|
钻瓜专利网为您找到相关结果 8个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]衬托器-CN200580010359.6无效
-
木本恒畅;松波弘之;藤原广和
-
东洋炭素株式会社
-
2005-03-28
-
2007-03-28
-
H01L21/205
- 本发明提供一种用于半导体外延生长、能同时得到多张一致性较高的外延膜的衬托器。本发明的一种衬托器,是用于半导体外延生长的衬托器,包括:筒型衬托器,具有多个面,所述面在外侧自由地载置多个衬底;和下述部件,其在内部配置前述筒型衬托器,具有相对于前述筒型衬托器的各前述面以向与该面相同的方向倾斜的方式对置配置的面。本发明的另一种衬托器包括:筒型衬托器,具有多个面,所述面在内侧自由地载置多个衬底;和下述部件,其在外周部配置前述筒型衬托器,具有相对于前述筒型衬托器的各前述面以向与该面相同的方向倾斜的方式对置配置的面。
- 衬托
- [发明专利]场效应晶体管-CN200480009832.4有效
-
藤川一洋;原田真;松波弘之;木本恒畅
-
住友电气工业株式会社
-
2004-05-21
-
2006-05-17
-
H01L29/808
- 在SiC单晶衬底(1)上,形成电场驰豫层(12)和p-型缓冲层(2)。电场驰豫层(12)被形成在p-型缓冲层(2)和SiC单晶衬底(1)之间,以使它与SiC单晶衬底(1)接触。在p-型缓冲层(2)上,形成n型半导体层(3)。在n型半导体层(3)上,形成p型半导体层(10)。在p型半导体层(10)上,n+型源极区域层(4)和n+型漏极区域层(5)彼此以预定的距离分开形成。在位于n+型源极区域层(4)和n+型漏极区域层(5)之间的p型半导体层(10)的区域的一部分上,形成p+型栅极区域层(6)。
- 场效应晶体管
|