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[发明专利]一种基于远程等离子源的表面清洁管理方法及系统-CN202310139819.5有效
发明人：朱培文;朱国俊 -专利权人： 江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-02-20 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明涉及数据处理技术领域，提供了一种基于远程等离子源的表面清洁管理方法及系统，所述方法包括：在远程清洁指令发送至远程等离子体源后，对目标清洁物体进行三维建模，获取目标物体模型，进行磨损矫正，获取目标物体矫正模型，生成表面清洁方案；在目标清洁物体进入远程等离子体源的腔体内部后，对远程等离子体源进行初始化设置，发出表面清洁许可，启动远程等离子体源；按照表面清洁方案，进行表面清洁，解决了清洗方案与目标清洁物体适配度低，表面清洁管控精度低的技术问题，实现了按照目标清洁物体，定制表面清洁方案，提高清洗方案与目标清洁物体适配度，依照污浊程度与清洁要求，调整清洁效力，提高表面清洁管控精度的技术效果。
一种基于远程离子源表面清洁管理方法系统

[发明专利]电容或电感的测试系统和方法-CN202310929856.6在审
发明人：朱培文;尹巧星 -专利权人： 江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-07-26 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01R27/26 文献下载
摘要：本发明提供一种电容或电感的测试系统和方法，该测试系统包括：夹具，用于装载待测电容或电感；第一数字化射频检测单元，与待测电容或电感的输入端连接，用于检测待测电容或电感的输入端射频参数；第二数字化射频检测单元，与待测电容或电感的输出端连接，用于检测待测电容或电感的输出端射频参数；散热模组，连接于夹具，用于调整待测电容或电感的散热条件；射频发生单元，用于为测试系统提供可调节功率和频率的射频电源；驻波控制单元，连接于射频发生单元和第一数字化射频检测单元之间，用于调节射频发生单元的驻波参数；负载模组，连接于第二数字化射频检测单元的输出端。该测试系统用于在不同散热条件下对待测电容或电感进行测试。
容或电感测试系统方法

[发明专利]阻抗匹配方法、装置和介质-CN202310929943.1在审
发明人：朱培文;尹巧星 -专利权人： 江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-07-26 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种阻抗匹配方法、装置和介质，该方法包括：前端数字化射频检测单元通过脉冲包络信号采样，检测射频电源的实时电压值、实时电流值及电压与电流的相位差；逻辑控制单元实时计算第一反射系数；当第一反射系数超出阈值时，调整电容极板的初始位置；当第一反射系数未超出阈值时或重复执行上述步骤预设次数时，逻辑控制单元计算当前射频电源的电信号参数，并根据反射校准参数获取电信号参数的误差值；逻辑控制单元根据误差值计算马达的转速，计算第二反射系数；逻辑控制单元确认第二反射系数小于阈值时，阻抗匹配完成。该方法用于在采样的信号为脉冲包络信号时快速进行射频电源与等离子体反应腔的阻抗匹配。
阻抗匹配方法装置介质

[发明专利]一种射频电源的智能控制方法及系统-CN202310049423.1有效
发明人：朱培文;尹巧星 -专利权人： 江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-02-01 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本发明公开了一种射频电源的智能控制方法及系统，涉及计算机应用技术领域，所述方法包括：通过反馈量检测模块得到目标射频电源的目标同步信号；分析判断所述目标射频电源是否达到预设状态要求；若是，调用预设控制方案，并提取第一预设控制方案，对目标晶闸管进行启动控制，得到稳步上升电压；达到预设额定电压时提取第二预设控制方案；对目标电流进行启动控制，得到电流控制结果；确定目标触发电路；对目标射频电源进行启动控制。解决了现有中对射频电源的控制存在智能化程度低，电源控制不稳定的问题。实现了提高射频电源启动控制智能化程度的目标，达到了软启动控制，降低高压电路对电子管及周围电路的冲击，减小元器件损害的效果。
一种射频电源智能控制方法系统

[实用新型]一种机柜的控制系统-CN202321259656.6有效
发明人：尹巧星;戚银晟;朱国俊 -专利权人： 江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体生产机柜技术领域，尤其涉及一种机柜的控制系统。其包括：机柜及控制模组，机柜中安装有机架，以将机柜分置为前后两部分，机架上方安装有隔板，隔板后侧安装有总供开关，机架下方安装有电源设备；控制模组安装于隔板前侧，控制模组包括：MCU及与MCU连接的数字通讯模块、电压采集回路、信号采集回路、电压控制回路及信号控制回路；数字通讯模块用于输出MCU的数字信号至电源设备；电压采集回路和信号采集回路分别用于采集外部机台的电压信号及控制信号传递至MCU；电压控制回路和信号控制回路分别用于向外部机台发送处理后的电压信号及控制信号。本实用新型用于解决现有机柜中控制模块控制精度不高的问题。
一种机柜控制系统

[实用新型]一种机柜水路结构-CN202321259611.9有效
发明人：尹巧星;戚银晟;居培培;朱国俊 -专利权人： 江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体产品生产设备技术领域，尤其涉及一种机柜水路结构。其包括：机柜、混水器及若干支路水管，机柜中安装有机架，以将机柜分置为分别用于安装电源设备及水路的前后两部分，机架上方安装有隔板，隔板前后两侧分别安装有连接电源设备的控制电路及总供开关；混水器安装于机柜后部的侧壁上，混水器入口连接有从机柜背面接入的主水管；支路水管一端通过快插接头与混水器的若干出口连接，另一端与电源设备连接，用于给电源设备循环降温。本实用新型用于解决原有机柜水路结构不合理的问题。
一种机柜水路结构

[实用新型]一种远程等离子发生器的腔体结构-CN202320887249.3有效
发明人：朱培文;朱国俊;潘小刚;潜世军 -专利权人： 江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H05H1/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了等离子发生器技术领域内的一种远程等离子发生器的腔体结构，包括：一进气口，进气口上方还设置有进气口座；一进气端长腔体，上端与进气口下端连接；两短腔体，上端分别与进气端长腔体连接；一出气端长腔体，上端分别与两短腔体的下端连接；一出气口，上端与出气端长腔体连接；其中，进气口、进气端长腔体、短腔体、出气端长腔体、出气口组合成完整腔体，完整腔体内部分别开设有气腔和冷却水道。该腔体结构的气体循环通道和冷却水道都在腔体上，冷却水道分布在气腔的外侧，热传导效率更高，从而延长了腔体及密封件的使用寿命，提高了生产效率。
一种远程等离子发生器结构

[实用新型]一种远程等离子发生器的散热系统-CN202320887237.0有效
发明人：朱培文;朱国俊;潘小刚;潜世军 -专利权人： 江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H05H1/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种远程等离子发生器的散热系统，该系统包括电离腔体和散热装置；电离腔体内设置有两个冷却水道；散热装置包括散热盘、进水管、第一出水管、第二出水管和回水管，散热盘内开设有水盘流道，散热盘包括第一散热盘和第二散热盘；进水管一端连通第一散热盘和第二散热盘的进水口，另一端用以连接冷却水泵；第一出水管一端与第一散热盘的出水口连通，另一端用以连接一个冷却水道的进水端；第二出水管一端与第二散热盘的出水口连通，另一端用以连接另一个冷却水道的进水端；回水管，一端用以两个冷却水道的出水端，另一端用以连接冷却水泵。该散热系统通过外置的散热盘配合电离腔体内的冷却水道，内外同步换热，提升了散热效率。
一种远程等离子发生器散热系统

[实用新型]一种用于射频环境的漏水检测装置-CN202320538338.7有效
发明人：朱培文;尹巧星;陈樱宜 -专利权人： 江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G01M3/16 文献下载
摘要：本实用新型属于漏水检测技术领域，尤其涉及一种用于射频环境的漏水检测装置。其包括：依次连接的漏水检测单元、低通滤波单元、电压比较单元和控制模块单元，以及均与漏水检测单元、电压比较单元及控制模块单元连接的供电模块单元,漏水检测单元外部罩设有一屏蔽罩；漏水检测单元包括：串联在供电模块单元与接地之间的电容C21和电阻R12，电容C21与电阻R12两端并联有电容C19，电容C21两端作为漏水接线口，电容C21和电阻R12之间的第一节点与低通滤波单元连接。本实用新型用于解决射频信号干扰检测的问题。
一种用于射频环境漏水检测装置

[实用新型]一种三相电压监控电路-CN202320603639.3有效
发明人：朱培文;潘小刚;束寅志;朱国俊 -专利权人： 江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-03-24 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G01R19/00 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体产品技术领域，尤其涉及一种三相电压监控电路。其包括：电压采样电路、三相整理电路及光耦隔离电路，电压采样电路的输入端与三相电压连接，电压采样电路包括：三条分别与三相电压连接的采样支路，采样支路包括串联的第一电容与第一电阻，用于降压采集三相电压信号；三相整流电路的输入端与电压采样电路输出端连接，用于对接收的三相电进行整流，以输出直流电信号；光耦隔离电路通过母线连接于三相整流电路输出端，光耦隔离电路的输出端连接外部采样电路，通过光耦隔离电路进行高压隔离，以控制其输出端的通断。本实用新型用于解决避免高压损坏控制芯片导致电路可靠性降低的问题。
一种三相电压监控电路

[实用新型]一种远程等离子发生器的散热装置-CN202320887895.X有效
发明人：朱培文;朱国俊;潘小刚;潜世军 -专利权人： 江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H05H1/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了等离子发生器技术领域内的一种远程等离子发生器的散热装置，包括：散热盘，内开设有水盘流道，还设置有进水口和出水口，水盘流道连通进水口和出水口，散热盘包括第一散热盘和第二散热盘；进水管，一端连通第一散热盘和第二散热盘的进水口，另一端用以连接冷却水泵；第一出水管，一端与第一散热盘的出水口连通，另一端用以连接电离腔体的进水端；第二出水管，一端与第二散热盘的出水口连通，另一端用以连接电离腔体的进水端；回水管，一端用以连接电离腔体的出水端，另一端用以连接冷却水泵。该散热装置的散热盘为主要散热器件，结构简单散热效果好。
一种远程等离子发生器散热装置

[实用新型]一种电镀设备电流检测系统-CN202320703759.0有效
发明人：朱培文;尹巧星;朱国俊;项羽 -专利权人： 江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-03 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： G01R19/00 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体制造技术领域，提供了一种电镀设备电流检测系统，包括：若干电流检测模块，电流检测模块和待测直流电源一一对应设置；电流检测模块之间级联，电流检测模块的地址根据对应的待测直流电源的IP地址确定；一数据采集模块，和电流检测模块连接，数据采集模块包括用户数据接口，用户通过用户数据接口用以获取电镀设备的电流数据。本实用新型提供的一种电镀设备电流检测系统，用户通过数据采集模块的用户数据接口，可实现与电镀设备电流检测系统的数据交互，确定当前实时电流从而确定电镀设备电流的稳定性。
一种电镀设备电流检测系统

[实用新型]一种射频设备端口连接状态监测装置-CN202320379477.X有效
发明人：朱培文;尹巧星;殷志诚 -专利权人： 江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-03-03 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： G01R31/69 文献下载
摘要：本实用新型属于射频连接器的技术领域，具体涉及一种射频设备端口连接状态监测装置。本实用新型包括：底座，底座设在射频设备上，底座的中心开设有第一通孔，第一通孔套在射频设备的端口上；微动开关，微动开关设在底座上；压片，压片通过弹性伸缩件设在底座的正面，压片的中心开设有第二通孔，第二通孔用于套接与端口连接的电缆端口；微动开关的拨片朝向压片；压片的伸缩行程可用于控制微动开关的接通或断开。本实用新型用于解决现有技术中射频设备端口连接的射频连接器的连接状态无法实时监测，需要人工巡检，不能让设备及时恢复正常工作状态的技术问题。
一种射频设备端口连接状态监测装置

[发明专利]一种等离子系统的点火电路结构及点火保护方法-CN202310766706.8在审
发明人：朱培文;朱国俊;束寅志 -专利权人： 江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-06-26 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明公开了等离子体源领域内的一种等离子系统的点火电路结构，包括功率电路、变压器T1、变压器T2、干簧继电器KR1、电感L1、电感L2、电容C1以及整流电路；功率电路与变压器T1的主绕组连接，电容C1和电感L2的一端分别连接于变压器T1的次级绕组的两端，电容C1的另一端分别与电感L1、干簧继电器KR1的一端连接，干簧继电器KR1的另一端与变压器T2的主绕组的一端连接，变压器T2的主绕组的另一端连接于电感L2和变压器T1之间，电感L1、电感L2的另一端分别连接于整流电路，变压器T2的次级绕组与点火电路连接。该点火电路结构抗干扰能力较强，通过芯片控制调节可有效避免浪涌大电流，提高了干簧继电器的使用寿命，从而能保护精密的设备，提高系统的可靠性。
一种等离子系统点火电路结构保护方法

[发明专利]一种可变电容驱动电机转矩控制方法及装置-CN202310564599.0有效
发明人：朱培文;尹巧星;束寅志 -专利权人： 江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-19 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H02P21/05 文献下载
摘要：本发明属于电机控制技术领域，提供了一种可变电容驱动电机转矩控制方法及装置。其中本发明的方法包括：获取电机的实际转矩值和实际磁链值；根据实际转矩值和实际磁链值获取k+1时刻的预测转矩值和预测磁链值；根据实际磁链值和定子磁链额定值的关系，确定工作模式并选取价值函数以确定输出矢量值；所述价值函数根据预测转矩值、预给定的转矩参考值，和，预测磁链值及实际磁链值计算获得，输出矢量值作用于逆变器以改变电机的转矩，转矩参考值根据可变电容确定；电机带动可变电容转动，以使可变电容到达匹配位置。本发明基于磁链是否需要限幅进行分情况处理，提高了电机的控制效果，从而提升了可变电容的调节效率。
一种可变电容驱动电机转矩控制方法装置

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