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- [发明专利]载置台和等离子体处理装置-CN201710838643.7有效
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佐佐木康晴;佐藤大树;永山晃
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东京毅力科创株式会社
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2017-09-18
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2020-03-06
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H01J37/32
- 本发明提供一种能够防止异常放电的载置台和等离子体处理装置,该等离子体处理装置具备该载置台。载置台(2)具备静电卡盘(6)、基材(2a)、气体用隔离件(204)以及销(31)。静电卡盘具有供晶圆(W)载置的载置面(21)和与载置面(21)相对的背面(22),在载置面形成有第1贯通孔(17)。基材(2a)与静电卡盘(6)的背面(22)接合,形成有与第1贯通孔(17)连通的第2贯通孔(18)。气体用隔离件呈筒状,被插入于第2贯通孔(18)。销(31)被收容于第1贯通孔(17)和气体用隔离件(204)。销(31)与第1贯通孔(17)以及气体用隔离件(204)各自的内壁隔开间隙地配置,第1贯通孔与销之间的间隙比气体用隔离件与销之间的间隙大。
- 载置台等离子体处理装置
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