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[发明专利]晶圆检测方法、检测装置及计算机可读存储介质-CN202011637862.7有效
发明人：陈鲁;李少雷;马砚忠;张朝前;王兵;王彦彦;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶圆检测方法、检测装置及计算机可读存储介质，所述晶圆检测方法应用于晶圆检测装置，所述晶圆检测装置包括转动组件与至少一个检测单元，所述晶圆检测装置控制所述转动组件按照预设角度间隔转动，以获取所述转动组件的转动角度及所述检测单元的测量信息；根据所述测量信息确定相邻的转动角度对应的第一距离变化量；根据所述第一距离变化量确定所述晶圆在所述晶圆传输盒中的放置信息。本申请能够避免当晶圆在晶圆传输盒中放置异常时，移动检测单元对晶圆造成损坏，解决了现有技术中晶圆的检测效率低且容易造成晶圆损坏的问题。
检测方法装置计算机可读存储介质

[实用新型]一种EVA胶膜裁切打孔装置-CN202221385769.6有效
发明人：吴超胜;丰波;崔蛟龙;王月;李少雷;张江涛 -专利权人：保定英辰新能源开发有限公司
申请日： 2022-06-06 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： B26D9/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种EVA胶膜裁切打孔装置，包括基座所述基座上方设有定位装置，所述定位装置的上方设有冲孔装置，所述冲孔装置的后方还设有裁切装置，本装置可以实现裁切和冲孔的同时完成，并且可以根据需要，将本装置与其他动力设备连接，制造成本低，可以有效提高工作效率。
一种 eva 胶膜打孔装置

[发明专利]检测方法、检测装置、检测设备及计算机可读存储介质-CN202111658649.9在审
发明人：陈鲁;王兵;李少雷;马砚忠;张朝前;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G01D21/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种检测方法、检测装置、检测设备及非易失性计算机可读存储介质。检测方法包括：控制传动件带动扫描件在第一原点位置和第二原点位置之间移动，以扫描待测件。本申请检测方法、检测装置、检测设备及非易失性计算机可读存储介质中，传动件可带动扫描件在第一原点位置和第二原点位置之间移动，以扫描待测件。即，在传动件带动扫描件从第一原点位置移动至第二原点位置，或传动件带动扫描件从第二原点位置移动至第一原点位置过程中，扫描件都可扫描待测件。如此，扫描件扫描待测件的方式可以为多种，从而提高了扫描效率。
检测方法装置设备计算机可读存储介质

[发明专利]一种晶圆检测装置-CN202011551054.9在审
发明人：陈鲁;李少雷;张朝前;马砚忠;王兵;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：一种晶圆检测装置，包括驱动件、用于承载晶圆传送盒的固定台和用于收发检测信号的检测件，固定台上设有缺口位，检测件沿前后方向布置在晶圆传送盒的开口侧，驱动件连接检测件或固定台，以沿上下方向驱使检测件与固定台发生相对运动。利用缺口位与检测件之间的对位关系以及在驱动件的驱动作用下，使得检测件与固定台沿单一的上下方向进行相对运动，在检测件经由缺口位进入晶圆传送盒内后，即可逐一地对晶圆传送盒内的晶圆进行扫描检测，以同步完成诸如放置位置是否正确、是否存在叠片、计数统计等项目，无需在每进行一次检测作业前对检测件进行位置调试，从而通过简化准备流程，可为有效提高检测效率创造条件。
一种检测装置

[实用新型]一种岩棉生产线电炉冷却循环水余热利用系统-CN202121642876.8有效
发明人：于涛;周新堂;李少雷;王昊;胡细来;杨旭 -专利权人：北京建都设计研究院有限责任公司
申请日： 2021-07-19 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： F27D9/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种岩棉生产线电炉冷却循环水余热利用系统，冬季工况时，电炉、热水罐、水源热泵机组的第一换热侧和冷水罐形成一个水循环回路，水源热泵机组的第二换热侧与所述用户端形成另一水循环回路，水源热泵机组能实现冷却水中能量的回收利用，为用户端提供热量；夏季工况时，热水罐、冷却塔、冷水罐和水源热泵机组的第一换热侧形成一个水循环回路，水源热泵机组的第二换热侧与用户端或热水罐形成另一水循环回路，为用户端和热水罐提供冷量，热水罐上连接有第一供水机构，第一供水装置及时补给冷却水循环过程中产生的损失，用户端连接有第二供水机构，第二供水装置提供用户端所消耗的水量，为用户端提供生活便利。
一种生产线电炉冷却循环余热利用系统

[实用新型]翘曲校正装置及检测设备-CN202121081119.8有效
发明人： 李少雷;张朝前;马砚忠;卢继奎;陈鲁;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-05-19 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本申请公开了一种翘曲校正装置及检测设备。翘曲校正装置包括按压件，按压件包括按压部和第一密封圈。按压部设有吹气单元，第一密封圈设于按压部，第一密封圈环绕吹气单元，用于与工件接触，并与工件及按压部共同形成密封空间。其中，通过吹气单元能够朝密封空间吹气，以降低工件的翘曲程度。本申请通过气体按压工件，可以降低工件的翘曲程度，并且非接触式按压可避免对工件造成脏污、压伤等损坏。
校正装置检测设备

[实用新型]校准片-CN202120612767.5有效
发明人：张朝前;马砚忠;李少雷;谢煜华;白园园;陈鲁;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： G01R35/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种校准片。校准片包括本体，在本体上设置有至少两个校准区域，至少两个校准区域用于校准光学测量系统的对焦位置、校准光学测量系统的反射率检测精度、校准光学测量系统检测的光斑、校准光学测量系统的关键尺寸、校准光学测量系统的台阶检测精度、校准光学测量系统的膜厚检测精度、及校准光学测量系统的偏差检测精度中的至少两个。本申请实施方式的校准片由于本体设置了至少两个校准区域，以使校准片能够校准光学测量系统的对焦位置、反射率检测精度、检测的光斑、关键尺寸、台阶检测精度、膜厚检测精度及偏差检测精度中的至少两个，从而减少了在对光学测量系统进行校准工作时，需要校准片的数量，以降低校准光学测量系统的成本。
校准

[实用新型]翘曲校正装置及检测设备-CN202120616334.7有效
发明人：陈鲁;李少雷;张朝前;马砚忠;卢继奎;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请公开了一种翘曲校正装置及检测设备。翘曲校正装置包括基板及多个按压组件。基板包括相背的第一面及第二面，基板还包括中心区域及环绕中心区域的边缘区域。中心区域及边缘区域均分布有按压组件，每个按压组件均设置于第一面并朝远离第二面的方向延伸，每个按压组件均能够相对独立地对工件提供压力，以对工件进行按压以校正工件的翘曲程度。本申请实施方式的翘曲校正装置及检测设备中，每个按压组件均能够相对独立地对工件提供压力，以对工件进行按压以校正工件的翘曲程度。
校正装置检测设备

[实用新型]半导体处理设备-CN202120308857.5有效
发明人：陈鲁;皮林立;马砚忠;张朝前;卢继奎;李少雷;王兵;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-02-03 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请提供一种半导体处理设备。该半导体处理设备包括壳体、阻隔结构及进风装置。壳体设有第一腔及第二腔。阻隔结构设置在第一腔与第二腔之间，阻隔结构包括第一隔板及第二隔板，第一隔板及第二隔板间隔以形成气流通道，气流通道用于阻挡第二腔内的热量进入第一腔；阻隔结构还包括第一开口与第二开口，第一开口与第二开口均与气流通道连通；进风装置设于壳体的顶部，进风装置的出风方向指向第一开口，用于向气流通道吹风；第一开口用于供进风装置产生的气流进入气流通道，第二开口用于排出流经气流通道的气流。本申请的半导体处理设备利用第一隔板与第二隔板形成的气流通道能阻挡第二腔内的热量进入第一腔，实现第一腔的稳定控温，保证处理精度。
半导体处理设备

[实用新型]晶圆校准工装及晶圆校准装置-CN202023344168.4有效
发明人：陈鲁;张朝前;卿亮;李少雷;马砚忠;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆校准工装及晶圆校准装置，所述晶圆校准工装包括底座与相对设置的第一定位件与第二定位件，所述第一定位件与所述第二定位件相对设置并设于所述底座的两侧；所述第一定位件上设有第一定位凹槽，所述第二定位件上设有第二定位凹槽，所述第一定位凹槽的侧壁与所述第二定位凹槽的侧壁均为弧面结构，所述第一定位凹槽的深度与所述第二定位凹槽的深度相等；且所述第一定位凹槽的侧壁的弧面结构的直径与所述第二定位凹槽的侧壁的弧面结构的直径相等。本申请能够避免所述校准片在所述晶圆校准工装中发生晃动，从而导致晶圆位置的校准不正确的问题。
校准工装装置

[实用新型]一种10kV电缆插拔头拆除工具-CN202120729289.6有效
发明人：席国江;刘君业;王炜龙;李少雷;许琨;李春丽 -专利权人：国网黑龙江省电力有限公司牡丹江供电公司;国家电网有限公司
申请日： 2021-04-09 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： H02G1/14 文献下载
摘要：一种10kV电缆插拔头拆除工具。本实用新型为克服现有技术存在当拆除电缆插拔头时危机人身、设备安全且时间长、费力、费工的问题。一种10kV电缆插拔头拆除工具，它包括三通型抱箍、折页、喉箍、联络挡板、螺母和螺栓；三通型抱箍包括右侧三通抱箍和左侧三通抱箍；右侧三通抱箍和左侧三通抱箍通过折页转动连接；右侧三通抱箍和左侧三通抱箍扣合在一起通过喉箍固定，左侧三通抱箍下方与联络挡板一个端面固定连接，联络挡板另一个端面中部与螺母焊接，联络挡板中部加工有与螺母一致的内螺纹，联络挡板与螺栓通过螺母螺纹连接。本实用新型涉及电力设备领域。
一种 10 kv 电缆插拔头拆除工具

[实用新型]电力输变电工程用接线装置-CN202120404752.X有效
发明人：刘君业;段立君;李少雷;刘佳京 -专利权人：刘君业;段立君;李少雷;刘佳京
申请日： 2021-02-24 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： H02G15/10 文献下载
摘要：电力输变电工程用接线装置，包括接线盒、固定套、插环、弧形板、橡胶套、盒盖，所述接线盒具有通孔，固定套与通孔相适应，固定套穿过通孔，固定套具有固定套侧板，固定套侧板左侧面与接线盒相贴合，锁紧盘具有锁紧盘内孔，固定套外侧与锁紧盘内孔相适应，固定套外侧通过螺纹连接锁紧盘内孔，插环具有插环内孔，线缆穿过插环内孔，插环右侧具有多个弧形板，固定套具有螺纹孔，弧形板外侧与螺纹孔相适应，弧形板外侧通过螺纹连接螺纹孔。
电力变电工程接线装置

[实用新型]一种晶圆检测装置-CN202023152573.6有效
发明人：陈鲁;李少雷;张朝前;马砚忠;王兵;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：一种晶圆检测装置，包括驱动件、用于承载晶圆传送盒的固定台和用于收发检测信号的检测件，固定台上设有缺口位，检测件沿前后方向布置在晶圆传送盒的开口侧，驱动件连接检测件或固定台，以沿上下方向驱使检测件与固定台发生相对运动。利用缺口位与检测件之间的对位关系以及在驱动件的驱动作用下，使得检测件与固定台沿单一的上下方向进行相对运动，在检测件经由缺口位进入晶圆传送盒内后，即可逐一地对晶圆传送盒内的晶圆进行扫描检测，以同步完成诸如放置位置是否正确、是否存在叠片、计数统计等项目，无需在每进行一次检测作业前对检测件进行位置调试，从而通过简化准备流程，可为有效提高检测效率创造条件。
一种检测装置

[发明专利]翘曲校正方法、承载装置及承载系统-CN202110319952.X在审
发明人：陈鲁;李少雷;张朝前;马砚忠;卢继奎;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请公开了一种翘曲校正方法、承载装置及承载系统，承载装置获取吸附件的吸附面与待测件之间的第一距离；当吸附件的吸附面与待测件之间的第一距离大于第一预设距离，且小于或等于第二预设距离时，确定吸附件为第一目标吸附件，第二预设距离大于第一预设距离；控制驱动装置带动第一目标吸附件向待测件移动；当第一距离小于或等于第一预设距离时，控制第一目标吸附件吸附待测件；控制驱动装置带动吸附件向远离待测件的方向移动，直至第一目标吸附件的底部与容置槽的底部抵接。通过分布在承载本体上不同位置的吸附件对不同区域的待测件进行吸附，从而使待测件的不同区域均能够通过真空吸附的方式进行压平，从而提高待测件的检测精度。
校正方法承载装置系统

[发明专利]承载装置及承载系统-CN202110321825.3在审
发明人：陈鲁;李少雷;张朝前;马砚忠;卢继奎;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2021-07-02 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请公开了一种承载装置及承载系统，承载装置包括承载本体、吸附件以及驱动装置，承载本体的承载面一侧设有多个容置槽，容置槽的底部设有通孔，驱动装置贯穿通孔设置，吸附件的一端设有吸附面，吸附面与待测件吸附连接，吸附件的另一端收容于容置槽内，并与驱动装置连接；吸附件开设有吸附孔，吸附孔贯穿吸附件，并与真空气路连通，吸附孔用于对晶圆进行吸附；驱动装置用于带动吸附件沿承载面的法线方向往复移动。承载装置通过分布在承载本体上不同位置的吸附件对不同区域的待测件进行吸附，从而使待测件的不同区域均能够通过真空吸附的方式进行压平，从而提高待测件的检测精度。
承载装置系统

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