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[实用新型]一种光刻胶旋涂设备-CN202320107743.3有效
发明人：聂树平;王忠诚;王恒;周立早;武学俊 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2023-02-03 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光刻胶旋涂设备，属于半导体制造领域，所述设备至少包括：工作腔体，以形成工作腔室；旋转单元，所述旋转单元包括容纳槽，所述容纳槽容纳晶圆；喷胶单元，位于所述晶圆的一侧，且允许所述喷胶单元远离或靠近所述晶圆；以及预烘单元，设置在所述工作腔室内，所述预烘单元和所述喷胶单元位于所述晶圆的同一侧，且所述预烘单元与所述喷胶单元交替移至所述晶圆上。本实用新型提供的一种光刻胶旋涂设备，能够提高光刻胶的覆盖均匀性。
一种光刻胶旋涂设备

[实用新型]相移掩模版-CN202320113037.X有效
发明人： 武学俊 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2023-01-19 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： G03F1/34 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种相移掩模版，包括：透明基底和掩模图形层，掩模图形层位于透明基底上，其包括若干掩模图形和透光区，相邻两个掩模图形之间为透光区，掩模图形的侧面相对于透明基底的表面倾斜，且相邻两个透光区之间的掩模图形包括边缘部分和中心部分，边缘部分的透光率大于6％且小于或等于20％。本实用新型能够避免出现边峰叠加现象，能够获得良好的光刻胶图形。
相移模版

[发明专利]一种中锰低密度钢成形性能评价方法-CN202111442242.2在审
发明人：章小峰;林方敏;邢梅;武学俊;唐立志 -专利权人：安徽工业大学
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： G01N3/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种中锰低密度钢成形性能评价方法，包括以下步骤：S1、翻边性能试验；S2、胀形性能试验；S3、弯曲性能试验；以中锰低密度钢为原始材料进行扩孔、杯突和弯曲等实验；其中中锰低密度钢Mn含量为5～12％，Al含量为2～6％；成形试验可用于研究材料的翻边、胀形和回弹等冲压性能，并通过控制凸模速率、压边力、润滑等条件因素，研究其对成形规律的影响，提供工艺参数为生产进行指导，对于实际生产起到引导作用。
一种中锰低密度成形性能评价方法

[发明专利]一种基于有限元数值模拟的棒材芯表温差计算方法-CN202110884326.5在审
发明人：赵林;章小峰;武学俊;黄贞益;李佑河;席波;侯群峰 -专利权人：南京钢铁股份有限公司;安徽工业大学
申请日： 2021-08-03 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： G06F30/23 文献下载
摘要：本发明提出了一种基于有限元数值模拟的棒材芯表温差计算方法，首先基于有限元分析软件实现对大规格棒材的精确建模、划分网格、建立边界条件及表面单元及空间节点的建立等工作；然后利用POST26后处理器对空冷过程中的大规格棒材的芯表温度进行瞬态分析，分别计算出芯表温度曲线，进行求差计算得到芯表温度差。本发明基于有限元模拟的方法对大规格棒材空冷芯表温度的变化规律进行分析，为后续芯表温差的控制提供了更可靠、更快速的指导方法，节省了大量人力及物理损耗。
一种基于有限元数值模拟棒材芯表温差计算方法

[发明专利]一种考虑相变热的大规格棒材空冷温度场计算方法-CN202110888962.5在审
发明人：赵林;席波;章小峰;武学俊;黄贞益;李佑河;侯群峰 -专利权人：南京钢铁股份有限公司;安徽工业大学
申请日： 2021-08-03 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： G06F30/23 文献下载
摘要：本发明公开了一种考虑相变热的大规格棒材空冷温度场计算方法，首先基于有限元分析软件实现对大规格棒材的精确建模、划分网格、建立边界条件及表面单元及空间节点的建立等工作；然后利用POST26后处理器对大规格棒材空冷过程的温度场进行瞬态分析，计算棒材芯部考虑相变热的温度变化曲线。本发明方法考虑了大规格棒材空冷过程中相变过程产生的热量对棒材空冷温度场的影响，克服了现有研究对棒材空冷温度场计算时忽略相变热的缺陷，不仅提高了空冷温度场的计算精度，而且降低了建模的复杂性和计算量，能够高效预测大规格棒材空冷过程的温度分布。
一种考虑相变规格棒材空冷温度场计算方法

[发明专利]一种Fe-Mn-Al-C系中锰低温钢及其制备方法-CN201910839719.7有效
发明人：章小峰;万亚雄;李家星;武学俊;黄贞益 -专利权人：安徽工业大学
申请日： 2019-09-06 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： C22C38/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种Fe‑Mn‑Al‑C系中锰低温钢及其制备方法，其化学成分及质量分数为：Mn：12～15％，Al：4.5％～5％，C：0.1～0.12％，余量为Fe和不可避免的杂质元素。低温钢的奥氏体组织体积分数≥47.7％，‑80℃夏比冲击试验冲击功≥33J。将具有与上述Fe‑Mn‑Al‑C系中锰低温钢相同成分的钢坯经过锻造和多道次轧制之后，对所获得的轧制坯进行淬火+回火的热处理，制备在低温下具有优异冲击韧性的Fe‑Mn‑Al‑C系中锰低温钢，其制备方法简单。
一种 fe mn al 系中锰低温及其制备方法

[发明专利]一种改善Fe-Mn-Al-C系TRIP钢力学性能的热处理方法-CN201910839718.2在审
发明人：章小峰;万亚雄;李家星;武学俊;黄贞益 -专利权人：安徽工业大学
申请日： 2019-09-06 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： C21D8/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种改善Fe‑Mn‑Al‑C系TRIP钢力学性能的热处理方法，属于新材料热处理领域。本发明包括以下步骤：S1、冶炼：按照TRIP钢合金成分准备锰块、铁块、铝块以及碳粉，在保护气体氛围下冶炼；S2、锻造：将熔炼好的钢锭加热保温，锻造为钢坯，空冷至室温；S3、热轧：将坯料在加热炉中加热保温，并轧成热轧板，轧后采用空冷；S4、淬火及回火处理：将热轧板工件钢以预设速度加热升温至淬火温度，将工件水淬至室温，然后加热保温，随后空冷至室温。本发明克服现有技术中TRIP钢热处理成本较高、工艺复杂的不足，采用淬火+回火工艺，相比于临界热处理+贝氏体等温转变和奥氏体逆转变，该方法操作简单，比传统的热轧TRIP钢的性能更优异。
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