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- [发明专利]一种测量土体固结性能和膨胀力的装置-CN201710367502.1有效
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卢有谦;蔡国庆;赵成刚
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北京交通大学
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2017-05-23
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2023-09-12
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G01N33/24
- 本发明提供了一种测量土体固结性能和膨胀力的装置,涉及土工试验技术领域,包括支架、加载组件、土壤膨胀仪、量力环、智能终端,支架上端设有横梁,横梁的中部竖直设有螺孔;加载组件包括伺服电机,伺服电机传动连接有螺杆,螺杆设于螺孔内,底端连接量力环;土壤膨胀仪设于所述量力环的测量表测量头的正下方,量力环的测量表和土壤膨胀仪的位移表均连接智能终端的输入端,伺服电机连接智能终端的输出端。本发明结构简单合理,体积小,易于组装,操作方便,可实时采集固结压缩和膨胀力数据,并根据采集到的数据自动调节载荷保持恒定不变,能够精确测量不同载荷下的固结压缩性能,同时还可以测量土体恒体积下的膨胀力,测量准确度高。
- 一种测量固结性能膨胀装置
- [发明专利]晶圆承片台及晶圆减薄机-CN202310994412.0在审
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孙志超;徐基应;沈海丽;蔡国庆
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江苏京创先进电子科技有限公司
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2023-08-09
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2023-09-08
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B24B7/22
- 本发明属于晶圆减薄技术领域,公开了一种晶圆承片台及晶圆减薄机,晶圆承片台包括载台及固定机构,固定机构包括第一支架、第二支架和锁紧件,第一支架套设于载台的外周并设置有第一承载面和第二承载面,膜架能够承载于第一承载面上,第二支架套设于第一支架的外周并载放于第二承载面上,第二支架上设置有压片,锁紧件安装于第一支架上,本发明中只需切换锁紧件的工作位置即可实现将膜架取下或将膜架放置并锁紧至晶圆承片台上,从而简化将膜架取下及将膜架放置并锁紧至晶圆承片台上的过程,省时省力,从而提高晶圆减薄机的工作效率。本发明中无需拆装多个螺丝,而锁紧件则安装于第一支架上,即锁紧件始终不会呈散件摆放,从而能够避免零件丢失。
- 晶圆承片台晶圆减薄机
- [发明专利]减薄机-CN202310741957.0在审
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杨云龙;高阳;孙志超;蔡国庆;沈海丽
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江苏京创先进电子科技有限公司
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2023-06-21
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2023-08-29
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B24B19/22
- 本发明涉及半导体加工设备技术领域,尤其涉及一种减薄机。减薄机包括机座、承片台和磨削机构,机座上具有上下料工位和加工工位,承片台滑动设置于机座上并在上下料工位与加工工位之间往复移动。磨削机构包括驱动模组、主轴和磨轮,磨轮同轴设置于主轴上,主轴与磨轮的直径均可调;驱动模组通过主轴与磨轮传动连接,以驱动磨轮在加工工位升降和转动。磨轮在承片台的投影圆的圆心经过承片台的移动轨迹线,且投影圆的外缘经过承片台的圆心。减薄机可以根据实际加工需求更换不同直径的主轴与不同直径的磨轮,以满足晶圆的整面加工或局部加工需求,实现了减薄机的多样化的加工工艺,提高了减薄机的通用性。
- 减薄机
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