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[发明专利]汽化器-CN201180062075.7有效
发明人：楠原昌树;梅田优;深川满;都田昌之 -专利权人：株式会社渡边商行;楠原昌树;梅田优;都田昌之
申请日： 2011-12-21 - 公布日： 2013-10-30 - 主分类号： H01L21/31 文献下载
摘要：本发明提供的是可减少膜的波纹，微粒，和碳含量且可供应可形成具有期望组成的膜的原材料的汽化器。此外，提供无需额外加热可实施足够汽化的汽化器且可改善温度管理。汽化器包括成膜用液体材料分散于其中的载体气体所被导入的汽化器主体（3）和配置于汽化器主体内的加热器主体（4）。加热器主体的入口部分的形状为圆锥。
汽化器

[发明专利]汽化器、使用汽化器的各种装置以及汽化方法-CN200610095864.1有效
发明人：都田昌之;楠原昌树;梅田优;深川满 -专利权人：株式会社渡边商行;都田昌之
申请日： 2002-01-18 - 公布日： 2007-05-23 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：一种可长期使用而不会阻塞、并且能够向反应部稳定供给原料的汽化器包括分散部(8)，所述分散部包括：形成在分散部本体(1)内部的气体通道(2)，将加压运载气体(3)引入气体通道(2)的气体入口(4)，将原料溶液(5)供给到流过气体通道(2)的运载气体的装置(6)，将包括原料溶液(5)的运载气体送到汽化部(22)的气体出口(7)，和用于冷却在气体通道(2)内流动的运载气体的装置(18)；用于加热和汽化从分散部送来的包括雾化的原料溶液的运载气体的汽化部(22)，所述汽化部包括其一端与诸如沉积装置的各种装置的反应部连接、另一端与所述气体出口(7)连接的汽化管(20)，和用于加热汽化管(20)的加热装置(21)；以及安装在所述气体出口(7)外侧的具有小孔(101)的防辐射部件(102)。
汽化器使用各种装置以及汽化方法

[发明专利]向气化器供给原料溶液的系统和向气化器供给原料溶液的系统的洗涤方法-CN200380104793.1无效
发明人： 深川满 -专利权人：株式会社渡边商行
申请日： 2003-12-02 - 公布日： 2006-01-11 - 主分类号： F17D1/08 文献下载
摘要：本发明提供一种能够在短时间且容易地进行单体阀内和原料溶液供给线的洗涤的单体阀。提供一种副生成物或反应生成物的残留极为少的单体阀。减少阀内的停留部，减少内容积。与液体材料供给槽或液体材料气化器等结构部件的连接是，以配管内容积的减低为目的，使用金属制密封部件，并将阀直接与结构部件连接。
气化供给原料溶液系统洗涤方法

[发明专利]汽化器、使用汽化器的各种装置以及汽化方法-CN02803905.X有效
发明人：都田昌之;楠原昌树;梅田优;深川满 -专利权人：株式会社渡边商行;都田昌之
申请日： 2002-01-18 - 公布日： 2004-09-22 - 主分类号： H01L23/31 文献下载
摘要：一种可长期使用而不会阻塞、并且能够向反应部稳定供给原料的汽化器包括分散部(8)，所述分散部包括：形成在分散部本体(1)内部的气体通道(2)，将加压运载气体(3)引入气体通道(2)的气体入口(4)，将原料溶液(5)供给到流过气体通道(2)的运载气体的装置(6)，将包括原料溶液(5)的运载气体送到汽化部(22)的气体出口(7)，和用于冷却在气体通道(2)内流动的运载气体的装置(18)；用于加热和汽化从分散部送来的包括雾化的原料溶液的运载气体的汽化部(22)，所述汽化部包括其一端与诸如沉积装置的各种装置的反应部连接、另一端与所述气体出口(7)连接的汽化管(20)，和用于加热汽化管(20)的加热装置(21)；以及安装在所述气体出口(7)外侧的具有小孔(101)的防辐射部件(102)。
汽化器使用各种装置以及汽化方法

[发明专利]铁电体薄膜、金属薄膜或氧化物薄膜、其制造方法和制造装置以及使用薄膜的电子或电气装置-CN02803907.6无效
发明人：都田昌之;矢元久良;楠原昌树;梅田优;深川满 -专利权人：株式会社渡边商行;都田昌之
申请日： 2002-01-18 - 公布日： 2004-04-07 - 主分类号： H01L21/316 文献下载
摘要：铁电体薄膜的特征在于，具有包括氧(O)和至少碳、锶(Sr)、铋(Bi)、钽(Ta)和铌(Nb)的层状晶体结构，其组成式为SrBi_yTa₂O_9±d或Sr_xBi_y(Ta，Nb)₂O_9±d，假定0.90≤x＜1.00，1.70＜y≤3.20，和0≤d≤1.00，并且碳含量是5％at或更少。
铁电体薄膜金属氧化物制造方法装置以及使用电子电气