专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]晶圆及其下片方法-CN202011027312.3在审
  • 艾佳瑞;丁新琪;廖桂波;王菊;焦旺;吴阳烽;郑兆祯;涂庆明 - 深圳市中光工业技术研究院
  • 2020-09-25 - 2022-03-29 - H01L21/67
  • 本发明公开一种晶圆及其下片方法,下片方法包括:提供一初始晶圆件,所述初始晶圆件包括治具及设置于治具上的第一厚度晶圆,治具和第一厚度晶圆之间设置有连接层;将胶带贴合于所述第一厚度晶圆和所述治具上;以第一预设温度进行加热或添加第一试剂,以使得连接层融化;将下料片从第一厚度晶圆的边缘嵌入到第一厚度晶圆和治具之间;以第二预设温度进行加热或添加第二试剂,使得胶带解胶后后移除胶带,以使得下料片可带动第一厚度晶圆从治具完成下片。通过上述方式,可以降低下片对第一厚度晶圆造成的损害,以提高良品率。
  • 及其下片方法
  • [发明专利]一种检测芯片及检测系统-CN202010900245.5在审
  • 郑兆祯;丁新琪;廖桂波;吴阳烽;焦旺;王菊;涂庆明 - 深圳市中光工业技术研究院
  • 2020-08-31 - 2022-03-01 - H01L21/66
  • 本申请公开了一种检测芯片,其特征在于,所述检测芯片嵌入半导体晶圆本体,用于进行光致发光测试,所述检测芯片包括:多个周期排布或随机排布的量子阱混杂区域和非量子阱混杂区域,其中所述量子阱混杂区域的粒子掺杂与所述半导体晶圆本体中包含的量子阱掺杂层的粒子掺杂相同。通过多个量子阱混杂区域接收激光光束以发生光致发光反应,多个所述量子阱混杂区域光致发光出射的光线之间发生干涉,使得所述检测芯片出射的波长谱线信号强度增强,利用常规的光谱仪即可测量出检测芯片的波长蓝移情况,快速实现半导体晶圆的抗COD特性判断。
  • 一种检测芯片系统
  • [发明专利]激光芯片及其制备方法-CN202010172742.8在审
  • 郑兆祯;丁新琪;吴阳烽;焦旺;廖桂波;王菊;涂庆明 - 深圳市中光工业技术研究院
  • 2020-03-12 - 2021-09-14 - H01S5/34
  • 本发明公开一种激光芯片及其制备方法,该方法包括提供激光外延结构,激光外延结构包括有源层以及依次层叠于有源层上的包覆层和接触层;在接触层上覆盖第一掩膜层,并对第一掩膜层进行开窗以形成第一窗口区;经第一窗口区对接触层进行一次蚀刻,以形成与第一窗口区对应且外露包覆层的第二窗口区;经第一窗口区和第二窗口区对包覆层和有源层进行锌扩散;去除第一掩膜层;在接触层上覆盖第二掩膜层,并对第二掩膜层进行开窗以形成第三窗口区,其中第三窗口区在接触层的投影位于第二窗口区的外围;经第三窗口区对接触层进行二次蚀刻,以将第二窗口区扩大成与第三窗口区对应。通过上述方式,可以有效的提高灾变性光学镜面损伤阈值。
  • 激光芯片及其制备方法

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