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- [发明专利]太鼓晶圆处理方法-CN202311127770.8在审
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高阳;王永强;葛凡;张宁宁;孙志超
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江苏京创先进电子科技有限公司
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2023-09-04
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2023-10-10
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H01L21/02
- 本发明揭示了太鼓晶圆处理方法，其在冲洗和吹气时，先对切割道及其内区域进行处理，再全尺寸处理，这样能够使切割道及其内区域的脏污先移动到边缘位置并在高速离心力作用下与太鼓晶圆分离，同时可以保证切割道及其内区域被重点清洗，在切割道及其内区域处理时，使摆臂的摆动速度低于正常冲洗和吹气时的摆动速度以及使太鼓晶圆的转速高于正常冲洗和吹气时的速度，更低的摆动速度能够有效增加将杂物、积水从空隙中带走的概率，而更高地转速也使离心分离的效果更佳，从而有效地提高了清洗质量。相对于单独水冲，采用水气二流体的冲洗效果更佳；通过上述多种方式的结合，从而有效保证不同状态太鼓晶圆的清洗质量。
- 太鼓晶圆处理方法
- [发明专利]一种记忆合金拔销器-CN202210158700.8有效
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孙志超;娄宏伟;王建磊
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北京中科宇航技术有限公司
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2022-02-21
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2023-09-29
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B25B27/02
- 本申请提供一种记忆合金拔销器,包括：记忆合金内芯、外壳和尾壳，尾壳固定在外壳的端部，记忆合金内芯沿外壳的长度方向设置在外壳内；记忆合金内芯包括销头、复位机构、限位板和记忆合金丝伸缩机构；限位板限位在外壳远离尾壳的一端；复位机构和记忆合金丝伸缩机构分别设置在限位板的两侧；销头外周侧设置复位机构，且复位机构一端限位在销头侧端，另一端限位在限位板侧端；记忆合金丝伸缩机构靠近销头的一端通过前锁紧螺栓与销头连接；记忆合金丝伸缩机构伸缩带动销头向靠近或远离限位板的方向移动。本申请结构简单可靠，拔销力更大，拔销更加可靠，方便的对记忆合金丝长度进行调整。
- 一种记忆合金拔销器
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