设计出了一种加工石英晶体的方法，该加工方法可有效的将石英晶体加工成各种形状，且可对石英晶体进行减薄加工，减薄后的石英晶体厚度薄，对应的基频频率高，且加工后的石英晶体强度好，该加工方法简单，加工精度高，对石英晶体加工的尺寸精度可控制在±5μm内。
一种石英晶体激光刻蚀加工方法

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