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[实用新型]一种高纯N-乙基吡咯烷酮的制备装置-CN202223605018.3有效
发明人：文汉涛;高家勇;王勇军 -专利权人： 漳州思美科新材料有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： B01D61/36 文献下载
摘要：本实用新型涉及化工制备的技术领域，公开了一种高纯N‑乙基吡咯烷酮的制备装置，包括：前处理结构、渗透汽化结构以及后处理结构；在本实用新型中，采用了渗透汽化技术，不会引入其他杂质，只会将杂质去除，环保清洁，可以高效地将工业级溶剂中的残留乙胺、水、金属离子去除，相比传统技术中采用的多级精馏法，本实用新型采用方案的能耗低，设备成本低，装置体积小、占地面积小，生产的配套维护成本低，解决了现有技术中多级精馏法能耗大的问题。
一种高纯乙基吡咯烷酮制备装置

[实用新型]一种用于高粘度液体的恒温网式过滤装置-CN202320100769.5有效
发明人：文汉涛;高家勇;王勇军 -专利权人： 漳州思美科新材料有限公司
申请日： 2023-02-02 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： B01D29/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及过滤装置的技术领域，公开了一种用于高粘度液体的恒温网式过滤装置，包括：过滤结构、搅拌结构、加热保温结构；本实用新型采用多级微孔不锈钢滤网过滤工艺，滤网耐酸、耐碱、耐高温、拉力和耐磨性强，相比于原有的多级过滤技术，成本更低，能有效减少溶剂中微纳米级颗粒物含量，大大降低溶剂提炼难度，拓展了可用于精密制程的溶剂种类，并且设置了搅拌结构对液体混合搅拌均匀，避免形成局部过热或者颗粒物聚集堵塞滤网，解决了现有技术采用高温高压过滤方式的成本较高的问题。
一种用于粘度液体恒温过滤装置

[实用新型]一种晶圆的双面同步清洗和甩干装置-CN202223372885.7有效
发明人：李嘉利;高家勇;王勇军 -专利权人： 漳州思美科新材料有限公司
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆的双面同步清洗和甩干装置，包括作业箱以及设置在作业箱内部的晶圆片夹持机构和，所述作业箱还包括箱盖、喷嘴、排液管和进液管，所述进液管通过内部导管连接喷嘴，所述晶圆片夹持机构包括转台、电动机以及设置在转台上的滑槽、橡胶垫和弧形夹片，所述弧形夹片通过滑槽与转台滑动连接，所述电动机驱动连接转台，所述喷嘴包括设置在箱盖内壁上的上喷嘴和设置在转台表面的下喷嘴；本实用新型的有益效果：利用弧形夹片对晶圆的两侧凹槽进行定位和夹持，可同时对晶圆的上下两面进行清洗或甩干，大大提高作业效率。
一种双面同步清洗装置

[实用新型]一种防倒吸的显影实验装置-CN202223373006.2有效
发明人：李嘉利;高家勇;王勇军 -专利权人： 漳州思美科新材料有限公司
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防倒吸的显影实验装置，包括设有开口的外壳、以及设置在外壳内部的作业箱、液体保温瓶、电动机、抽气泵和旋转托盘，所述作业箱还包括箱盖、设置在箱盖外部的输液泵和设置在箱盖内部的出液喷头，所述液体保温瓶通过输液管与输液泵连接，所述抽气泵的进气端和出气端分别设置吸气管和出气管，所述旋转托盘通过吸气管与抽气泵连接，且吸气管上设有缓冲瓶，所述出气管连接至外壳外部，所述旋转托盘设置在作业箱的内腔，并通过电动机驱动，所述电动机设在作业箱的底部；本实用新型的有益效果：通过对缓冲瓶内液体的液位监测，可以防止电子化学品被抽入抽气泵中而损坏抽气泵，对实验装置起到了保护作用。
一种防倒吸显影实验装置

[实用新型]高沸点二元酸酯类溶剂纯化装置-CN202222603178.8有效
发明人：文汉涛 -专利权人： 漳州思美科新材料有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： B01D36/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种高沸点二元酸酯类溶剂纯化装置，包括依次管道连接的原料罐、微米过滤器、过滤组件以及收集池，所述过滤组件包括依次串联的金属吸附器、除水器和纳滤器，所述除水器的进水口与金属吸附器的出口相连，所述收集池进水口与所述纳滤器的出水口相连。所述过滤器和金属吸附器之间、金属吸附器和除水器之间、除水器和纳滤器之间均设置有液体泵。利用吸附器吸附杂物质，再利用一定孔径的膜过滤颗粒物。且除去金属离子杂质，体系密闭，减少人为因素引入颗粒物或杂质。可以获得纯度在99%以上，且低颗粒物和低金属离子含量的高沸点二元酸酯类溶剂，满足半导体制程的需要。且整个工艺流程便于工业化，操作简单，容易规模化扩大生产。
沸点二元酸溶剂纯化装置

[实用新型]水分在线检测与吸收的光刻胶生产罐装设备-CN202222487512.8有效
发明人：康凯;康威;陈旺;覃伯成 -专利权人： 漳州思美科新材料有限公司
申请日： 2022-09-20 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： B67C3/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种水分在线检测与吸收的光刻胶生产罐装设备，包括搅拌釜和设在搅拌釜上的搅拌机构，所述搅拌釜的底部设有出液管，所述出液管设有罐装管路和循环支管，所述循环支管的另一端与搅拌釜顶部连通；所述循环支管上设有并联的第一支管和第二支管，所述第一支管和第二支管上还分别设有在线微波水分检测仪和分子筛水分过滤器；所述第一支管、第二支管和罐装管路分别设有阀门。
水分在线检测吸收光刻生产罐装设备

[实用新型]一种二次过滤的醇醚类溶剂制备装置-CN202222719704.7有效
发明人：文汉涛;王勇军;李嘉利;李有为 -专利权人： 漳州思美科新材料有限公司
申请日： 2022-10-17 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： B01D3/14 文献下载
摘要：本申请涉及一种二次过滤的醇醚类溶剂制备装置，包括进料端与该络合装置出料端连通的脱水装置；蒸馏塔，该蒸馏塔顶部连通有用于储存蒸馏过程杂质的第一收集池；第一过滤器，该第一过滤器的进料端与所述蒸馏塔的出料端连通；第一精馏塔，该第一精馏塔的进料端与所述第一过滤器的出料端连通；第二精馏塔，该第二精馏塔的进料端与所述第一精馏塔的出料端连通，且第二精馏塔和上述第一精馏塔底部连通有用于储存精馏过程杂质的第二收集池；第二过滤器，该第二过滤器的进料端与所述第二精馏塔的出料端连通；成品池，该成品池的进料端与所述第二过滤器出料端连通；液泵，该液泵连接在各个装置相通管路间。本申请达成了高效过滤提纯高和中和脱水的效果。
一种二次过滤醇醚类溶剂制备装置

[发明专利]基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法及装置-CN202211532683.6有效
发明人：高家勇;谭黎霞 -专利权人： 漳州思美科新材料有限公司
申请日： 2022-12-02 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明涉及人工智能领域，公开了一种基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法及装置，用于实现自动化生产光阻剥离剂以及提高光阻剥离剂的药剂配比精确度。所述方法包括：对多个第一加料点集群进行药液流量添加状态监控，得到药液流量状态数据，并根据每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据确定第一药液量；根据目标生产量设置药液量阈值，并判断第一药液量是否超过药液量阈值，得到判断结果；根据判断结果和配比数据生成第二原料定量控制策略；根据第二原料定量控制策略从多个第一加料点集群中选取第二加料点集群，控制第二加料点集群进行药液流量添加并实时计算第二药液量，直至第二药液量符合目标生产量，得到目标光阻剥离剂。
基于剥离生产原料自动定量控制方法装置

[实用新型]一体式面板蚀刻废液破络合处理装置-CN202222808482.6有效
发明人：李嘉利;王勇军;康威 -专利权人： 漳州思美科新材料有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： C02F1/72 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种一体式面板蚀刻废液破络合处理装置，包括废液输入管、反应罐、废气输出管、抽气泵，所述反应罐的外壁为双层中空式结构，所述反应罐的外壁上设置有与中空层连通的冷却/加热输出口和冷却/加热输入口，所述反应罐还包括设置在反应罐底部的废液输出管、设置在反应罐顶部的加料口、搅拌机以及ORP/pH一体检测仪，所述反应罐的内壁设置有数个紫光灯，所述抽气泵与废气输出管连通，本实用新型的有益效果：能够有效降低现有处理工艺中除过氧化氢所需要的加碱液的物料成本和后续破络合反应中需要更大量的芬顿试剂的物料成本；更有效地产生破络合所需的羟基自由基；更好地控制反应温度；更好地控制反应器压强并能及时处理反应产生的废气。
体式面板蚀刻废液络合处理装置

[实用新型]一种基于光刻胶生产设备的气泡检测装置-CN202222065633.3有效
发明人：康凯;陈旺;康威;覃伯成 -专利权人： 漳州思美科新材料有限公司
申请日： 2022-08-08 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： G01V8/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于光刻胶生产设备的气泡检测装置，包括搅拌釜，所述搅拌釜的底部设置有出液管路，所述出液管路设置有两个支管，分别为循环管路和灌装管路，所述循环管路的另一端与搅拌釜的顶部连通，所述搅拌釜顶部设置有真空泵和入料口，所述出液管路上设置有输送泵、手动阀A取样口、手动阀B取样口和气泡检测传感器A，所述灌装管路上设置有气泡检测传感器B，本实用新型的有益效果：通过设置在出液管路上的气泡检测器可以检测到灌装过程中的气泡，然后引发警报，在第一时间停止灌装，利用真空泵和搅拌机构的负压将气泡排出，从而实现降低了光刻胶内部残留气泡的可能性和机率。
一种基于光刻生产设备气泡检测装置

[实用新型]狭缝风刀显影控制装置-CN202222069273.4有效
发明人：康凯;陈旺;康威;覃伯成 -专利权人： 漳州思美科新材料有限公司
申请日： 2022-08-08 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种狭缝风刀显影控制装置，包括显影机腔体以及显影机腔体内部设置的旋转显影组件和狭缝风刀组件，所述旋转显影组件包括设置于上部的喷头模块和旋转模块，所述喷头组件包括显影液喷头和去离子水喷头，所述旋转组件包括旋转马达和设置于旋转马达上的旋转平台，所述狭缝风刀组件设置于显影机腔体上部，斜对着旋转平台。本实用新型增加了狭缝风刀，通过干燥空气将显影液和水去除，增强去除效果，配合显影降低转速，减少光刻胶底部的药液渗入。
狭缝显影控制装置

[发明专利]负型光刻胶组合物及其形成的隔离物-CN202210789062.X在审
发明人：陈旺;高家勇;谭黎霞 -专利权人： 漳州思美科新材料有限公司
申请日： 2022-07-06 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明涉及一种负型光刻胶组合物及其形成的隔离物，含有碱可溶光固化聚氨酯树脂和碱可溶丙烯酸酯类单体，以及其聚氨酯树脂的合成方法。所使用的单体聚合用单体必须含有选自以下的至少一种：TDI异氰酸酯三聚体，HDI异氰酸酯三聚体以及必须含有选自以下的至少一种：丙烯酸羟乙酯、丙烯酸羟丙酯、丙烯酸羟丁酯、甲基丙烯酸羟乙酯、甲基丙烯酸羟丙酯、甲基丙烯酸羟丁酯；另外必须含有二羟甲基丙酸。以及为保证分子量分布较小，以及羧基分布均匀，聚合工艺的控制中，二羟甲基丙酸必需先于丙烯酸单体加入。在形成固化膜时，聚氨酯树脂可提高固化膜的弹性恢复率，从而提高器件的使用寿命。
光刻组合及其形成隔离

[发明专利]正型光刻胶组合物和固化膜及其合成方法-CN202210788811.7在审
发明人：陈旺;高家勇;谭黎霞 -专利权人： 漳州思美科新材料有限公司
申请日： 2022-07-06 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：本发明涉及一种正型光刻胶组合物和固化膜及其合成方法，包括有机溶剂和溶解在有机溶剂中的溶质，所述溶质包括含有侧位环氧基和末端羧基丙烯酸酯共聚物、重氮萘醌类化合物和表面活性剂，所述含有侧位环氧基和末端羧基丙烯酸酯共聚物由丙烯酸缩水甘油酯，3，4‑环氧环己基丙烯酸酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、3，4‑环氧环己基甲基丙烯酸酯和不能含有不饱和羧酸单体中的一种或多种单体聚合而成，聚合反应中使用热聚合引发剂偶氮二氰基戊酸。在形成固化膜时，聚合物中的侧位环氧基和末端羧基可提高在显影液中的溶解度，提高分辨率。
光刻组合固化及其合成方法

[发明专利]一种CuNi-Al-Mo蚀刻液-CN202111000708.3在审
发明人：王雪刚;凌丽靖;罗志华 -专利权人： 漳州思美科新材料有限公司
申请日： 2021-08-30 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： C23F1/18 文献下载
摘要：本发明公开一种CuNi‑Al‑Mo蚀刻液，包含：硝酸、硫酸、有机酸、硝酸盐化合物和助剂；其中，按重量百分比计，硝酸的含量为2wt％，硫酸的含量为12wt％，有机酸的含量为25wt％‑40wt％，硝酸盐化合物的含量为1.8wt％‑3.2wt％，助剂的含量为0.05wt％‑0.3wt％，其余为水。本发明可有效降低CuNi金属层的蚀刻速率及侧向蚀刻造成的CD Loss，能同时满足最上层的CuNi金属层图案不被过蚀刻。
一种 cuni al mo 蚀刻

[发明专利]一种PI膜剥离液及其制备方法和剥离方法-CN202110994459.8在审
发明人：王雪刚;凌丽靖 -专利权人： 漳州思美科新材料有限公司
申请日： 2021-08-27 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种PI膜剥离液，按重量百分比计，由以下组分配制而成：10‑20％有机醇胺、4‑12％季铵碱、45‑60％醇类有机溶剂、0.5‑2.0％非离子型表面活性剂以及补足余量的纯水。本发明还公开了上述PI膜剥离液的制备方法，以及上述PI膜剥离液使用时的剥离方法。本发明弥补了PI膜剥离液研究的空白，其配方组分常见，配制步骤简单，溶液颗粒物少，可以实现快速剥离PI膜，不会使PI膜过度溶胀破坏金属布线图案，不会腐蚀金属布线图案和金属基板，成本低且环保。
一种 pi 剥离及其制备方法

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