专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于处理基板的装置-CN202211583420.8在审
  • 崔伦硕;丁宣旭;朴钟源;李昈骏;朴珉相 - 细美事有限公司;釜山大学校产学协力团
  • 2022-12-09 - 2023-06-30 - H01J37/32
  • 本发明的示例性实施方案提供一种用于处理基板的装置。用于处理基板的装置包括:在其中具有处理空间的工艺腔室、用于在处理空间中支承基板的支承单元、用于向处理空间供应处理气体的气体供应单元、以及用于将微波施用到处理气体以产生等离子体的微波施用单元;其中,微波施用单元可以包括:用于施用第一微波的第一电源;具有形成在其上表面上的凹槽的支承板,并且该支承板在支承单元上方与工艺腔室结合以限定处理空间;插入到凹槽中以将第一微波辐射到处理空间的第一传输板;以及设置为与第一传输板的上部重叠并且联接到第一电源的第一波导,其中,可以设置多个凹槽,并且当从顶部观察时,多个凹槽可以在支承板的边缘区域中沿周向方向形成。
  • 用于处理装置
  • [发明专利]用于测量低负载电流的装置和方法-CN202210086700.1在审
  • 朴珉相;琴东震;金柄默 - 三星电子株式会社
  • 2022-01-25 - 2022-08-30 - H02M3/158
  • 一种配置为测量提供给开关转换器的负载的负载电流的装置包括:脉冲生成电路,配置为基于开关转换器的功率开关驱动信号来生成控制脉冲;参考电流生成电路,配置为基于控制脉冲来生成参考电流;时钟生成电路,配置为基于控制脉冲和参考电流来生成时钟信号;以及时钟计数器,配置为在开关转换器的开关周期期间对时钟信号的周期数进行计数。参考电流生成电路配置为调节参考电流以补偿在开关周期期间在时钟生成电路中生成的泄漏电流。
  • 用于测量负载电流装置方法

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