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[发明专利]一种光学设备及实现自动聚焦的方法-CN202010157863.5有效
发明人：陈鲁;李青格乐;江博闻 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-03-09 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本申请公开了一种光学设备及实现自动聚焦的方法。该方案中，光学设备包括光学处理模块和自动聚焦模块，其中，光学处理模块用于实现该光学设备固有的光学处理功能；而自动聚焦模块则用于实现对该光学设备的自动聚焦。自动聚焦模块中包括光源和第一共聚焦器件，应用该光源和第一共聚焦器件即采用共聚焦技术，提升自动聚焦的精度。因此，该光学设备可以很好地应用在对于自动聚焦精度具有较高要求的光学处理环节。
一种光学设备实现自动聚焦方法

[实用新型]一种光学器件调节机构及光学检测系统-CN202223530959.5有效
发明人：胡志伟;黄有为;江博闻;宋训鹏;吕肃;陈鲁;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光学器件调节机构及光学检测系统，光学器件调节机构包括光学器件安装座，光学器件安装座的外周部设有至少一层柔节，柔节具有环形设置的悬臂梁；悬臂梁上设有多个旋转调节件，各旋转调节件穿透对应的悬臂梁并抵触于对应的法兰面；旋转调节件与所穿透的悬臂梁以能够旋进的方式相配合，通过调节悬臂梁与法兰面之间的间距改变光学器件安装座的轴偏角度。该调节机构结构简单、易于操作，且具有更高的调节精度，能够很好地满足实际使用要求。
一种光学器件调节机构检测系统

[发明专利]含二维纳米添加剂的固态聚合物电解质及制备方法和应用-CN202310261720.2在审
发明人：许恒辉;黄云辉;江博闻;侯添壹 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： H01M10/0565 文献下载
摘要：本发明公开了一种含二维纳米添加剂的固态聚合物电解质及制备方法和应用，属于锂金属电池技术领域。该固态聚合物电解质制备方法为：将过渡金属磷硫化物前驱体、锂盐和聚合物加入到分散剂中，搅拌使过渡金属磷硫化物剥离锂化及形成聚合物电解质前驱体溶液；搅拌结束得到混合物浆料；其中，过渡金属磷硫化物前驱体包括FePS3，MnPS3，CdPS3，ZnPS3中的一种或多种；将混合物浆料涂覆在模具上，干燥得到含二维纳米添加剂的固态聚合物电解质。该制备方法为一步法锂化制备二维纳米添加剂，相比于两步碱金属离子锂化法更简便，对锂电池性能无不利影响，且避免杂质水的引入。
二维纳米添加剂固态聚合物电解质制备方法应用

[实用新型]检测系统-CN202222386271.8有效
发明人：莫云杰;江博闻;姚本溪;吕肃;陈鲁;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：一种检测系统，包括：照明模块，包括照明组件和第一镜组，照明组件用于产生入射光；第一镜组用于收集入射光、并将入射光照射至待测物，还用于收集入射光经过待测物反射形成的信号光；成像模块，包括成像组件，成像组件包括图像采集器，图像采集器用于根据信号光对第一镜组的监测面进行成像，获得监测面的第一图像，且用于根据信号光对待测物表面进行成像，获得待测物表面的第二图像，其中，监测面为第一镜组远离待测物的一侧的平面。本实用新型有利于提高检测精度。
检测系统

[发明专利]对准系统及对准方法-CN202110129422.9有效
发明人：陈鲁;李青格乐;江博闻;蒋璐翔 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种对准系统，对准系统包括光源、第一成像系统、第二成像系统及处理系统，光源用于产生探测光，探测光经待测物之后形成信号光，经待测物边缘形成的信号光为第一信号光，经待测物的定位图案形成的信号光为第二信号光，第一信号光携带待测物边缘的信息，第二信号光携带待测物的基准角点的信息；第一成像系统用于根据第一信号光以第一倍率对待测物边缘进行成像，以获取待测物边缘的第一图像；及第二成像系统用于根据第二信号光以第二倍率对待测物的定位图案进行成像，以获取待测物的定位图案的第二图像，第二倍率大于第一倍率；处理系统用于根据第一图像和第二图像获取待测物的位置信息。本申请还公开了一种对准方法。
对准系统方法

[发明专利]检测方法和检测系统-CN202210644460.2有效
发明人：陈鲁;莫云杰;江博闻;姚本溪;吕肃;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2022-06-09 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： H04N5/225 文献下载
摘要：一种检测方法和检测系统，检测方法包括：通过照明模块产生入射光，入射光经待测物后形成信号光；利用第一镜组收集信号光，并使信号光到达成像模块；利用成像模块的探测器根据信号光对第一镜组的监测面进行成像，获取监测面的第一图像，其中，监测面为第一镜组远离待测物的一侧的平面；根据探测器获取的第一图像，对照明模块进行调节，以调节入射光的照明角度。本发明有利于提高检测精度。
检测方法系统

[发明专利]检测设备及检测方法-CN202010369780.2有效
发明人：陈鲁;李青格乐;江博闻;吕肃;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-05-06 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供一种检测设备与检测方法。检测设备包括：第一探测模块，用于收集待测物表面第一子区域反射的第一光束形成第一信号光；第二探测模块，用于收集待测物表面第二子区域反射的第二光束形成第二信号光，所述第一光束的中心轴与所述第二光束的中心轴呈夹角设置；处理模块，用于根据收集的所述第一信号光获取所述待测物表面第一子区域的三维坐标，并根据收集的所述第二信号光获取所述待测物表面第二子区域的三维坐标。本发明解决了无法完全检测出多样化的待测物的形貌的技术问题。
检测设备方法

[实用新型]一种照明装置及检测系统-CN202220285036.9有效
发明人： 江博闻;黄有为;吕肃;陈鲁 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2022-02-11 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种照明装置及检测系统，包括：光源组件和切光模组，切光模组包括：第一光阑组件和第二光阑组件，第一光阑组件包括第一透光区和位于第一透光区外围的第一遮光区，第一透光区的尺寸可调；第二光阑组件包括第二透光区和位于第二透光区外围的第二遮光区，第二透光区的尺寸可调；第二透光区至少沿一个方向的最大尺寸大于第一透光区的尺寸，第一透光区和第二透光区的中心均位于射向切光模组的照明光束的中心轴上。该照明装置，切换不同的照明方式，操作十分方便，并且仅需设置单个光源组件和探测组件即可，大大降低了成本，同时也有助于减小检测系统的整体体积。
一种照明装置检测系统

[实用新型]一种物镜及成像系统-CN202220491072.0有效
发明人： 江博闻;黄有为;吕肃;苏胜飞;陈鲁 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2022-03-02 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种物镜及成像系统，该物镜包括了第一镜组和第二镜组。第一镜组用于减少物镜的色差，第二镜组用于减少物镜的场曲，第一镜组又包括了第一子镜组和第二子镜组，第一子镜组用于增加物镜的数值孔径，第二子镜组用于减小物镜的色差。该物镜中的镜组共同形成了一种无限共轭物镜，利用第一镜组实现了在可见光范围内消放大率色差的效果，且在保持数值孔径较大的同时，达到了增大工作距离的效果；利用第二镜组减小了场曲，校正了像差。该物镜在对像差要求极高的测量系统中可以大大提高系统的测量精度。
一种物镜成像系统

[发明专利]检测方法及装置、检测设备和存储介质-CN202210163288.9在审
发明人：陈鲁;莫云杰;江博闻;王紫媛;吕肃;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2022-02-22 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请实施方式的检测方法包括在待测件的待测部位于检测设备的视场范围内的情况下，通过检测设备进行第一检测，以获取来自待测部的第一辐射，并根据第一辐射获取待测部的第一检测信息；根据第一检测信息，确定待测部与目标位置在垂直于检测设备辐射的中心轴的平面内的位置偏差；根据位置偏差使待测件与检测设备相对移动，以使待测部与目标位置重合；在待测部与目标位置重合之后，通过检测设备对待测部进行第二检测，获取待测部的待测信息。本申请实施方式的检测方法、检测装置、检测设备和非易失性计算机可读存储介质，可提高后续待测部的检测准确性，从而提高待测件不同层的对准误差的准确性、重复性和稳定性，并提高针对多层待测件测量的效率。
检测方法装置设备存储介质

[发明专利]检测设备及检测设备的工作方法-CN201910394105.2有效
发明人：陈鲁;李青格乐;邓旺财;江博闻;吕肃 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2019-05-13 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种检测设备，包括承载结构、旋转机构、特征结构和检测机构，其承载结构用于承载固定待测物，其旋转机构用于带动承载结构绕旋转轴旋转，其特征结构用于确定检测特征点，检测机构在检测过程中先后对特征结构旋转前后的两个特征区域进行检测，得到两侧特征区域对应的检测特征点的坐标数据，进而得到特征结构旋转前后的转换关系。利用检测机构先后检测待测物旋转前后的两个表面，获得待测物两个表面的检测结果，利用上述转换关系将待测物两个表面的检测结果转换至同一坐标系下，即可得到待测物两个表面的相对位置关系。本发明还公开了一种检测设备的工作方法。
检测设备工作方法

[发明专利]一种自动聚焦的光学干涉测量装置及聚焦方法、存储介质-CN202111163424.6在审
发明人：陈鲁;吕肃;江博闻;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本申请涉及一种自动聚焦的光学干涉测量装置及聚焦方法、存储介质，其中光学干涉测量装置包括干涉光源、光学传感器、驱动机构和处理器。由处理器获取干涉信号的包络曲线，根据包络曲线得到光学传感器的粗聚焦位置，在粗聚焦位置的预设范围内将干涉信号与预设的标准干涉信号进行比较，得到光学传感器的精准聚焦位置，从而在精准聚焦位置将光学传感器聚焦在被测物体的表面。技术方案通过计算粗聚焦位置、精准聚焦位置来逐渐确定光学传感器的聚焦位置，相比传统单一的包络线拟合方法，这样更能够提高光学传感器的聚焦精度。
一种自动聚焦光学干涉测量装置方法存储介质

[发明专利]套刻标记及套刻误差的测量方法-CN202010344325.7有效
发明人：陈鲁;吕肃;李青格乐;江博闻;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-04-27 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： H01L23/544 文献下载
摘要：本申请公开了一种套刻标记及套刻误差的测量方法，其中套刻标记位于基底中，至少包括第一测量方向，第一测量方向和第二测量方向不平行，该套刻标记包括第一标识和第二标识；第一标识和第二标识分别位于基底不同的层，和/或第一标识和第二标识在不同工艺过程中形成；第一标识与第二标识在投影平面内相互错开，分别包括两个延伸方向的条纹单元，且条纹单元的延伸方向在投影平面内是倾斜的，不与测量方向重合。由于套刻标记中的条纹单元的延伸方向与第一测量方向存在夹角，因此该套刻标记对旋转角度很敏感，可以测量到微小的旋转角度，提高了套刻误差的测量精度。
标记误差测量方法

[发明专利]一种调节装置及其调节方法-CN202110741533.5在审
发明人：陈鲁;张祖俊;江博闻;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明提供一种检测设备，包括：待调元件，所述待调元件具有至少一个功能区，所述功能区用于与基准位置对准；用于使功能区与基准位置对准的调节组件，一个所述调节组件用于使一个所述功能区与所述基准位置对准；所述调节组件包括：与所述基板可移动连接的传力件，所述传力件包括第一端，当所述传力件沿第一方向移动时通过第一端推动所述待调元件沿第二方向移动，以使功能区与基准位置对准；限位件，用于当所述功能区与基准位置对准时，限制所述传力件沿第一方向的移动。所述调节装置能够防止待调元件在使用过程中发生松动，进而提高稳定性。
一种调节装置及其方法

[发明专利]一种检测方法和检测系统-CN201910452592.3有效
发明人：陈鲁;李青格乐;吕肃;江博闻 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2019-05-28 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种检测方法和检测系统，包括：提供检测设备，所述检测设备具有第一坐标系和第二坐标系；提供待测物，所述待测物包括相对的第一面和第二面，所述第一面具有待测点，所述第二面具有至少三个不共线的临近点，所述临近点与所述待测点之间的距离在预设范围内；通过所述检测设备对所述待测点进行第一检测，获得所述待测点在所述第一坐标系下的第一坐标；通过所述检测设备对至少三个所述临近点进行第二检测，获得所述临近点在所述第二坐标系下的第二坐标；根据所述第一坐标和所述第二坐标，获取所述待测点到所述至少三个临近点所在平面的距离，得到待测点的高度值或厚度值，从而解决了无法获取待测物上任意点的高度或厚度信息的问题。
一种检测方法系统

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