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[发明专利]一种基于探针对准晶圆的双倍率光学系统-CN202311182266.8在审
发明人： 曲贺盟;管海军;王超;张继真;谢晓麟 -专利权人：长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2023-09-14 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：一种基于探针对准晶圆的双倍率光学系统。属于光学成像晶圆检测技术领域，具体涉及基于探针对准晶圆的双倍率光学系统。其解决了目前市场上存在的探针相机放大倍率低、数值孔径较小，达到了工程要求而降低了光学性能的问题。所述系统包括物方、高倍成像系统、低倍成像系统Ⅰ和像面，光束从物方射入后，分别经过高倍成像系统和低倍成像系统Ⅰ后射入像面；所述高倍成像系统包括第一透镜组、第二透镜组、反射镜、分光装置和滤光片，所述低倍成像系统Ⅰ包括第三透镜组、第四透镜组、分光棱镜和滤光片。本发明可以应用于半导体晶圆中晶格的电学性能测试技术领域。
一种基于探针对准双倍光学系统

[发明专利]一种红外激光复合光学系统-CN202211149813.8在审
发明人： 曲贺盟;张继真;王超;谢晓麟;徐放;王哈;王赫;裴洋;管海军;张铠;王宁 -专利权人：长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G02B17/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种红外激光复合光学系统，该系统包括：激光透镜组、共用镜组、红外镜组，三个镜组的光学元件依次同轴分布；所述共用镜组包括正光焦度第一反射镜、负光焦度第二反射镜、分光透镜；长波红外与激光的复合光束进入到共用镜组，依次经第一反射镜、第二反射镜反射后，激光在分光透镜的前表面进行反射，通过激光透镜组到达激光系统像面；长波红外光束在分光透镜处透射，经过红外镜组Ⅲ到达红外系统像面处。本发明结构紧凑、效率高，并且不存在倾斜平板所引入的非对称像散。
一种红外激光复合光学系统

[发明专利]一种可实时补偿的光学系统装调设备及其装调方法-CN202010860464.5有效
发明人：管海军;王超;徐放;谢晓麟;张继真;曲贺盟 -专利权人：长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2020-08-25 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种可实时补偿的光学系统装调设备，该设备的激光干涉仪、深度测量仪、干涉测量仪分别将测得的各镜片面形精度、厚度、表面曲率半径传输给计算单元，定心仪监控在线调整镜片倾斜和偏心并将镜片倾斜角度和偏心距离实测数据传输给计算单元；镜面定位仪测量镜片与前一片镜片的间隔实测数据并传输给计算单元；针对光学系统第一片镜片，计算单元根据其理论装调数据和自变量参数计算得到装调指导数据；针对后续任一镜片，计算单元根据其理论装调数据、自变量参数以及前面各镜片实际检测数据偏差累加值计算该镜片的装调指导数据。本发明可根据各镜片实际检测数据进行实时补偿，指导下一片镜片装调，实现高端显微物镜的快速装调。
一种实时补偿光学系统设备及其方法

[发明专利]一种离轴两反多光合一光学主系统-CN202110965338.0在审
发明人： 曲贺盟;管海军;王超 -专利权人：长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2021-08-23 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： G02B17/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种离轴两反多光合一光学主系统，该系统包括离轴主镜和离轴次镜；所述的离轴主镜和离轴次镜均为正光焦度反射镜，且反射面均为旋转对称偶次非球面；离轴主镜将入射的平行光线汇聚在自身的焦点处，该焦点处设置一次像面视场光阑；离轴次镜焦点与离轴主镜焦点重合，经过焦点的光线通过离轴次镜反射后出射平行光线。本发明同时解决了目前机载光学载荷主系统存在中心遮拦和系统体量大的技术难题，理论上可以实现全谱段成像探测，有效的抑制了各谱段分别成像的相互干扰，各系统均能实现最优像质，适合机载环境的大口径长焦距系统的应用。
一种离轴两反多光合一光学系统

[发明专利]高陡度光学镜凸面计算全息透射检测系统-CN202010064184.3有效
发明人：王超;管海军;张新;曲贺盟 -专利权人：长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2020-01-20 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种高陡度光学镜凸面计算全息透射检测系统，该系统的计算全息基板设置在干涉仪焦点后且位于标准镜与光学镜之间，其面向光学镜的一侧为衍射面；干涉仪发出的参考光经过出光口处的标准镜出射球面波，参考光经过计算全息基板和光学镜，由光学镜凸面反射后返回；返回的光线再经过光学镜和计算全息基板汇聚到干涉仪焦点，最终进入干涉仪，与内部参考光发生干涉；干涉仪根据干涉的相位信息获得光学镜凸面面形信息；计算全息基板的衍射面检测区域周期分布多个波浪形衍射环。本发明能够实现高陡度光学镜凸面面形全口径检测，具有结构简单，成本低，检测耗时短，检测精度高等特点。
陡度光学凸面计算全息透射检测系统

[发明专利]可实现温度精准原位探测的镜头结构及其温度补偿方法-CN202010919466.7在审
发明人： 曲贺盟;张继真;谢晓麟;王超 -专利权人：长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2020-09-04 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种可实现温度精准原位探测的镜头结构，该镜头结构包括镜筒，沿光轴方向依次设置的镜片，原位测温模块和精密调整模块；所述的镜筒包括依次连接的多个单段镜筒；原位测温模块包括沿各镜片圆周方向均布的四个测温单元；精密调整模块包括沿偏心补偿环节镜片圆周方向均布的四个偏心调整单元，和设置在间隔补偿环节相邻两个单段镜筒相接处内侧的四个间隔调整单元，四个间隔调整单元沿圆周方向均布。本发明可以实时对镜头从上到下，从里到外的温度数据进行原位探测和分析，对补偿环节的偏心和间隔进行调整，实现对温度变化造成的像质降低进行补偿，使镜头成像始终维持不变。
实现温度精准原位探测镜头结构及其补偿方法

[实用新型]宽谱段大数值孔径的显微物镜-CN201922352662.6有效
发明人：张新;管海军;王超;曲贺盟;张继真 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2019-12-23 - 公布日： 2020-10-13 - 主分类号： G02B21/04 文献下载
摘要：本实用新型适用显微物镜高精度光学成像技术领域，提供了一种宽谱段大数值孔径的显微物镜，显微物镜从物平面到像平面沿光路方向依次包括第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组；第一透镜组为折反射式透镜组，将物平面发出的光线成像到一次像面，第一透镜组用于增大数值孔径和矫正色差，且具有正光角度；第二透镜组、第三透镜组将一次像面的光线以平行光发射出去，第二透镜组、第三透镜组均具有负光角度。该显微物镜利用2次折叠光路，合理利用非球面有效校正系统高级球差，整个光学系统采用同种光学材料，成像谱段可达到300nm‑800nm，结合后端浸液，系统数值孔径可达到1.0，成像线视场可达到4.0mm，有效地实现了在具备大视场的同时兼顾高分辨率。
宽谱段大数值孔径显微物镜

[发明专利]宽谱段大数值孔径的显微物镜-CN201911335716.6在审
发明人：张新;管海军;王超;曲贺盟;张继真 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2019-12-23 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： G02B21/04 文献下载
摘要：本发明适用显微物镜高精度光学成像技术领域，提供了一种宽谱段大数值孔径的显微物镜，其特征在于，显微物镜从物平面到像平面沿光路方向依次包括第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组；第一透镜组为折反射式透镜组，将物平面发出的光线成像到一次像面，第一透镜组用于增大数值孔径和矫正色差，且具有正光角度；第二透镜组、第三透镜组将一次像面的光线以平行光发射出去，第二透镜组、第三透镜组均具有负光角度。该显微物镜利用2次折叠光路，合理利用非球面有效校正系统高级球差，整个光学系统采用同种光学材料，成像谱段可达到300nm‑800nm，结合后端浸液，系统数值孔径可达到1.0，成像线视场可达到4.0mm，有效地实现了在具备大视场的同时兼顾高分辨率。
宽谱段大数值孔径显微物镜

[发明专利]可快速装调的金属基离轴三反光学系统及其装调方法-CN202010064183.9在审
发明人：张新;张继真;王灵杰;管海军;曲贺盟;谢晓麟 -专利权人：长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2020-01-20 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： G02B7/182 文献下载
摘要：本发明涉及一种可快速装调的金属基离轴三反光学系统；该系统中，主三镜安装框架和次镜定位框架固定在相机主体基座相对的两侧；主镜和A辅助定位圆柱固定在主三镜安装框架上，且主镜背部的A垂直定位平面贴靠主三镜安装框架的定位平面，底部V型定位面卡在A辅助定位圆柱上；三镜安装固定在主三镜安装框架上，其顶部V型定位面卡在A辅助定位圆柱下面；次镜通过安装在次镜定位框架上；主镜、三镜为离轴反射镜，次镜为同轴反射镜，三块反射镜的光轴重合；入射光线依次经过主镜、次镜和三镜反射后汇聚到像面。本发明反射镜的定位无需通过零位补偿器实现，大大简化了离轴三反光学系统的装调复杂度，有效提高了系统装调效率，降低制造成本。
快速金属基离轴三反光学系统及其方法

[实用新型]一种紧凑型可见-红外双波段光学系统-CN201921538573.4有效
发明人： 曲贺盟;管海军;张新;谢晓麟;王超 -专利权人：长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2019-09-17 - 公布日： 2020-05-12 - 主分类号： G02B13/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种紧凑型可见‑红外双波段光学系统，该系统包括可见光系统和红外系统，可见光系统包括无焦的非对称像差校正元件、正光焦度的透镜前组及透镜后组；非对称像差校正元件嵌入红外系统的正光焦度的红外第一透镜；可见光透过非对称像差校正元件到达正光焦度的透镜前组，经透镜前组汇聚到透镜后组，最后经过透镜后组成像在可见光探测器像面；红外光首先入射到红外第一透镜，经整个红外系统成像在红外探测器靶面。本实用新型采用可见光‑红外分立设计，可见和红外互不干扰，可实现工作波段可见450nm～650nm、红外8000nm～14000nm成像，在特征频率处成像质量优异，具有结构紧凑、体积小巧、重量轻等特点。
一种紧凑型可见红外波段光学系统

[实用新型]一种变倍比可调紧凑型中波红外连续变焦镜头-CN201921537948.5有效
发明人：王超;曲贺盟;管海军;张新;张继真;谢晓麟 -专利权人：长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2019-09-17 - 公布日： 2020-05-01 - 主分类号： G02B15/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种变倍比可调紧凑型中波红外连续变焦镜头，该镜头沿光轴依次设置扩束镜组，前固定透镜组，变焦透镜组，补偿透镜组，后固定透镜组，二次成像透镜组；所述的扩束镜组由凸面向物侧的第一弯月正透镜和第二弯月正透镜组成；第一弯月正透镜的前表面为球面，后表面为衍射面，第二弯月正透镜的前表面为球面，后表面为非球面。本实用新型可在焦距21mm～420mm、25mm～500mm、50mm～700mm等焦距的范围内连续变焦，变焦行程短且曲线平滑。
一种可调紧凑型中波红外连续变焦镜头

[发明专利]一种可快速定位的离轴金属反射镜及其加工方法-CN201911290168.X在审
发明人：张继真;管海军;张新;王哈;曲贺盟 -专利权人：长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2019-12-16 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： G02B7/182 文献下载
摘要：本发明涉及一种可快速定位的离轴金属反射镜，该反射镜包括反射镜主体和3个柔性支撑结构；第一、第二柔性支撑结构一体连接在反射镜主体的两个顶角；第三柔性支撑结构一体连接在反射镜主体的底部中间位置，且其底部具有V型定位面；第一、第二、第三柔性支撑结构上具有定位安装孔；反射镜主体的背面具有与V型定位面垂直的垂直定位平面。本发明反射镜的定位无需通过零位补偿器实现，大大简化了离轴反射镜光学系统的装调复杂度，有效提高了系统装调效率，降低了制造成本。
一种快速定位金属反射及其加工方法

[实用新型]宽谱段大数值孔径超高通量的显微物镜光学系统-CN201920583994.2有效
发明人：张新;王超;曲贺盟;管海军;史广维 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2019-04-26 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： G02B21/02 文献下载
摘要：宽谱段大数值孔径超高通量的显微物镜光学系统，光学系统从物平面到像平面沿其光轴方向依次包括第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组，共二十片透镜；第一透镜组为折反射透镜组，通过两次折叠光路将物平面发射出的光线成像到一次像面，第一透镜组具有正光焦度；第二透镜组、第三透镜组将穿过一次像面的光线成像到二次像面，第二透镜组、第三透镜组均具有负光焦度；第四透镜组将穿过二次像面的光线成像到像平面。本申请光学系统结构尺寸较小，同时成像谱段宽，视场角大。
透镜组光线成像光学系统物平面像平面光学系统结构大数值孔径穿过透镜成像谱段负光焦度光轴方向显微物镜一次像面折叠光路正光焦度宽谱段视场角折反射通量像面发射申请

[发明专利]一种变倍比可调紧凑型中波红外连续变焦镜头-CN201910874039.9在审
发明人：王超;曲贺盟;管海军;张新;张继真;谢晓麟 -专利权人：长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2019-09-17 - 公布日： 2020-01-17 - 主分类号： G02B15/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种变倍比可调紧凑型中波红外连续变焦镜头，该镜头沿光轴依次设置扩束镜组，前固定透镜组，变焦透镜组，补偿透镜组，后固定透镜组，二次成像透镜组；所述的扩束镜组由凸面向物侧的第一弯月正透镜和第二弯月正透镜组成；第一弯月正透镜的前表面为球面，后表面为衍射面，第二弯月正透镜的前表面为球面，后表面为非球面。本发明可在焦距21mm～420mm、25mm～500mm、50mm～700mm等焦距的范围内连续变焦，变焦行程短且曲线平滑。
弯月正透镜球面扩束镜组后表面前表面后固定透镜组连续变焦镜头前固定透镜组变焦透镜组补偿透镜组二次成像连续变焦曲线平滑依次设置焦距变倍比等焦距非球面透镜组衍射面变焦光轴可调物侧镜头

[发明专利]一种紧凑型可见-红外双波段光学系统-CN201910874262.3在审
发明人： 曲贺盟;管海军;张新;谢晓麟;王超 -专利权人：长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2019-09-17 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： G02B13/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种紧凑型可见‑红外双波段光学系统，该系统包括可见光系统和红外系统，可见光系统包括无焦的非对称像差校正元件、正光焦度的透镜前组及透镜后组；非对称像差校正元件嵌入红外系统的正光焦度的红外第一透镜；可见光透过非对称像差校正元件到达正光焦度的透镜前组，经透镜前组汇聚到透镜后组，最后经过透镜后组成像在可见光探测器像面；红外光首先入射到红外第一透镜，经整个红外系统成像在红外探测器靶面。本发明采用可见光‑红外分立设计，可见和红外互不干扰，可实现工作波段可见450nm～650nm、红外8000nm～14000nm成像，在特征频率处成像质量优异，具有结构紧凑、体积小巧、重量轻等特点。
透镜非对称像差红外系统透镜前组校正元件正光焦度成像可见光系统透镜后组红外光红外探测器靶面可见光探测器红外双波段可见光透过可见光工作波段光学系统互不干扰特征频率重量轻分立入射无焦像面嵌入汇聚

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