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[实用新型]一种单晶硅片厚蜡涂抹装置-CN201821163937.0有效
发明人：徐信富;郭金娥;章云杰;赵世印;王建伟;徐茂圣;苗战彪;袁大双 -专利权人： 洛阳市鼎晶电子材料有限公司
申请日： 2018-07-23 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： B05C5/00 文献下载
摘要：一种单晶硅片厚蜡涂抹装置，涉及硅片技术领域，包括提手、盖体、盛放体、把持部、第一卡槽、第一限位块、第二卡槽和第二限位块，在盛放体上设有盖体，盖体上分别设有提手、第一卡槽和第二卡槽，盛放体上还分别设有把持部、第一限位块和第二限位块；本实用新型结构简单、实用性强，不但可以在快速完成硅片的涂蜡工作，而且有效保证了硅片涂蜡的准确性和稳定性，大大提高了工作效率。
限位块卡槽盛放体盖体单晶硅片涂抹装置把持部硅片提手涂蜡本实用新型工作效率硅片技术保证

[实用新型]一种单晶硅片多片厚蜡涂抹装置-CN201821163997.2有效
发明人：徐信富;郭金娥;周银平;赵世印;王建伟;徐茂圣;苗战彪;袁大双 -专利权人： 洛阳市鼎晶电子材料有限公司
申请日： 2018-07-23 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： B05C17/005 文献下载
摘要：一种单晶硅片多片厚蜡涂抹装置，涉及硅片技术领域，包括第一把持部、盖体、第二把持部、压板、固定圈、连接杆、第一凹槽、第二凹槽、第二限位块和第一限位块，在盖体上设有第一把持部、第二把持部和若干个压板，压板上分别设有第一凹槽和第二凹槽，压板下部设有固定圈，固定圈之间通过连接杆连接，固定圈内分别设有第一限位块和第二限位块；本实用新型结构简单、实用性强，不但可以快速高效地完成硅片的涂蜡工作，而且保证了蜡膜的精确和稳定，减少了涂蜡操作中的繁杂步骤，大大提高了工作效率，而且为后续的工序操作提供了保障。
把持部固定圈限位块压板单晶硅片涂抹装置多片盖体涂蜡本实用新型连接杆连接工作效率硅片技术连接杆硅片蜡膜保证

[实用新型]一种单晶硅片多片单面腐蚀装置-CN201821164131.3有效
发明人：徐信富;郭金娥;周银平;杜亮;韩进军;王建伟;徐茂圣;苗战彪 -专利权人： 洛阳市鼎晶电子材料有限公司
申请日： 2018-07-23 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： C30B33/10 文献下载
摘要：一种单晶硅片多片单面腐蚀装置，涉及硅片技术领域，包括卡块、支撑板、立柱、旋钮、固定圈、第一卡槽、第二卡槽、固定杆和螺纹，在支撑板上设有立柱，立柱的两端分别设有卡块和固定杆，固定杆上设有旋钮、螺纹和固定圈，固定圈上设有第一卡槽和第二卡槽；本实用新型结构简单、实用性强，不但可以在工作中减轻工作人员的工作量，而且快速高效地完成了多片硅片的单面腐蚀工作，有效降低了生产成本，提高了生产效率。
卡槽单面腐蚀固定杆固定圈多片立柱单晶硅片支撑板螺纹卡块旋钮本实用新型硅片技术生产效率硅片生产成本工作量

[实用新型]一种单晶硅片单面腐蚀装置-CN201821164133.2有效
发明人：郭金娥;徐信富;赵世印;杜亮;马利利;王建伟;徐茂圣;苗战彪 -专利权人： 洛阳市鼎晶电子材料有限公司
申请日： 2018-07-23 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： C30B33/10 文献下载
摘要：一种单晶硅片单面腐蚀装置，涉及硅片技术领域，包括固定圈、旋钮、承载盘、操作杆、卡槽、固定柱和螺纹，在操作杆上设有承载盘，承载盘上设有卡槽，卡槽上设有固定圈，固定圈上设有固定柱，固定柱上设有旋钮和螺纹；本实用新型结构简单、实用性强，不但可以快速完成硅片的单面腐蚀工作，而且减少了生产成本，提高了生产效率。
单面腐蚀承载盘固定圈固定柱卡槽单晶硅片操作杆螺纹旋钮本实用新型硅片技术生产效率硅片生产成本

[实用新型]一种硅片背面损伤用石英玻璃喷头-CN201821169530.9有效
发明人：徐信富;郭金娥;杜亮;韩进军;周银平;王建伟;徐茂圣;苗战彪 -专利权人： 洛阳市鼎晶电子材料有限公司
申请日： 2018-07-24 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：一种硅片背面损伤用石英玻璃喷头，涉及硅片技术领域，包括喷头、固定轴、凹槽、磨损条、第一卡块、第二卡块和卡槽，在喷头上设有固定轴和凹槽，凹槽内设有卡槽，卡槽上设有磨损条，磨损条上设有第一卡块和第二卡块；本实用新型结构简单、实用性强，不但可以有效完成硅片背面的损伤，而且与喷砂处理的方式相比较大大降低了生产成本，为企业带来了经济效益。
卡块喷头卡槽磨损损伤硅片背面石英玻璃固定轴本实用新型硅片技术喷砂处理硅片生产成本

[实用新型]一种硅片贴片机片叉子保护装置-CN201821164130.9有效
发明人：徐信富;郭金娥;韩进军;章云杰;赵世印;王建伟;徐茂圣;苗战彪 -专利权人： 洛阳市鼎晶电子材料有限公司
申请日： 2018-07-23 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种硅片贴片机片叉子保护装置，涉及硅片技术领域，包括叉片、底板、上固定板、竖板、连接杆、下固定板、第一缓冲块、弹簧和第二缓冲块，在底板的两端分别设有叉片和固定装置，固定装置由上固定板、竖板和下固定板构成，上固定板和下固定板通过竖板连接，底板设置在上固定板和下固定板之间，竖板上设有连接杆，连接杆的上部分别设有弹簧和第一缓冲块，连接杆的下部设有第二缓冲块；本实用新型结构简单、实用性强，不但可以有效地对叉片进行保护和缓冲，而且降低了叉片的损耗，在提高工作效率的同时有效降低了生产成本。
上固定板下固定板缓冲块连接杆叉片竖板底板保护装置叉子固定装置贴片机硅片弹簧本实用新型工作效率硅片技术有效地缓冲生产成本

[实用新型]一种单晶硅片双片单面腐蚀装置-CN201821164134.7有效
发明人：郭金娥;徐信富;章云杰;马利利;袁大双;王建伟;徐茂圣;苗战彪 -专利权人： 洛阳市鼎晶电子材料有限公司
申请日： 2018-07-23 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种单晶硅片双片单面腐蚀装置，涉及硅片技术领域，包括操作杆、旋钮、固定圈、第一卡槽、第二卡槽、固定柱和螺纹，在操作杆上设有固定圈，固定圈上分别设有第一卡槽、第二卡槽和固定柱，固定柱上设有旋钮和螺纹；本实用新型结构简单、实用性强，不但可以在快速完成双硅片的单面腐蚀工作，而且在降低生产成本的同时提高了生产效率。
卡槽单面腐蚀固定圈固定柱单晶硅片操作杆螺纹双片旋钮本实用新型硅片技术生产效率硅片

[实用新型]一种硅片背面损伤用组合式石英玻璃喷头-CN201821169535.1有效
发明人：徐信富;郭金娥;章云杰;韩进军;赵世印;王建伟;徐茂圣;苗战彪 -专利权人： 洛阳市鼎晶电子材料有限公司
申请日： 2018-07-24 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种硅片背面损伤用组合式石英玻璃喷头，涉及硅片技术领域，包括固定轴、喷头、凹槽、凸起、支撑块、连接柱和螺纹，在喷头上分别设有固定轴和若干个凹槽，凹槽内设有连接柱，连接柱上设有螺纹和支撑块，支撑块上设有凸起；本实用新型结构简单、实用性强，不但可以快速完成硅片的背面损伤，而且相较于对硅片进行喷砂处理的方式而言，大大节约了生产成本，为企业带来了经济效益。
喷头连接柱损伤硅片背面石英玻璃固定轴组合式硅片螺纹凸起支撑本实用新型硅片技术喷砂处理生产成本背面节约

[实用新型]一种硅片固态蜡贴片-CN201821169567.1有效
发明人：徐信富;郭金娥;赵世印;章云杰;王建伟;徐茂圣;苗战彪;袁大双 -专利权人： 洛阳市鼎晶电子材料有限公司
申请日： 2018-07-24 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种硅片固态蜡贴片，涉及硅片技术领域，包括第一限位杆、第二限位杆、第三限位杆、第四限位杆、套筒、手持部、底座和盛放筒，在底座上设有第一限位杆、第二限位杆、第三限位杆和第四限位杆，第一限位杆、第二限位杆、第三限位杆和第四限位杆之间设有若干个套筒，套筒的外部设有手持部，套筒的内部设有盛放筒；本实用新型结构简单、实用性强，不但可以在工作中减轻工作人员的工作量，而且高效地完成了硅片的固态蜡贴片，同时保证了固态蜡贴片的精准和稳定，大大提高了工作效率。
限位杆固态蜡套筒贴片硅片盛放筒底座本实用新型工作效率硅片技术工作量外部保证

[实用新型]一种硅片不对称倒角装置-CN201821169572.2有效
发明人：郭金娥;徐信富;袁大双;韩进军;周银平;王建伟;徐茂圣;苗战彪 -专利权人： 洛阳市鼎晶电子材料有限公司
申请日： 2018-07-24 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：一种硅片不对称倒角装置，涉及硅片技术领域，包括竖轴、转盘、固定盘、第一限位块、固定柱、连接杆、凸块、第二限位块、支撑盘、底座和倒角器，在底座上设有支撑盘，支撑盘上设有第一限位块和第二限位块，第一限位块上设有连接杆，连接杆上设有固定柱和凸块，第一限位块和第二限位块的上部设有固定盘，固定盘上设有倒角器和转盘，转盘上设有竖轴；本实用新型结构简单、实用性强，不但可以快速完成硅片的倒角，简化了倒角的工序，而且大大地节约了生产成本，为企业带来了效益。
限位块固定盘连接杆支撑盘硅片转盘倒角装置不对称倒角器固定柱倒角竖轴凸块底座本实用新型硅片技术生产成本节约

[实用新型]一种移动式喷嘴-CN201320661801.3有效
发明人：郭金娥;徐信富;徐力;陈兴邦 -专利权人： 洛阳市鼎晶电子材料有限公司
申请日： 2013-10-23 - 公布日： 2014-07-30 - 主分类号： B24C5/04 文献下载
摘要：本实用新型是有关于一种移动式喷嘴，用于硅片背面干法喷砂制造吸杂源以消除硅抛光表面氧化雾,其包括：管状喷嘴及喷嘴移动装置；所述管状喷嘴设置于所述喷嘴移动装置上,能够在所述喷嘴移动装置的作用下左右移动。本实用新型通过使喷嘴为管状,并且设置喷嘴移动装置使喷嘴左右移动,可以使硅片背面喷砂形成的损伤均匀可控。
一种移动式喷嘴

[发明专利]硅片背面喷砂制造吸杂源消除硅抛光表面氧化雾的装置-CN201310503142.5有效
发明人：郭金娥;徐信富;徐力;陈兴邦 -专利权人： 洛阳市鼎晶电子材料有限公司
申请日： 2013-10-23 - 公布日： 2014-06-11 - 主分类号： B24C3/12 文献下载
摘要：本发明是有关于一种硅片背面喷砂制造吸杂源消除硅抛光表面氧化雾的装置，其包括：金刚砂喷嘴、喷嘴移动装置、除尘风橱、硅片传送带、金刚砂料罐以及第一粉尘收集罐；其中，所述金刚砂喷嘴设置于所述喷嘴移动装置上，并且设置于所述硅片传送带的上方，能够在所述喷嘴移动装置的作用下在所述硅片传送带的上方左右移动；所述除尘风橱设置于所述硅片传送带的上方，并且由所述硅片传送带的上方向下延伸至所述硅片传送带的上表面，所述金刚砂喷嘴设置于所述除尘风橱内；在所述除尘风橱的顶部设有通孔，所述除尘风橱通过所述通孔与所述第一粉尘收集罐通过管道连通；所述金刚砂喷嘴通过管道与所述金刚砂料罐连通。
硅片背面喷砂制造吸杂源消除抛光表面氧化装置

[发明专利]一种除尘系统-CN201310502983.4无效
发明人：郭金娥;徐信富;徐力;陈兴邦 -专利权人： 洛阳市鼎晶电子材料有限公司
申请日： 2013-10-23 - 公布日： 2014-06-11 - 主分类号： B28D7/02 文献下载
摘要：本发明是有关于一种除尘系统，用于硅片背面干法喷砂制造吸杂源以消除硅抛光表面氧化雾，其包括：排风除尘装置及粉尘收集罐；其中，所述排风除尘装置与所述粉尘收集罐通过管道连通。本发明的除尘系统可以对金刚砂喷嘴喷洒金刚砂时飞扬的粉尘进行收集，再利用。
一种除尘系统

[发明专利]一种移动式喷嘴-CN201310502818.9无效
发明人：郭金娥;徐信富;徐力;陈兴邦 -专利权人： 洛阳市鼎晶电子材料有限公司
申请日： 2013-10-23 - 公布日： 2014-06-11 - 主分类号： B24C5/04 文献下载
摘要：本发明是有关于一种移动式喷嘴，用于硅片背面干法喷砂制造吸杂源以消除硅抛光表面氧化雾,其包括：管状喷嘴及喷嘴移动装置；所述管状喷嘴设置于所述喷嘴移动装置上,能够在所述喷嘴移动装置的作用下左右移动。本发明通过使喷嘴为管状,并且设置喷嘴移动装置使喷嘴左右移动,可以使硅片背面喷砂形成的损伤均匀可控。
一种移动式喷嘴

[发明专利]一种料罐-CN201310509261.1无效
发明人：郭金娥;徐信富;徐力;陈兴邦 -专利权人： 洛阳市鼎晶电子材料有限公司
申请日： 2013-10-23 - 公布日： 2014-06-11 - 主分类号： B24C9/00 文献下载
摘要：本发明是有关于一种料罐，用于硅片背面干法喷砂制造吸杂源以消除硅抛光表面氧化雾，其包括：储物罐及震动器，所述震动器设置于所述储物罐使所述储物罐内储存的物品处于振动状态。本发明通过对料罐增加震动器，可以使储存于料罐中的金刚砂一直保持疏松状态，从而使由管道至金刚砂喷嘴的金刚砂运输通畅，金刚砂输送的流速均匀。
一种

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