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- [发明专利]一种氮化硅坩埚的制作方法-CN201510131149.8有效
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郭大为;徐晨友;吕东;柏小龙
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烟台同立高科新材料股份有限公司
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2015-03-24
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2016-09-14
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C04B35/584
- 本发明涉及一种氮化硅坩埚的制作方法,包括向氮化硅粉体中加入纯水和无水乙醇,得浆料,加入氮化硅晶种和碳化硅,搅拌15‑18小时,控制浆料平均粒度为0.5‑0.7um,将聚乙烯醇加入到浆料中,搅拌2‑3小时,无气泡时停止搅拌;将浆料喷雾造粒,得喷雾造粒粉,将喷雾造粒粉,利用方形橡胶模具成型,得氮化硅生坯,将5块成型后的氮化硅生坯放入烧结炉内等静压烧结,得到5块边缘设有卡槽与卡凸的方形氮化硅烧结熟坯,按卡凸配合的方式连接成氮化硅坩埚。本发明大大提高了生产的安全性,在生产同样重量的原料硅料情况下,电能消耗降低百分之10,由于烧结助剂内不存在金属杂质,使得原料硅料结晶后的硅晶成品能提高百分之5,成本大大低于使用石英材质坩埚的成本。
- 一种氮化坩埚制作方法
- [发明专利]一种高质量低氧低铁氮化铝粉末的合成方法-CN201510890072.2在审
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郭大为;吕东;陈成
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烟台同立高科新材料股份有限公司
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2015-12-04
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2016-03-16
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C01B21/072
- 本发明涉及一种高质量低氧低铁氮化铝粉末的合成方法,包括:将铝粉、氮化铝和铵盐按质量比(5~10):(10~40):1混合均匀,得混合物,将混合物均匀撒在氮化铝陶瓷匣钵内,再将碳粉均匀的撒在混合物的表层,铝粉与碳粉的质量比为60:1~180:1,将反应器用真空泵抽真空至1×10-4MPa,将装好料的氮化铝陶瓷匣钵放入反应器腔体内,通入预处理后的氮气,在5~8MPa下保持15~30min,使氮气充分扩散与铝粉接触,点火,进行自蔓延高温合成,所得反应物冷却后即为高质量低氧低铁氮化铝粉末。本发明通过添加碳粉、反应器预先抽真空、处理氮气、预先通入氮气到反应器中并在高压下保持15~30min使其充分扩散与Al粉接触破除反应壁垒,本方法能耗低、效率高和除氧效果显著。
- 一种质量低氧氮化粉末合成方法
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