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- [发明专利]微机电三轴陀螺仪和电子设备-CN202311182057.3在审
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庄瑞芬;李诺伦
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苏州敏芯微电子技术股份有限公司
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2023-09-14
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2023-10-20
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G01C19/5691
- 本申请提供一种微机电三轴陀螺仪和电子设备；包括衬底、第一检测组件、第二检测组件、第三检测组件和驱动框架，第一检测组件和第二检测组件位于衬底的同侧且间隔设置；第一检测组件包括第一质量块，第二检测组件包括第二质量块；驱动框架包括间隔设置的第一驱动框架和第二驱动框架；第一检测组件和第二检测组件位于第一驱动框架和第二驱动框架之间；第三检测组件包括第一检测部和第二检测部，第一检测部位于第一驱动框架内，第二检测部位于第二驱动框架内；第一质量块、第二质量块、第一检测部和第二检测部相互独立。即三个检测轴的质量相互独立，彼此不直接连接，因此本申请提供的一种微机电三轴陀螺仪和电子设备，可降低各检测组件之间的干扰。
- 微机电三轴陀螺仪电子设备
- [发明专利]惯性传感器及其制作方法-CN202311148659.7在审
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李诺伦;庄瑞芬
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苏州敏芯微电子技术股份有限公司
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2023-09-07
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2023-10-20
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G03F1/80
- 本发明提供了一种惯性传感器及其制作方法，包括：形成具有环形开口部、固定部和第一止挡结构的顶盖体，形成覆盖环形开口部、固定部和第一止挡结构的氧化层，提供器件结构层，将器件结构层与顶盖体之间通过氧化层键合，刻蚀器件结构层以形成器件结构，器件结构上形成有第一镂空结构，顶盖体的第一止挡结构与器件结构的第一镂空结构通过所述氧化层连接固定，通过第一镂空结构处对覆盖于第一止挡结构的端面的氧化层进行刻蚀，以在第一止挡结构与可动质量块之间形成间隙，从而完美的实现了通过硅氧键合也能够在顶盖体面向器件结构的一侧制作第一止挡结构，并且该第一止挡结构的存在不会影响到可动质量块的正常活动。
- 惯性传感器及其制作方法
- [发明专利]惯性传感器-CN202310864666.0有效
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李诺伦;庄瑞芬
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苏州敏芯微电子技术股份有限公司
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2023-07-14
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2023-09-12
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G01P15/125
- 本发明提供了一种惯性传感器，包括：包括衬底和器件结构，所述器件结构位于所述衬底的一侧之上，所述器件结构包括可动质量块以及用于固定所述可动质量块的中心锚点，所述可动质量块包括第一质量单元和第二质量单元，所述第一质量单元的质量与所述第二质量单元的质量不等，旨在通过在邻近第一质量单元的一侧或者在邻近第二质量单元的一侧布置有静电力驱动结构，通过向所述静电力驱动结构施加电压产生静电力，使发生粘连的质量单元复位并正常工作。采用本发明提供的技术方案能够避免惯性传感器在遇到大冲击时发生粘连的问题。
- 惯性传感器
- [发明专利]MEMS加速度计-CN202211002658.7有效
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张沛;庄瑞芬;李诺伦
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苏州敏芯微电子技术股份有限公司
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2022-08-22
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2022-12-02
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G01P15/18
- 本申请公开了一种MEMS加速度计。所述MEMS加速度计包括第一检测单元以及第二检测单元；所述第一检测单元包括主质量块、第一加速度检测子单元以及第二加速度检测子单元，所述主质量块与所述第一加速度检测子单元形成第一检测电容，主质量块与第二加速度检测子单元形成第二检测电容；第二检测单元包括从质量块以及第三加速度检测子单元，从质量块与第三加速度检测子单元形成第三检测电容，其中，主质量块关于第二方向偏心设置，从质量块位于主质量块的质量相对小的一侧。本申请通过设置于第一镂空槽内的从质量块完成第三方向加速度的检测，有效解决了在不增加芯片总面积的情况下，保证三个相互垂直方向上的加速度的检测精度的问题。
- mems加速度计
- [实用新型]麦克风封装结构及电子设备-CN202221176902.7有效
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李诺伦;庄瑞芬;张沛;陈嘉辉
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苏州敏芯微电子技术股份有限公司
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2022-05-11
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2022-09-27
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H04R19/04
- 本申请公开了一种麦克风封装结构及电子设备。麦克风封装结构包括声波传递组件、壳体、以及位于所述声波传递组件一侧的声波感测组件，壳体位于所述声波传递组件的另一侧；声波感测组件包括基板、围封件以及微机电结构，基板上设置有贯穿基板的声孔，围封件与基板远离声波传递组件的一侧固定连接，以使基板和围封件形成空腔，微机电结构位于空腔内；其中，围封件的表面设置有至少一个用于接地的第一电连接结构，壳体或声波传递组件通过导电结构与第一电连接结构电连接。本申请所公开的技术方案中壳体或声波传递组件通过导电结构与接地的第一电连接结构电连接，实现静电屏蔽作用，解决了现有MEMS产品工作时易受到来自外界的电磁干扰的问题。
- 麦克风封装结构电子设备
- [实用新型]雾化结构及电子烟装置-CN202221070392.5有效
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安力佳;李诺伦
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苏州敏芯微电子技术股份有限公司
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2022-05-06
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2022-09-13
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A24F40/46
- 本申请公开了一种雾化结构及电子烟装置。所述雾化结构包括基体以及电极，所述基体具有相对的第一侧和第二侧，所述电极设置在所述第一侧上并与所述基体电连接；所述第二侧上设置有导流结构，用于导出待雾化液体，所述第一侧上设置有沟道结构，所述沟道结构与所述导流结构相连通，用于承载所述导流结构导出的所述待雾化液体，其中，在所述电极加电的情况下，所述导流结构及所述沟道结构以加热的方式雾化所述待雾化液体。本申请所公开的技术方案通过导流结构以及沟道结构使待雾化液体快速且均匀地分散在基体内，同时利用基体作为加热体直接对待雾化液体进行加热，保证加热更加均匀，解决了现有雾化器发热不均匀、发热速度慢的问题。
- 雾化结构电子装置
- [发明专利]MEMS三轴加速度计-CN202210405363.8有效
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张沛;庄瑞芬;陈嘉辉;李诺伦
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苏州敏芯微电子技术股份有限公司
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2022-04-18
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2022-07-01
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G01P15/125
- 本发明公开了一种MEMS三轴加速度计，包括可沿彼此垂直的三个方向运动的可动结构以及用于固定可动结构的中心锚点；可动结构包括第一质量块、第二质量块以及第三质量块，第二质量块通过第一弹性结构与第一质量块连接并且通过第二弹性结构与中心锚点连接，第三质量块通过弹性枢转结构与第一质量块连接；第一质量块能够沿第一方向进行直线运动，以完成第一方向上的加速度检测；第二质量块能够沿第二方向进行直线运动，以完成第二方向上的加速度检测；第三质量块能够在第三方向上转动，以完成第三方向上的加速度检测，本发明中的MEMS三轴加速度计每一个质量块的运动直线相互独立，从而能够在加速度检测时，互不干扰，并由此具有更高的检测精度。
- mems加速度计
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