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- [发明专利]用于半导体器件的漂移区的制造方法-CN202110094799.5在审
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韩广涛
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杰华特微电子(杭州)有限公司
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2021-01-25
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2021-06-08
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H01L21/266
- 本发明涉及半导体技术领域,具体涉及一种用于半导体器件的漂移区的制造方法,在实现稳定的互为反版的不同注入区中,利用图案化掩膜版蚀刻一介质层形成开口区域,并在开口区域经第一次离子注入形成第一注入区;再去除该图案化掩膜版后在开口区域淀积形成另一介质层,使该另一介质层填充该开口区域;而后去除该开口区域外的前一介质层,再以该另一介质层为阻挡经第二次离子注入在第一注入区两侧形成第二注入区;最后蚀刻去除衬底表面的介质层,以此形成漂移区,使形成有该漂移区的衬底表面为平坦的平面,且两次注入离子的掺杂类型相反。由此一方面能减少光刻工艺步骤,节省制造成本,另一方面也能使衬底表面平坦化,提高成型器件的电性能。
- 用于半导体器件漂移制造方法
- [发明专利]横向双扩散晶体管及其制造方法-CN202110049987.6在审
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葛薇薇
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杰华特微电子(杭州)有限公司
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2021-01-14
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2021-06-04
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H01L29/78
- 本公开涉及半导体技术领域,提供了一种横向双扩散晶体管及其制造方法,该LDMOS器件包括:在衬底上设置的第一外延层和第二外延层;在该第二外延中设置的沿第一方向排列且间隔分布的两个沟槽栅结构;沿第二方向定义该第二外延层上位于前述沟槽栅结构的一侧依次为第一漂移区和漏端区域,位于该沟槽栅结构的另一侧为源端区域;以及沿第一方向在两个沟槽栅结构之间的第二外延层上设置平面栅结构,在该漏端区域设置的漏注入区和在该源端区域设置的源注入区;该漏注入区、源注入区和栅结构上的金属接触分别对应引出到漏电极、源电极和栅电极。由此可以有效提高该LDMOS器件的耐压,降低其导通电阻。
- 横向扩散晶体管及其制造方法
- [发明专利]垂直双扩散晶体管及其制造方法-CN202011408862.X在审
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陈斌;韩广涛
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杰华特微电子(杭州)有限公司
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2020-12-03
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2021-04-02
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H01L29/78
- 本公开涉及半导体技术领域,提供了一种垂直双扩散晶体管及其制造方法,形成的该VDMOS器件以第一沟槽的中心轴线为轴对称结构,该VDMOS器件在漏极区域通过贯穿至第一埋层上表面的第一沟槽形成金属接触引出漏电极,且引出的漏电极位于该高压VDMOS器件远离衬底的顶部表面。由此可在BCD工艺中集成VDMOS器件,实现了低导通电阻和高电流的驱动能力,且无需从器件结构底部将漏极引出,提高了器件的集成密度。同时以纵向梯度分布的至少两层埋层结构代替漂移区与体区形成PN结,在器件反向击穿时利用连通至第一埋层中注入区的漏电极使该PN结接近平行平面结,有效提高该VDMOS器件的耐压。
- 垂直扩散晶体管及其制造方法
- [发明专利]横向双扩散晶体管的电路模型及其建模方法-CN202011318318.6在审
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蒋盛烽
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杰华特微电子(杭州)有限公司
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2020-11-23
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2021-02-12
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G06F30/367
- 本发明公开了一种横向双扩散晶体管的电路模型及其建模方法,该电路模型包括:标准BSIM4模型;串联于标准BSIM4模型上的栅端‑体端等效电容,包括多个栅端‑体端等效电容修正项系数,用于修正栅端‑体端电容;串联于标准BSIM4模型上的栅端‑漏端等效电容,包括多个栅端‑漏端等效电容修正项系数,用于修正栅端‑漏端电容,其中,该电路模型用于表征横向双扩散晶体管的电容特性。该LDMOS的电路模型及其建模方法在BSIM4模型的基础上,加上了定制的栅端‑体端等效电容和栅端‑漏端等效电容,使得该电路模型在利用BSIM4模型的收敛性、兼容性和较快的仿真速度的同时,也能准确的表征LDMOS的电容特性,克服了BSIM模型无法准确表征LDMOS的电容特性的问题。
- 横向扩散晶体管电路模型及其建模方法
- [发明专利]横向双扩散晶体管的制造方法-CN202010674577.6在审
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韩广涛
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杰华特微电子(杭州)有限公司
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2020-07-14
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2020-10-09
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H01L21/336
- 本发明涉及半导体技术领域,提供了一种横向双扩散晶体管的制造方法,其包括:在衬底中形成漂移区;在衬底上形成栅极结构,该栅极结构定义出相互隔开的源端区域和漏端区域,该栅极结构包括在衬底上依次堆叠形成的栅氧化层和多晶硅层;在源端区域的衬底中形成沟道区,前述漂移区围绕该沟道区设置;以及在源端区域和漏端区域分别形成源极区和漏极区,而在前述源端区域形成源极区的过程中,利用工艺多次形成的侧墙结合多晶硅层在源端区域上方的间隔,通过掺杂离子自对准注入形成具有不同掺杂类型、不同掺杂浓度注入区的源极区。由此可以缩小多晶硅层在源端区域上方的间距,缩小形成的器件尺寸,有效的降低源漏导通电阻。
- 横向扩散晶体管制造方法
- [发明专利]半导体器件-CN202010741338.8在审
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韩广涛;葛薇薇
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杰华特微电子(杭州)有限公司
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2020-07-29
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2020-10-02
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H01L29/73
- 公开了一种半导体器件,包括衬底和位于衬底上的体区,体区上表面包括依次连接的集电区、基区和发射区,在集电区和基区区域中包括场氧区,在该场氧区上包括场板结构,该场板结构为阶梯场板结构。本发明的半导体器件的场板结构在集电区与基区之间的PN结反偏时,可以调节集电区电场,辅助耗尽集电区,在不影响集电区的尺寸和掺杂浓度的情况下,提升器件的耐压,并且阶梯场板结构在集电区和基区区域中提供不同规格的调节电场,针对不同位置提供不同的调节电场,提升了场板结构的应用效果,提升器件性能。
- 半导体器件
- [发明专利]半导体器件的制作方法及半导体器件-CN202010685965.4在审
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葛薇薇
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杰华特微电子(杭州)有限公司
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2020-07-16
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2020-09-29
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H01L21/336
- 公开了一种半导体器件的制作方法及半导体器件,其中,该半导体器件包括漂移区,在漂移区上设置有场板结构,可提高器件的击穿电压,场板结构位于栅极结构和漏端掺杂区之间,可以辅助耗尽漂移区,降低比导通电阻,其中,该场板结构与栅极结构的层结构相同,在制作中可以共用一块掩膜版刻蚀相应的层结构,一同获得栅极结构和场板结构,降低了场板技术的应用成本。本发明的半导体器件的制作方法包括在制作完漂移区的半导体器件上依次制作氧化层和多晶硅层,并采用第二掩膜版刻蚀氧化层和多晶硅层,一同获得栅极结构和场板结构,无需为制作场板结构额外消耗掩模版,降低了半导体器件应用场板技术的应用成本。
- 半导体器件制作方法
- [发明专利]横向双扩散晶体管及其制造方法-CN202010579899.2在审
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韩广涛
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杰华特微电子(杭州)有限公司
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2020-06-23
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2020-09-25
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H01L29/78
- 本发明涉及半导体技术领域,提供了一种横向双扩散晶体管及其制造方法,该横向双扩散晶体管包括:具有第一掺杂类型的衬底;位于衬底中且具有第一掺杂类型的沟道区;漂移区,位于衬底中且围绕沟道区设置,具有第二掺杂类型;位于衬底上的源极电极和漏极电极,且该源极电极位于沟道区中,该漏极电极位于漂移区中;位于衬底上的栅叠层,该栅叠层位于源极电极和漏极电极之间,包括在衬底上依次堆叠的栅氧化层和栅极电极,其中,该栅氧化层为阶梯氧化层,具有与源极电极相邻近的第一台阶和与漏极电极相邻近的第二台阶,且第一台阶的上表面高度低于第二台阶的上表面高度。由此可有效缩短电流路径,降低源漏导通电阻。
- 横向扩散晶体管及其制造方法
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