专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体装置-CN201980071828.7有效
  • 河野宪司 - 株式会社电装
  • 2019-11-05 - 2023-10-24 - H01L21/8234
  • 在级联连接有JFET(10)和MOSFET(20)的半导体装置中,JFET(10)具备漂移层(113)、配置在漂移层(113)上的沟道层(114)、形成在沟道层(114)的表层部且与沟道层(114)相比为高杂质浓度的源极层(115)、在沟道层(114)中形成得比源极层(115)深的栅极层(13)、在沟道层(114)中形成得比源极层(115)深且与栅极层(13)分离的体层(116)、隔着漂移层(113)而配置在与源极层(115)相反的一侧的漏极层(111)。而且,使栅极层(13)与体层(116)之间的耐压比MOSFET(20)的耐压低。
  • 半导体装置
  • [发明专利]半导体装置-CN202080009812.6有效
  • 河野宪司 - 株式会社电装
  • 2020-01-16 - 2023-08-15 - H01L21/337
  • 具备:漂移层(13);沟道层(14),配置在漂移层(13)上;源极层(17),形成在沟道层(14)的表层部,杂质浓度比沟道层(14)高;栅极层(15),在沟道层(14)中形成得比源极层(17)深;体层(16),在沟道层(14)中形成得比源极层(17)深,与栅极层(15)分离;屏蔽层(18),以与栅极层(15)分离的状态而与栅极层(15)对置地形成在沟道层(14)中的位于栅极层(15)与漂移层(13)之间的部分,被维持为与栅极层(15)不同的电位;以及漏极层(11),隔着漂移层(13)而配置在与沟道层(14)相反的一侧。并且,使栅极层(15)的深度(Yg)相对于体层(16)的深度(Yb)的深度比为0.45以下。
  • 半导体装置
  • [发明专利]半导体装置-CN201880048878.9有效
  • 河野宪司 - 株式会社电装
  • 2018-07-26 - 2023-08-11 - H01L21/337
  • 具备:第1导电型的漂移层(13);第1导电型的沟道层(14),配置在漂移层(13)上;第1导电型的源极层(15),形成在沟道层(14)的表层部;第2导电型的栅极层(16),形成在沟道层(15);第2导电型的体层(17),形成在沟道层(15);漏极层(11),隔着漂移层(13)而配置在与源极层(15)相反的一侧;栅极布线(19),与栅极层(16)电连接;第1电极(21),与源极层(15)及体层(17)电连接;以及第2电极(22),与漏极层(11)电连接。并且,在体层(17)的底部侧,与栅极层(16)的底部侧相比,使电场强度更高。
  • 半导体装置
  • [发明专利]半导体装置-CN201880048889.7有效
  • 河野宪司 - 株式会社电装
  • 2018-07-26 - 2023-07-18 - H01L21/337
  • 具备JFET(10)、MOSFET(20)、以及配置在JFET(10)的栅极电极(13)与MOSFET(20)的源极电极(21)之间的JFET用调整电阻(42),JFET(10)的源极电极(11)和MOSFET(20)的漏极电极(22)电连接,从而JFET(10)和MOSFET(20)被级联连接。并且,JFET用调整电阻(42)具有接通动作用的第1电阻电路(421)及断开动作用的第2电阻电路(422)。
  • 半导体装置
  • [发明专利]半导体装置-CN202180029678.0在审
  • 河野宪司 - 株式会社电装
  • 2021-04-20 - 2022-12-16 - H01L29/78
  • 具备:第1导电型的漂移层(212);第2导电型的沟道层(213),配置在漂移层(212)上;沟槽栅构造,具有配置在以将沟道层(213)贯通而达到漂移层(212)的方式形成的沟槽(214)的壁面上的栅极绝缘膜(215)和配置在栅极绝缘膜(215)上的栅极电极(23);第1导电型的源极层(216),在沟道层(213)的表层部中以与沟槽(214)相接的方式形成,杂质浓度比漂移层(212)高;以及第1导电型的漏极层(211),隔着漂移层(212)而配置在与沟道层(213)相反的一侧。并且,沟槽(214)中的达到漂移层(212)的部分的整个区域被第2导电型的阱层(223)覆盖。阱层(223)与沟道层(213)相连。
  • 半导体装置
  • [发明专利]半导体装置-CN202180029686.5在审
  • 河野宪司 - 株式会社电装
  • 2021-04-20 - 2022-12-09 - H01L29/78
  • 具备:JFET(10),具有源极电极(11)、漏极电极(12)、栅极电极(13);以及MOSFET(20),具有源极电极(21)、漏极电极(22)、栅极电极(23);JFET(10)的源极电极(11)和MOSFET(20)的漏极电极(22)被电连接从而JFET(10)和MOSFET(20)被级联连接。并且,将JFET(10)的栅极电压的漏极电压依存性设为栅极电压依存性,调整栅极电压依存性以使得能够减小开关损耗。
  • 半导体装置
  • [发明专利]半导体装置-CN202080064590.8在审
  • 河野宪司 - 株式会社电装
  • 2020-09-11 - 2022-05-17 - H01L29/423
  • 具备源电极、漏电极和控制在源电极与漏电极之间流过的电流的栅极。并且,若将栅极与漏电极之间的电容设为第一电容Cgd,将栅极与源电极之间的电容设为第二电容Cgs,将第一电容Cgd与第二电容Cgs之和设为第三电容Ciss,将用电流变化率dI/dt规定的第一开关损耗Et(dI/dt)与用电压变化率dV/dt规定的第二开关损耗Et(dV/dt)之和设为总开关损耗Esum,则第一电容Cgd相对于第三电容Ciss的电容比Cgd/Ciss被设为总开关损耗Esum低于规定阈值的比。
  • 半导体装置
  • [发明专利]半导体装置-CN201780044650.8有效
  • 河野宪司 - 株式会社电装
  • 2017-06-29 - 2022-03-01 - H01L29/739
  • 半导体装置具备多个开关元件、和半导体基板。多个开关元件并联地连接而被驱动,多个开关元件形成于半导体基板。在半导体基板的平面视图下,多个开关元件分别具有:单元区域(111),形成有被施加栅极电压的有源沟槽栅极(G1),作为IGBT发挥功能;外周区域(112),形成芯片外形;以及非单元区域(113),形成为将单元区域和外周区域分离,设置有对向单元区域的电连接进行中继的焊盘(114)。在半导体基板的平面视图下,有源沟槽栅极在非单元区域中还形成在不与焊盘重叠的位置。
  • 半导体装置
  • [发明专利]半导体装置的制造方法-CN202080009808.X在审
  • 河野宪司 - 株式会社电装
  • 2020-01-16 - 2021-08-27 - H01L21/337
  • 本发明进行以下工序:准备具有漂移层(13)的基板;通过进行外延生长,在漂移层(13)上构成沟道层(14)而形成半导体基板(10);以半导体基板(10)的厚度方向为深度方向,通过进行离子注入,在沟道层(14)中形成从半导体基板(10)的一面(10a)沿深度方向延伸的栅极层(15),并且在沟道层(14)中的与栅极层(15)分离的位置,形成从半导体基板(10)的一面(10a)沿深度方向延伸的体层(16);通过进行离子注入,在沟道层(14)中的位于栅极层(15)与漂移层(13)之间的部分,形成以与栅极层(15)分离的状态与栅极层(15)对置、并被维持为与栅极层(15)不同的电位的屏蔽层(18)。
  • 半导体装置制造方法
  • [发明专利]半导体装置-CN201780044661.6有效
  • 河野宪司 - 株式会社电装
  • 2017-06-29 - 2021-07-20 - H01L29/739
  • 半导体装置具备多个IGBT元件和对应于各IGBT元件的续流二极管。多个IGBT元件并联地连接而被驱动。多个IGBT元件分别具有集电极区域(11)、漂移区域(10)、体区域(13)、将体区域贯通而到达漂移区域的沟槽栅极(G1、G2、G3、G4)、以及被体区域包围并且隔着绝缘膜而与沟槽栅极接触的发射极区域(14)。多个IGBT元件分别还具有形成了发射极区域的有源单元、没有形成发射极区域的伪单元、以及没有形成发射极区域的有源伪单元。有源伪单元具有体区域被电气地浮置的浮置单元。相对于有源单元和有源伪单元的总数,浮置单元的数量被设为5%以上且35%以下。
  • 半导体装置
  • [发明专利]半导体装置-CN201680049102.X有效
  • 河野宪司 - 株式会社电装
  • 2016-08-08 - 2021-04-20 - H01L29/739
  • 一种半导体装置,具备半导体基板(10),该半导体基板(10)具有:第1导电型的漂移层(11)、形成于漂移层的表层部的第2导电型的基极层(12)、以及形成于漂移层中的与基极层侧相反的一侧的第2导电型的集电极层(21)以及第1导电型的阴极层(22)。将半导体基板中的作为IGBT元件动作的区域设为IGBT区域(1a),并且将作为二极管元件动作的区域设为二极管区域(1b),交替地重复形成有IGBT区域和二极管区域。IGBT区域和二极管区域由集电极层与阴极层的边界划分。将集电极层设为第1集电极层,半导体装置在半导体基板中的形成有第1集电极层以及阴极层的一侧的面上设置有第2导电型杂质浓度高于第1集电极层的第2集电极层。
  • 半导体装置
  • [发明专利]半导体装置-CN201680038146.2有效
  • 田边广光;河野宪司 - 株式会社电装
  • 2016-07-22 - 2021-04-20 - H01L27/04
  • 一种半导体装置,在具有第1主面(50a)及其背面的第2主面(50b)的半导体基板(50)中,一并设置有具有集电极区域(14)的IGBT单元(10)、和具有阴极区域(22)的二极管单元(20),在漂移区域(17)中具备第1缺陷层(15a)和第2缺陷层(15b)。在漂移区域中,在将由界面(Pb)和平面(Pc)包围的区域定义为边界区域时,二极管单元形成为,使漂移区域的第1主面侧的表面之中边界区域所占的面积S、与二极管单元所占的面积SDI满足SDIS的关系,其中,上述界面(Pb)是IGBT单元和二极管单元的与第1主面正交的界面,上述平面(Pc)是穿过作为集电极区域与阴极区域的边界的、沿着集电极区域的漂移区域的界面的边界线、并与第1主面以角度45度交叉的平面。
  • 半导体装置
  • [发明专利]半导体装置-CN201680024918.7有效
  • 吉田崇一;田村正树;河野宪司;田边広光 - 富士电机株式会社;株式会社电装
  • 2016-06-10 - 2020-10-27 - H01L27/04
  • 在n半导体基板的正面侧,从IGBT部(21)遍及FWD部(22)设有p基层(2),由沟槽(3)、栅氧化膜(4)和栅电极(5)构成的沟槽栅,以及发射电极(8)。被夹在相邻的沟槽(3)之间的p基层(2)中的具有n+发射区(6)的p基层(2)为IGBT发射极部(31),不具有n+发射区(6)的p基层(2)为FWD阳极部(32)。n+阴极区(12)的短边方向宽度L12比FWD阳极部(32)的短边方向宽度L32窄。FWD阳极部(32)的短边方向宽度L32与n+阴极区(12)的短边方向宽度L12的差值ΔL1为50μm以上。由此,能够提供减小正向压降,并且抑制反向恢复时的波形振动,且具有软恢复特性的半导体装置。
  • 半导体装置
  • [发明专利]半导体装置和半导体装置的制造方法-CN201680012544.7有效
  • 吉田崇一;野口晴司;河野宪司;田边広光 - 富士电机株式会社;株式会社电装
  • 2016-06-10 - 2020-09-25 - H01L21/336
  • 本发明提供半导体装置和半导体装置的制造方法,在成为n型漂移层(1)的n型半导体基板的正面形成FS结构的RC‑IGBT的正面元件结构。接着,在n型半导体基板的背面形成p+型集电区(10)、n+型阴极区(11)和n+型FS层(12)。n+型FS层(12)使用硒而形成。接着,从n型半导体基板的背面照射轻离子,并且在n型漂移层(1)的内部形成第一低寿命区域(31)。接着,从n型半导体基板的背面照射轻离子,并且在n+型FS层(12)的内部形成第二低寿命区域(32)。接着,利用退火处理,降低n+型FS层(12)内部的结晶缺陷的缺陷密度。由此,能够抑制漏电流的增加、降低电损耗,并且提高合格率。
  • 半导体装置制造方法

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