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[发明专利]晶片研削方法及晶片研削机-CN202311109996.5在审
发明人：高阳;沈海丽;孙志超;朱慧家;徐基应;周旭平 -专利权人：江苏京创先进电子科技有限公司
申请日： 2023-08-31 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本发明属于晶片研削技术领域，公开了一种晶片研削方法及晶片研削机，该晶片研削方法包括：承片台位于上料位置，位于上料位置的承片台和磨轮沿第一水平方向间隔排列，将晶片放置于承片台上，并使晶片的中心位于承片台的轴线上；根据晶片的尺寸选择相适配的磨轮；驱动承片台沿第一水平方向移动第二预设距离，第二预设距离被选取为等于位于上料位置的承片台的轴线与磨轮的轴线的间距减去磨轮的半径的差值。由于本发明中的承片台的行程能够根据磨轮的尺寸自动调整，而无需由工作人员反复调试，从而省去了工作人员反复调试承片台的行程的过程，省时省力，进而能够提高生产效率。
晶片方法研削机

[发明专利]减薄方法-CN202311019216.8在审
发明人：高阳;沈海丽;孙志超;周旭平;徐基应;朱慧家 -专利权人：江苏京创先进电子科技有限公司
申请日： 2023-08-14 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明揭示了一种减薄方法，将不能被真空吸附台吸附的工件贴附在尺寸能够被真空吸附台吸附的吸附膜上，可以有效在工件不能被真空吸附台吸附时，通过真空吸附台吸附吸附膜从而实现工件在真空吸附台上的固定，为工件的加工提供了基础条件，在不改动设备已有结构的情况下，能够实现不同尺寸、不同形状的零件加工，使用的灵活性更好。在采用顶面具有胶层的吸附膜后，通过第一测量组件实时测得工件顶面的高度，结合事先吸附膜预先确定的吸附膜顶面基准高度来计算工件厚度，而无需在减薄过程中通过第二测量组件与吸附膜保持接触状态，改变了惯用测高方式，从而有效地保证了测量机构的安全。
方法

[发明专利]主轴俯仰和偏摆调节结构及调节方法、晶圆减薄机-CN202311035207.8在审
发明人：杨云龙;朱慧家;孙志超;沈海丽;蔡国庆;徐基应;周旭平 -专利权人：江苏京创先进电子科技有限公司
申请日： 2023-08-17 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：本发明公开了主轴俯仰和偏摆调节结构及调节方法、晶圆减薄机，属于晶圆减薄技术领域。该调节结构包括调节板、基板、第一顶丝和第二顶丝；其中，调节板包括外板和内板，内板的第一侧面与外板连接，内板的第二侧面与外板之间具有能够使外板产生弹性形变的间隙，主轴固定连接至外板；基板连接至安装座且间隔位于调节板的一侧，内板固定连接至基板；第一顶丝螺纹穿设于外板内并能够沿X轴螺旋拧动，以使外板带动主轴相对于Z轴沿前后方向俯仰调节；第二顶丝螺纹穿设于外板内并能够沿Y轴抵压内板，以使外板带动主轴相对于Z轴沿左右方向偏摆调节。该调节结构的体积较小，重量较轻，能够避免主轴在长时间工作中发生变形。
主轴俯仰调节结构方法晶圆减薄机

[发明专利]晶圆承片台及晶圆减薄机-CN202310994412.0在审
发明人：孙志超;徐基应;沈海丽;蔡国庆 -专利权人：江苏京创先进电子科技有限公司
申请日： 2023-08-09 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本发明属于晶圆减薄技术领域，公开了一种晶圆承片台及晶圆减薄机，晶圆承片台包括载台及固定机构，固定机构包括第一支架、第二支架和锁紧件，第一支架套设于载台的外周并设置有第一承载面和第二承载面，膜架能够承载于第一承载面上，第二支架套设于第一支架的外周并载放于第二承载面上，第二支架上设置有压片，锁紧件安装于第一支架上，本发明中只需切换锁紧件的工作位置即可实现将膜架取下或将膜架放置并锁紧至晶圆承片台上，从而简化将膜架取下及将膜架放置并锁紧至晶圆承片台上的过程，省时省力，从而提高晶圆减薄机的工作效率。本发明中无需拆装多个螺丝，而锁紧件则安装于第一支架上，即锁紧件始终不会呈散件摆放，从而能够避免零件丢失。
晶圆承片台晶圆减薄机

[发明专利]减薄机-CN202310741957.0在审
发明人：杨云龙;高阳;孙志超;蔡国庆;沈海丽 -专利权人：江苏京创先进电子科技有限公司
申请日： 2023-06-21 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B24B19/22 文献下载
摘要：本发明涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种减薄机。减薄机包括机座、承片台和磨削机构，机座上具有上下料工位和加工工位，承片台滑动设置于机座上并在上下料工位与加工工位之间往复移动。磨削机构包括驱动模组、主轴和磨轮，磨轮同轴设置于主轴上，主轴与磨轮的直径均可调；驱动模组通过主轴与磨轮传动连接，以驱动磨轮在加工工位升降和转动。磨轮在承片台的投影圆的圆心经过承片台的移动轨迹线，且投影圆的外缘经过承片台的圆心。减薄机可以根据实际加工需求更换不同直径的主轴与不同直径的磨轮，以满足晶圆的整面加工或局部加工需求，实现了减薄机的多样化的加工工艺，提高了减薄机的通用性。
减薄机

[发明专利]一种用于活化过一硫酸盐降解有机废液的催化剂及其制备方法-CN202210612396.X有效
发明人：李纲;沈海丽;张文彦;廖小刚;夏强;郑林;胡学步;齐学强;田甜;沈俊 -专利权人：重庆理工大学
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： B01J27/053 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于活化过一硫酸盐降解有机废液的催化剂，包括Co3O4基体材料和以双配位结构键合于该基体材料表面的SO42‑。此外，本发明还公开了该催化剂的制备方法，该方法以草酸盐沉淀法所得草酸钴为前驱体，以硫酸铵为修饰试剂，通过简单的浸渍‑煅烧，即可实现草酸钴分解转化为Co3O4的同时，SO42‑在Co3O4表面键合同步完成，制备工艺简单便捷，无需专用苛刻设备，易于实现该催化剂产品的工业化宏量制备。本发明的催化剂/PMS体系对多种有机废液均呈现出良好的适应性，具有广阔的应用前景。
一种用于活化硫酸盐降解有机废液催化剂及其制备方法

[实用新型]一种晶圆解胶装置及划片机-CN202222646153.6有效
发明人：葛凡;张天华;孙志超;周鑫;沈海丽 -专利权人：江苏京创先进电子科技有限公司
申请日： 2022-10-09 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶圆解胶装置及划片机。本实用新型提供的晶圆解胶装置包括工作台、解胶灯以及均光片，其中，工作台用于承载晶圆中间的减薄区域，以使晶圆外周上的支撑环伸出工作台，解胶灯位于工作台的下方，均光片位于解胶灯和支撑环之间，均光片用于将解胶灯发射的解胶光线均匀朝向支撑环背面粘贴的保护膜射出，使得照射到支撑环背面保护膜上的光线更加均匀，从而更加均匀地实现对支撑环的解胶，提高了对支撑环的解胶效果。本实用新型提供的划片机，通过应用上述晶圆解胶装置，能够更加均匀地实现对支撑环的解胶，提高了对支撑环的解胶效果。
一种晶圆解胶装置划片

[实用新型]新型模块化强弱电井楼层隔断-CN201822279693.9有效
发明人：张克功;沈海丽 -专利权人：兰州石化职业技术学院
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： H02G3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了新型模块化强弱电井楼层隔断，包括网状支撑结构，其特征在于：网状支撑结构的内腔设置有穿线孔，网状支撑结构包括竖杆和横杆，横杆位于竖杆的顶部，横杆从左至右依次设置有等距离的若干凸块。本实用新型通过设置网状支撑结构、竖杆、横杆、凹槽、支架、穿线孔、顶板、盖板、扎带固定杆和扎带固定槽的配合使用，解决了现有强弱电井在使用时，由于多为混凝土楼板，预留穿线位置不足，导致后期进行强弱电施工布设光缆、电缆的过程中，必须在楼板上钻孔，难度较大，成本较高，且现有的强弱电井没有线缆固定装置，电缆固定难度较大，线束线缆杂乱的问题，方便了使用者的使用，提高了强弱电井的实用性。
强弱电网状支撑结构横杆竖杆本实用新型新型模块穿线孔隔断扎带楼层线缆固定装置混凝土楼板穿线位置电缆固定依次设置楼板固定槽固定杆布设盖板内腔凸块线缆线束支架钻孔预留电缆光缆施工

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