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[发明专利]反应腔室及半导体设备-CN202211519704.0在审
发明人： 李会鑫;鲁艳成;王伟;韦刚;张照 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种反应腔室及半导体设备，其中，所述反应腔室包括：反应腔室主体、支架和盖体；所述支架与所述反应腔室主体对接，所述盖体盖设于所述支架的远离所述反应腔室主体的一端；所述支架包括座体部和从所述座体部朝向所述盖体凸出的第一凸起部，所述座体部设有冷却介质通道，所述第一凸起部的朝向所述盖体的端部与所述盖体连接，所述第一凸起部设置有加热器；所述反应腔室主体设置有对接端，所述对接端与所述座体部对接。所述反应腔室能够调控支架的温度，以防止支架的温度过高。
反应半导体设备

[发明专利]反应腔室及半导体工艺设备-CN202210014882.1有效
发明人： 李会鑫;鲁艳成;王伟 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-01-07 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本申请公开一种反应腔室及半导体工艺设备，所述反应腔室包括腔体、内门组件和升降机构，其中：所述腔体的内腔设置有内衬，所述内衬设有与所述腔体的侧壁开口相对的传片口；所述升降机构包括连杆和轴套组件，所述连杆穿设于所述腔体的底壁，并与所述内门组件相连，所述连杆用于带动所述内门组件升降移动，以遮挡或者避让所述传片口；所述轴套组件固定设置于所述内腔中，且位于所述传片口的下侧，所述轴套组件邻近所述传片口设置，并套设于所述连杆外侧。上述方案能够解决相关技术中的反应腔室存在的连杆偏斜、维护难度大的问题。
反应半导体工艺设备

[实用新型]一种模组安装组件-CN201922294324.1有效
发明人：孙华美;闫艳艳;王颢雄;胡甜甜;李会鑫;杨彦平;李凡;耿立新 -专利权人：江苏大全凯帆电器股份有限公司
申请日： 2019-12-19 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： H05K7/14 文献下载
摘要：本实用新型属于电气柜模组安装领域，具体涉及一种模组安装组件，包括模组第一支撑件，模组第二支撑件，所述模组第一支撑件水平设置于柜体框架相对的两侧，所述模组第二支撑件设置在模组的两侧，所述模组第二支撑件可搭接在模组第一支撑件上；所述模组第一支撑件、模组第二支撑件的搭接面之间还设置有支撑垫板。本实用新型利用支撑垫板上的滑动辅助结构，降低垫板与模组下底面的接触面积，减小了模组在推进与拉出时的阻力。模组紧固支件、模组固定件设置在柜体前端，通过螺栓固定模组前端，模组后部通过模组定位支件进行限位与定位，可方便地实现模组的固定安装和柜前维护。本实用新型机构零件少，结构简单，适合电气柜中大而重的模组的安装维护。
一种模组安装组件

[实用新型]一种碳化炉通氮阻氧装置-CN200920021919.3无效
发明人：叶真明;李会鑫;李存平;吉廷旺 -专利权人：潍坊华平碳纤维有限公司
申请日： 2009-04-26 - 公布日： 2010-04-28 - 主分类号： D01F9/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种碳化炉通氮阻氧装置，包括氮气瓶和固装在密封炉嘴的通气管，通气管的末端分别与储存器相连通，储存器上设有阀门，阀门与所述氮气瓶连通；氮气瓶共设两个，储存器上设有两个阀门，两阀门分别通过管路与两氮气瓶连通。使用时，向通气管中通入氮气，对进入碳化炉的原材料以及气体进行通氮阻氧处理。由于通过同一氮气瓶同时向密封炉嘴内通入氮气，在密封炉嘴上的喷气管末端喷出的氮气均匀，便于密封炉嘴的通氮阻氧密封。
一种碳化炉通氮阻氧装置

[实用新型]一种密封炉嘴-CN200920021920.6无效
发明人：叶真明;李会鑫;李存平;吉廷旺 -专利权人：潍坊华平碳纤维有限公司
申请日： 2009-04-26 - 公布日： 2010-04-28 - 主分类号： D01F9/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种密封炉嘴，包括炉嘴外壳，炉嘴外壳的前端开设有碳纤维通道，炉嘴外壳上固装有穿过碳纤维通道的托板，托板的两端分别伸出炉嘴外壳，在托板的上方炉嘴外壳前端固装有密封板，密封板与托板之间的空间为氮气室，密封板上设有通氮气管，通氮气管穿过密封板与氮气室连通。使用时，向通氮气管中通入氮气，对进入碳化炉的原材料以及气体进行除氧处理。由于炉嘴外壳其他部位与碳化炉进口密封，只有氮气室中的气体会进入至碳化炉，在吹入氮气时只需要密封托板和密封板之间的氮气室，横截面积大大减小，密封效果非常理想，并且也能大大节俭吹入的氮气量，对提高碳纤维抗拉强度极为有利。
一种密封

[实用新型]一种预氧化炉用保温炉头-CN200920021917.4无效
发明人： 李会鑫;叶真明;李存平;吉廷旺 -专利权人：潍坊华平碳纤维有限公司
申请日： 2009-04-26 - 公布日： 2010-04-28 - 主分类号： D01F9/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种预氧化炉用保温炉头，包括安装在预氧化炉两端的炉头通道，炉头通道的两侧设有固定板，固定板上铰接有能密封炉头通道的炉头挡板，炉头通道的外侧周圈上装有保温层，炉头挡板上固装有隔热层；隔热层通过压条固装在炉头挡板的外侧面上。对整个预氧化炉加热后，炉头通道和炉头挡板温度与炉内温度差异不大，热的焦油蒸汽不再会在炉头出凝聚，不会渗入至丝中，从而不会影响碳纤维的成型；并且由于整个炉头采取了保温措施，使预氧化炉的热能源尽量少的向外界传递，节省了热能源。本实用新型结构简单，保温效果好。
一种氧化保温

[实用新型]一种用于密封炉嘴的加热装置-CN200920021918.9无效
发明人： 李会鑫;叶真明;李存平;吉廷旺 -专利权人：潍坊华平碳纤维有限公司
申请日： 2009-04-26 - 公布日： 2010-04-28 - 主分类号： D01F9/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于密封炉嘴的加热装置，其包括配装在密封炉嘴上的加热骨架，加热骨架上绕装有加热元件圈，加热元件圈和加热骨架外包裹有隔热层，加热元件圈的伸出端伸出隔热层之外并与导电端子相连；所述加热骨架外装有一层耐高温层，耐高温层外绕装有加热元件圈；所述加热元件圈包括绕成圈状的电热丝，电热丝外套装有镍环。使用时，通过导电端子与电源相连，加热元件圈可以对加热骨架加热，通过热传递使密封炉嘴的温度升高，从而使得焦油蒸汽不会凝聚成焦油，不会影响到纤维的碳化过程，不易产生断丝，能够生产出较多的长丝，能够提高碳纤维产品的长度和质量。
一种用于密封加热装置

[发明专利]一种生产高模量碳纤维的方法-CN200910016372.2无效
发明人：叶真明;李存平;李会鑫;吉延旺;李兴龙 -专利权人：潍坊华平碳纤维有限公司
申请日： 2009-06-18 - 公布日： 2009-12-09 - 主分类号： D01F9/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种生产高模量碳纤维的方法，是在高温碳化炉外设置一盛装四氯化碳、四氯化硅混合液体的密封容器，该密封容器具有一进气口和一出气口；将高温碳化炉内的生产温度控制在1420-1450℃之间；向密封容器的进气口通入氮气，使密封容器中的混合液体在0.1-0.13MPa的微正压下自出气口沿高温碳化炉进丝一端将气化后的混合气体导入高温碳化炉。密封容器中四氯化碳与四氯化硅的比例为0∶1-1∶3；通入氮气的流量为250-280CL/h。采用本发明方法生产高模量碳纤维，由于将高温碳化炉的生产温度较传统的生产温度大幅降低，对高温碳化炉的密封要求降低，同时对发热体的抗氧化性能的要求也降低，从而降低了碳纤维的生产成本。
一种生产高模量碳纤维方法

[发明专利]一种提高碳纤维表面活性的方法-CN200910016373.7无效
发明人：叶真明;李存平;李会鑫;吉延旺;李兴龙 -专利权人：潍坊华平碳纤维有限公司
申请日： 2009-06-18 - 公布日： 2009-12-09 - 主分类号： D06M15/333 文献下载
摘要：本发明公开了一种提高碳纤维表面活性的方法，首先常温下将碳纤维束在聚乙烯醇水溶液中浸渍7-10分钟，然后在烘干炉内烘干；最后常温下将烘干后的碳纤维束在环氧树脂648溶液中浸透，取出。前述的烘干温度为100-120℃，烘干时间为7-10分钟，前述的聚乙烯醇的浓度为0.24％-0.64％，环氧树脂648的浓度为2.4％-6.4％。本发明采用聚乙烯醇作为引发体系，在碳纤维表面接枝，使碳纤维表面活性增强，由憎液性变为亲液性，表面凹凸不平，与环氧树脂更容易聚合，聚乙烯醇与环氧树脂聚合使碳纤维每根单丝表面形成一层坚固的保护膜，提高了碳纤维复合材料的剪切强度。其操作简单，成本低廉，且对环境无污染，便于工业化生产。
一种提高碳纤维表面活性方法

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